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측정 대상물에 의해 구분된 제 1 공간 및 제 2 공간에 있어서, 상기 제 1 공간에 헬륨 가스를 도입하고;상기 제 2 공간에 질소 가스를 통과시키고;상기 제 1 공간으로부터 상기 측정 대상물을 투과하여 상기 제 2 공간으로 유입되는 헬륨 가스가 상기 제 2 공간을 통과하는 질소 가스와 혼합되어 질소-헬륨 혼합 가스를 형성하고;상기 제 2 공간으로부터 유출되는 상기 질소-헬륨 혼합 가스 중의 헬륨 가스의 몰농도 (CHe) 를 측정하고;상기 헬륨 가스의 몰농도 (CHe) 를 하기 식 (1) 에 의해 상기 측정 대상물을 투과한 수분량으로 전환시켜 상기 측정 대상물의 수분 투과도 (WVTR) 를 측정하는 것:을 포함하는, 수분 투과도의 측정 방법:식 (1) WVTR = (18·CHe·V2)/(A·t);식 중, CHe 는 질소-헬륨 혼합 가스 중의 헬륨 가스의 몰농도, V2 는 제 2 공간의 부피, A 는 측정 대상물의 면적, 및 t 는 측정한 시간을 나타냄
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 공간은 상기 헬륨 가스가 도입되기 전에 진공 상태인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 공간은 상기 질소 가스가 통과하기 전에 진공 상태인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 질소-헬륨 혼합 가스 중의 헬륨 가스의 몰농도 (CHe) 는 질량 분광기(mass spectroscope)에 의해 측정되는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 측정 대상물은 유기막, 무기막, 단일 유/무기 복합막, 다층 유/무기 복합막, 또는 이들의 조합을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 5 항에 있어서,상기 유기막은 고분자막(polymer membrane)을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 6 항에 있어서,상기 고분자막은 올레핀계 고분자막, 에스테르계 고분자막, 에테르계 고분자막, 아크릴로니트릴계 고분자막, 티오에테르계 고분자막, 방향족 비닐계 고분자막, 질소함유 고분자막, 불소함유 고분자막, 아크릴계 고분자막, 또는 이들의 조합을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 5 항에 있어서,상기 무기막은 알루미늄 산화막, 알루미늄 질화막, 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 또는 이들의 조합을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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측정 대상물에 의해 구분된 제 1 공간 및 제 2 공간에 있어서, 상기 제 1 공간에 헬륨 가스를 도입하고;상기 제 2 공간에 질소 가스를 통과시키고;상기 제 1 공간으로부터 상기 측정 대상물을 투과하여 상기 제 2 공간으로 유입되는 헬륨 가스가 상기 제 2 공간을 통과하는 질소 가스와 혼합되어 질소-헬륨 혼합 가스를 형성하고;상기 제 2 공간으로부터 유출되는 상기 질소-헬륨 혼합 가스 중의 헬륨 가스의 몰농도 (CHe) 를 측정하고;상기 헬륨 가스의 몰농도 (CHe) 를 하기 식 (2) 에 의해 상기 측정 대상물을 투과한 산소량으로 전환시켜 상기 측정 대상물의 산소 투과도 (OTR) 를 측정하는 것:을 포함하는, 산소 투과도의 측정 방법:식 (2) OTR=(32·CHe·V2)/(A·t);식 중, CHe 는 질소-헬륨 혼합 가스 중의 헬륨 가스의 몰농도, V2 는 제 2 공간의 부피, A 는 측정 대상물의 면적, 및 t 는 측정한 시간을 나타냄
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제 9 항에 있어서,상기 제 1 공간은 상기 헬륨 가스가 도입되기 전에 진공 상태인, 산소 투과도의 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 제 2 공간은 상기 질소 가스가 통과하기 전에 진공 상태인, 산소 투과도의 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 질소-헬륨 혼합 가스 중의 헬륨 가스의 몰농도 (CHe) 는 질량 분광기에 의해 측정되는 것인, 산소 투과도의 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 측정 대상물은 유기막, 무기막, 단일 유/무기 복합막, 다층 유/무기 복합막, 또는 이들의 조합을 포함하는 것인, 산소 투과도의 측정 방법
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제 13 항에 있어서,상기 유기막은 고분자막(polymer membrane)을 포함하는 것인, 산소 투과도의 측정 방법
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제 14 항에 있어서,상기 고분자막은 올레핀계 고분자막, 에스테르계 고분자막, 에테르계 고분자막, 아크릴로니트릴계 고분자막, 티오에테르계 고분자막, 방향족 비닐계 고분자막, 질소함유 고분자막, 불소함유 고분자막, 아크릴계 고분자막, 또는 이들의 조합을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 13 항에 있어서,상기 무기막은 알루미늄 산화막, 알루미늄 질화막, 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 또는 이들의 조합을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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외부로부터 헬륨 가스를 도입할 수 있는 수단을 포함하는 제 1 실(室);외부로부터 질소 가스를 도입할 수 있는 수단을 포함하는 제 2 실;상기 제 1 실과 상기 제 2 실을 연통시키는 부위에 구비된 측정 대상물을 유지하기 위한 유지 수단:상기 제 1 실에 도입된 헬륨 가스가 상기 측정 대상물을 투과하여 상기 제 2 실로 유입되어 상기 제 2 실의 질소 가스와 혼합되어 형성된 질소-헬륨 혼합 가스가 유출되는 배기구; 및상기 배기구에 구비되며, 상기 질소-헬륨 혼합 가스에 포함된 헬륨의 농도를 측정할 수 있는 검출기:를 포함하는, 수분 투과도 또는 산소 투과도 측정 장치
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