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탐침 현미경의 리소그래피 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015141237
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탐침 현미경의 리소그래피 장치 및 방법에 관한 것으로, 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보 및 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 입력받고, 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보에 포함된 샘플의 위치정보 입력방법에 따라 선택된 디지털 또는 아날로그 위치정보를 이용하여 설정된 리소그래피 알고리즘에 따라 각각 디지털 리소그래피 신호 또는 아날로그 리소그래피 신호를 생성하여 출력함으로써, 사용자가 원하는 위치에서 나노 구조물 제조를 위한 신호를 생성할 수 있다. 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보는 아날로그 리소그래피 신호를 증폭하기 위한 이득 값을 포함한다.탐침 현미경, 리소 그래피
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020070051927 (2007.05.29)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0872464-0000 (2008.12.01)
공개번호/일자 10-2008-0104732 (2008.12.03) 문서열기
공고번호/일자 (20081205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.29)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이해원 대한민국 경기 성남시 분당구
2 정정주 대한민국 서울 광진구
3 한철수 대한민국 경기 수원시 팔달구
4 권광민 대한민국 서울 성동구
5 이태규 대한민국 충남 태안군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이봉진 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)(유미특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0392290-06
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.06.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2008-0041143-58
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0453193-10
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.09.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0680922-10
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0680866-51
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0680833-55
9 등록결정서
Decision to grant		 2008.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0604201-07
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
탐침 현미경의 리소그래피 장치에 있어서,샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보 및 상기 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 입력받는 정보 입력부;상기 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보에 포함된 샘플의 위치정보 입력방법에 따라 선택된 상기 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 이용하여 설정된 리소그래피 알고리즘에 따라 각각 디지털 리소그래피 신호 또는 아날로그 리소그래피 신호를 생성하는 제어부; 및상기 제어부에서 생성된 상기 디지털 리소그래피 신호 또는 아날로그 리소그래피 신호를 출력하는 출력부를 포함하며,상기 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보는 상기 아날로그 리소그래피 신호를 증폭하기 위한 이득 값을 포함하는 탐침 현미경의 리소그래피 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 출력부는 상기 이득 값에 따라 상기 아날로그 리소그래피 신호를 증폭하여 출력하는 탐침 현미경의 리소그래피 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 샘플의 아날로그 위치정보를 디지털 위치정보로 변환하는 아날로그/디지털 변환기를 더 포함하는 탐침 현미경의 리소그래피 장치
5 5
탐침 현미경의 리소그래피 장치에 있어서,샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보 및 상기 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 입력받는 정보 입력부와; 상기 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보에 포함된 샘플의 위치정보 입력방법에 따라 선택된 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 이용하여 설정된 리소그래피 알고리즘에 따라 각각 디지털 리소그래피 신호 또는 아날로그 리소그래피 신호를 생성하는 제어부와; 상기 제어부에서 생성된 상기 디지털 리소그래피 신호 또는 아날로그 리소그래피 신호를 출력하는 출력부와; 상기 샘플의 아날로그 위치정보를 샘플의 디지털 위치정보로 변환하는 아날로그/디지털 변환기를 포함하되,상기 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보는 아날로그 리소그래피 신호를 증폭하기 위한 이득 값을 포함하고, 상기 출력부는 이득 값에 따라 아날로그 리소그래피 신호를 증폭하여 출력하는 탐침 현미경의 리소그래피 장치
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탐침 현미경의 리소그래피 방법에 있어서,샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보 및 상기 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 입력받는 단계;상기 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보에 포함된 샘플의 위치정보 입력방법에 따라 선택된 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 이용하여 설정된 리소그래피 알고리즘에 따라 각각 디지털 리소그래피 신호 또는 아날로그 리소그래피 신호를 생성하여 출력하는 단계를 포함하며,상기 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보는 상기 아날로그 리소그래피 신호를 증폭하기 위한 이득 값을 포함하는 탐침 현미경의 리소그래피 방법
7 7
삭제
8 8
제6항에 있어서,상기 이득 값에 따라 상기 아날로그 리소그래피 신호를 증폭하여 출력하는 단계를 더 포함하는 탐침 현미경의 리소그래피 방법
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제6항에 있어서,상기 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보 및 상기 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 입력받는 단계는,상기 샘플의 아날로그 위치정보를 샘플의 디지털 위치정보로 변환하는 단계를 포함하는 탐침 현미경의 리소그래피 방법
10 10
탐침 현미경의 리소그래피 방법에 있어서,샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보 및 상기 샘플의 디지털 또는 아날로그 위치정보를 입력받는 단계와; 상기 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보에 포함된 샘플의 위치정보 입력방법에 따라 선택된 디지털 또는 아날로그 위치정보를 이용하여 설정된 리소그래피 알고리즘에 따라 각각 디지털 리소그래피 신호 또는 아날로그 리소그래피 신호를 생성하여 출력하는 단계와; 상기 샘플의 아날로그 위치정보를 샘플의 디지털 위치정보로 변환하는 단계를 포함하되,상기 샘플에 나노 구조물을 제조하기 위한 정보는 상기 아날로그 리소그래피 신호를 증폭하기 위한 이득 값을 포함하고, 상기 이득 값에 따라 아날로그 리소그래피 신호를 증폭하여 출력하는 탐침 현미경의 리소그래피 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.