맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014028861
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 인쇄회로기판 또는 실리콘 웨이퍼 등과 같은 기판에 형성되는 무연 솔더 범프의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 기판에 형성된 구리 포스트의 전면을 캡핑할 수 있도록 솔더를 형성함으로써 기계적 신뢰성을 향상시킬 수 있는 무연 솔더 범프의 제조방법에 관한 것이다. 솔더 범프, 금속 구조체, 솔더, 전해 도금법, 기계적 신뢰성
Int. CL H01L 21/60 (2006.01) B23K 3/00 (2006.01) H05K 3/34 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090022927 (2009.03.18)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1073485-0000 (2011.10.07)
공개번호/일자 10-2010-0104484 (2010.09.29) 문서열기
공고번호/일자 (20111017) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.03.18)
심사청구항수 12

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서수정 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 김진수 대한민국 서울특별시 관악구
3 나성훈 대한민국 경기도 부천시 원미구
4 김종천 대한민국 서울특별시 서초구
5 박인수 대한민국 경기도 수원시 장안구
6 임승규 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2009-0162496-90
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.07.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0045399-70
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0008942-89
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.03.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0162956-49
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0162954-58
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0556934-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 위에 구리선을 형성하는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서의 구리선 상에, 기판 내에 실장되는 하단부와 기판 상에 돌출되고 상기 하단부보다 직경이 작은 상단부로 구성된 구리 포스트를 형성시킬 수 있는 패턴을 갖도록 포토레지스트층을 형성하는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 포토레지스트층의 패턴에 따라 구리선 위에 구리 포스트를 형성하는 단계(단계 3); 상기 단계 3에서 구리 포스트를 형성한 후, 구리 포스트의 하단부 직경과 동일한 직경의 패턴을 갖도록 포토레지스트층을 형성하는 단계(단계 4); 상기 단계 4에서 형성된 포토레지스트층의 패턴에 따라 무연 솔더 합금으로 전해 도금하여 구리 포스트의 상단부 전면이 캡핑되도록 솔더를 형성하는 단계(단계 5); 및 상기 단계 5에서 구리 포스트의 상단부에 솔더를 형성한 후, 포토레지스트층 및 구리선을 제거하여 리플로우 공정을 수행하는 단계(단계 6)를 포함하며, 상기 단계 2의 상기 포토레지스트층에 형성된 패턴이, 상기 구리 포스트 상단부의 직경과 동일한 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판은 인쇄회로기판 또는 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 단계 1에서 구리선은 기판 상에 0
4 4
제1항에 있어서, 상기 단계 2에서 포토레지스트층은 액상 포토레지스트 또는 드라이필름 포토레지스트를 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 단계 2에서 포토마스크를 이용한 노광공정을 통하여 구리 포스트의 상단부와 동일한 직경을 갖는 패턴이 상기 포토레지스트층에 형성되는 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 단계 3에서 형성된 구리 포스트는 기판 내에 실장되는 하단부와 기판 상에 돌출되는 상단부로 구성되는 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 구리 포스트의 하단부의 직경은 상단부의 직경보다 5 내지 20 ㎛ 더 큰 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 단계 3에서 구리 포스트는 10 내지 50 ㎛ 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 단계 4에서 포토레지스트층에는 포토마스크를 이용한 노광공정을 통하여 구리 포스트의 하단부 직경과 동일한 직경을 갖는 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 단계 5에서 솔더는 Sn-Ag, Sn-Cu, Sn-Zn 및 Sn-Bi으로 이루어진 군으로부터 선택되는 2원계 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 단계 5에서 솔더는 Sn-Ag-Cu, Sn-Ag-In 및 Sn-Bi-Zn으로 이루어진 군으로부터 선택되는 3원계 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기계적 신뢰성이 향상된 무연 솔더 범프의 제조방법
12 12
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따라 제조된 무연 솔더 범프
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.