| 1 |
1
기체 유입구 및 유출구를 구비한 방전 챔버, 상기 방전 챔버 내에 위치하는 복수개의 칼럼형 전극, 상기 방전 챔버 내에 위치하며, 각각의 칼럼형 전극의 위치에 상응하는 위치에 복수개의 출구 구멍을 갖는 접지 플레이트, 및상기 칼럼형 전극과 접지 플레이트가 위치한 방전 챔버 내에 위치하며, 상기 접지 플레이트를 기준으로 상기 칼럼형 전극과 대향하는 위치에 기판 지지대를 구비한 스파크 방전 발생기
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 칼럼형 전극은 상기 접지 플레이트의 출구 구멍을 향하는 말단부를 구비하며, 말단부의 형상은 샤프하거나, 라운드이거나 또는 플랫한 형상인, 스파크 방전 발생기
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 칼럼형 전극의 말단부는 상기 접지 플레이트의 출구 구멍으로부터 소정 거리 이격되어 있거나, 출구 구멍과 동일한 위치에 있거나, 출구 구멍을 관통하는, 스파크 방전 발생기
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 접지 플레이트의 출구 구멍 직경을 조절함으로써 스파크 방전 발생기의 출구 유속을 조절하여 입자의 응집 정도를 제어할 수 있는 것인, 스파크 방전 발생기
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 기체 유입구에 코로나 방전기를 추가로 구비하는, 스파크 방전 발생기
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 기체 유입구 및 유출구가 각각 복수개인, 스파크 방전 발생기
|
| 7 |
7
제 2 항에 있어서, 칼럼형 전극의 말단부는 입자 발생과 동시에 이온을 발생시키는, 스파크 방전 발생기
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 접지 플레이트와 기판 지지대간의 간격을 조절 가능한 것인, 스파크 방전 발생기
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 기체 유입구에 기체 유입 유속을 조절할 수 있는 내부실린더를 구비하며, 이를 이용하여 입자의 응집 정도를 제어할 수 있는 것인, 스파크 방전 발생기
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서, 다수의 저항, 다수의 커패시터로 구성된 회로를 정전압원(constant high voltage source)으로 이용하는 것인, 스파크 방전 발생기
|
| 11 |
11
제 1 항에 있어서, 상기 방전 챔버가 스파크 방전 상태를 볼 수 있는 윈도우를 구비하는 것인, 스파크 방전 발생기
|
| 12 |
12
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 스파크 방전 발생기를 사용하여 3차원 형상의 나노구조물 어레이를 형성하는 방법
|
