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제1광원으로부터의 광을 광학 소자를 통해 선형으로 집광하여 기판 위에 도포된 그라파이트 옥사이드 박막에 조사하는 제1광 조사부;제2광원으로부터의 광을 상기 그라파이트 옥사이드 박막에 조사하는 제2광 조사부; 및상기 제1광 조사부 및 제2광 조사부의 광 조사 순서를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 제1광원은 상기 그라파이트 옥사이드 박막의 국소영역에 조사되는 점 광원이고, 상기 제2광원은 상기 그라파이트 옥사이드 박막의 광역에 조사되는 면 광원인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 제1광 조사부의 광학 소자와 상기 제2광 조사부는 일렬로 형성된 일체형 조립체인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제3항에 있어서,단일 개의 제1광 조사부의 광학 소자와 적어도 하나의 제2광 조사부 각각이 조합된 형태인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 제1광 조사부의 광학 소자와 제2광 조사부 또는 이들의 조립체를 이송하는 구동부를 더 포함하며,상기 제어부는 상기 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제5항에 있어서, 상기 제어부는상기 기판 위에서 상기 광학 소자를 이동시켜가면서, 상기 이동하는 광학 소자에 선형으로 집광된 광이 상기 기판의 해당 열에 순차적으로 조사되도록 상기 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제5항에 있어서, 상기 제어부는상기 기판 위에서 상기 조립체를 이동시켜가면서, 상기 기판의 각 열을 대상으로 제1광원으로부터의 광 조사와 제2광원으로부터의 광 조사가 모두 이루어지도록 상기 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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8
제1항에 있어서, 상기 제1광 조사부의 광학 소자는상기 제1광원으로부터의 광을 선형으로 집광하는 선형 집광 렌즈인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제8항에 있어서,상기 선형 집광 렌즈는 실린드리컬 렌즈인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 제어부는상기 제1광원을 온 시켜 상기 그라파이트 옥사이드 박막에 광을 조사한 후, 상기 제2광원을 온 시켜 광을 조사하여 상기 그라파이트 옥사이드 박막을 단계적으로 환원시키는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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11
제1항에 있어서, 상기 제어부는상기 제2광원을 온 시켜 상기 그라파이트 옥사이드 박막에 광을 조사한 후, 상기 제1광원을 온 시켜 광을 조사하여 상기 그라파이트 옥사이드 박막을 단계적으로 환원시키는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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12
제1항에 있어서, 상기 제어부는상기 제2광원을 온 시켜 상기 그라파이트 옥사이드 박막에 광을 조사한 후, 상기 제1광원을 온 시켜 광을 조사하고, 다시 상기 제2광원을 온 시켜 광을 조사하여 상기 그라파이트 옥사이드 박막을 단계적으로 환원시키는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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13
제1항에 있어서, 상기 제어부는상기 제1광원 또는 제2광원 중 어느 하나를 선택하여 온 시켜 상기 그라파이트 옥사이드 박막에 광을 연속적으로 2회 이상 조사한 후, 선택되지 않은 광원을 온 시켜 1회 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 제어부는상기 제1광원 또는 제2광원 중 어느 하나를 선택하여 온 시켜 상기 그라파이트 옥사이드 박막에 광을 1회 조사한 후, 선택되지 않은 광원을 온 시켜 연속적으로 2회 이상 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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15
제1항에 있어서, 상기 제1광원은코히어런트 광을 생성하는 광원임을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제15항에 있어서,상기 코히어런트 광은 레이저 광임을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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17
제1항에 있어서, 상기 제1광원은인-코히어런트 광을 생성하는 광원임을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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18
제17항에 있어서,상기 인-코히어런트 광은 고파워 LED광임을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 제2광원은 플래시 광을 생성하는 광원이고, 상기 제2광 조사부는 플래시 튜브인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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20
제19항에 있어서,상기 플래시 광은 제논 플래시 또는 UV 플래시를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 기판은 폴리 카보네이트를 포함하는 열가소성 플라스틱 중합체 기판인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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