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플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법

  • 기술번호 : KST2015143535
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법이 개시된다. 플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법은 플라즈마 식각 공정에서 발생되는 플라즈마 방출광을 사용하여 식각 종료점을 진단하는 방법에 있어서, (a) 각 측정 시간에 있어서의 상기 플라즈마 방출광에 포함된 파장들 각각의 강도 정보를 포함하는 측정데이터를 기설정된 제1 시간 간격으로 N개 수집한 후 이들 중 N번째 수집된 측정데이터와 나머지 측정데이터들 사이의 유클리드 거리들을 산출하고, 상기 제1 유클리드 거리들 중 가장 큰 값을 제1 도달가능거리로 표시하는 단계(S110); 및 (b) 상기 N번째 측정데이터 수집 시간으로부터 상기 제1 시간 간격 후 (N+1)번째 측정데이터를 수집하고, 상기 (N+1)번째 측정데이터와 상기 N개의 측정데이터 중 최초 수집된 측정데이터를 제외한 나머지 (N-1)개의 측정데이터들 사이의 제2 유클리드 거리들을 산출하며, 상기 제2 유클리드 거리들 중 가장 큰 값을 제2 도달가능거리로 표시하는 단계(S120)를 포함하고, 상기 (b) 단계를 상기 제1 시간 간격으로 반복적으로 수행하면서 상기 도달가능거리의 변화량을 기초로 상기 플라즈마 식각 공정의 식각 종료점을 진단할 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 22/26(2013.01)
출원번호/일자 1020150002503 (2015.01.08)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1532897-0000 (2015.06.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150702) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.01.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 채희엽 대한민국 서울특별시 서초구
2 이학승 대한민국 서울특별시 양천구
3 장해규 대한민국 경기도 수원시 장안구
4 남재욱 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0017545-79
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2015.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0276068-54
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2015.03.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.03.30 수리 (Accepted) 9-1-2015-0020910-66
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0232351-08
6 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2015-0021898-73
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.04.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0341623-09
8 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0022296-76
9 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027150-81
10 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027506-31
11 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027819-16
12 등록결정서
Decision to grant		 2015.06.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0385244-64
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마 식각 공정에서 발생되는 플라즈마 방출광을 사용하여 식각 종료점을 진단하는 방법에 있어서, (a) 각 측정 시간에 있어서의 상기 플라즈마 방출광에 포함된 파장들 각각의 강도 정보를 포함하는 측정데이터를 기설정된 제1 시간 간격으로 N개 수집한 후 이들 중 N번째 수집된 측정데이터와 나머지 측정데이터들 사이의 제1 유클리드 거리들을 산출하고, 상기 제1 유클리드 거리들 중 가장 큰 값을 제1 도달가능거리로 표시하는 단계(S110); 및 (b) 상기 N번째 측정데이터 수집 시간으로부터 상기 제1 시간 간격 후 (N+1)번째 측정데이터를 수집하고, 상기 (N+1)번째 측정데이터와 상기 N개의 측정데이터 중 최초 수집된 측정데이터를 제외한 나머지 (N-1)개의 측정데이터들 사이의 제2 유클리드 거리들을 산출하며, 상기 제2 유클리드 거리들 중 가장 큰 값을 제2 도달가능거리로 표시하는 단계(S120)를 포함하고, 상기 (b) 단계를 상기 제1 시간 간격으로 반복적으로 수행하면서 상기 도달가능거리의 변화량을 기초로 상기 플라즈마 식각 공정의 식각 종료점을 진단하는, 플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법
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제1항에 있어서, (c) 시간에 따른 상기 도달가능거리의 크기가 기 설정된 임계값 이상인 시점을 플라즈마 식각 공정의 식각 종료점으로 진단하는 단계를 더 포함하는, 플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 N은 3 내지 10인, 플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 시간 간격은 0
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유클리드 거리는 상기 플라즈마 방출광에 포함된 파장들 중 선택된 2 내지 2401개의 파장을 좌표축으로 하는 유클리드 평면 또는 유클리드 공간 상에서 산출될 수 있는, 플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국과학기술원 전자정보디바이스산업원천기술개발사업(반도체) [RCMS] 고밀도 플라즈마를 이용한 10nm급 반도체 및 10세대 디스플레이용 핵심원천 기술개발