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그래핀 및 그래핀 바운더리 분석 장치 및 분석 방법

  • 기술번호 : KST2015143727
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 그래핀 그레인 및 그레인바운더리를 분석하는 방법에 있어서, 지지부와 상기 지지부의 적어도 일측에 배치되며 그레인과 그레인 바운더리를 포함하는 그래핀을 구비한 제1그래핀 구조체를 준비하는 단계, 상기 제1그래핀 구조체를 산화 공정 처리하여 제2그래핀 구조체를 형성하는 단계와 상기 그래핀의 형상을 검출하는 단계를 포함하는 그래핀 분석 방법 및 이를 이용한 분석 장치에 대해 개시한다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) G01N 33/00 (2006.01) G01N 21/33 (2006.01)
CPC G01N 33/00(2013.01) G01N 33/00(2013.01) G01N 33/00(2013.01) G01N 33/00(2013.01) G01N 33/00(2013.01)
출원번호/일자 1020120066320 (2012.06.20)
출원인 삼성전자주식회사, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0142794 (2013.12.30) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.23)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영희 대한민국 경기 수원시 권선구
2 한강희 대한민국 경기 부천시 오정구
3 드엉 딘 롭 베트남 경기 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 경기도 수원시 영통구
2 성균관대학교 산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0492353-69
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-0287080-29
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0014393-78
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0329438-26
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0694403-54
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0694404-00
10 등록결정서
Decision to grant
2018.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0778058-99
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
그레인과 그레인 바운더리를 포함하는 그래핀과, 상기 그래핀을 지지하는 지지부를 구비한 제1그래핀 구조체를 준비하는 단계;상기 제1그래핀 구조체에 대해 산화 공정을 수행하여 제2그래핀 구조체를 형성하는 제2그래핀 구조체 생성 단계; 및상기 제2 그래핀 구조체에 구비된 그래핀의 형상을 검출하는 단계;를 포함하며상기 지지부는 산화가 가능한 물질로 이루어지고,상기 제2그래핀 구조체 생성 단계의 상기 산화 공정은 상기 제1그래핀 구조체의 상기 지지부 중에서 상기 그래핀의 상기 그레인 바운더리를 지지하는 부분을 산화시키는 단계를 포함하며,상기 제2 그래핀 구조체에 구비된 그래핀의 형상을 검출하는 단계는 상기 산화 공정에 의해 상기 그레인 바운더리를 지지하는 부분에 생성된 산화물을 관측하는 단계를 포함하는 그래핀 분석 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 지지부는 금속으로 이루어진 그래핀 분석 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 지지부는 {알루미늄(Al), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 구리(Cu), 팔라디엄(Pd)}으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 어느 하나의 산화가 가능한 금속을 포함하는 그래핀 분석 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 지지부는 금속으로 이루어지며 상기 그래핀과 접촉하는 제1지지부; 및상기 제1지지부를 지지하는 제2지지부;를 포함하는 그래핀 분석 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 제2그래핀 구조체 생성 단계는상기 제1그래핀 구조체를 수증기(H2O) 및 산소가 형성된 환경에 배치하는 단계; 및상기 제1그래핀 구조체에 자외선을 조사하는 단계;를 포함하는 그래핀 분석 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 제2그래핀 구조체 생성 단계는 그래핀 구조체 표면의 수분을 제거하는 단계;를 더 포함하는 그래핀 분석 방법
8 8
제6항에 있어서,상기 수증기(H2O)가 형성된 환경의 습도는 20% 이상 100% 미만인 그래핀 분석 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 그래핀의 형상을 검출하는 단계는 광학 현미경에 의해 이루어지는 그래핀 분석 방법
10 10
그레인과 그레인 바운더리를 포함하는 그래핀; 및 상기 그래핀을 지지하는 지지부;를 포함하는 그래핀 구조체를 분석하는 장치에 있어서,상기 그레인 바운더리에 대응되는 상기 지지부의 부분을 산화시켜 산화물을 형성하는 산화 공정부; 및그래핀 형상 검출부;를 포함하는 그래핀 분석 장치
11 11
제10항에 있어서,상기 그래핀의 형상으로부터 그래핀의 특성을 분석하는 분석부를 더 포함하는 그래핀 분석 장치
12 12
제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 산화 공정부는 수증기를 공급하는 습도 조절부; 및상기 수증기로 부터 산화제를 형성하기 위한 자외선이 방사되는 자외선 광원;을 포함하는 그래핀 분석 장치
13 13
제12항에 있어서,상기 산화 공정부는 상기 그래핀 구조체의 표면에 형성된 수분을 제거하기 위한 건조부를 더 포함하는 그래핀 분석 장치
14 14
제10항 또는 제11항에 있어서,상기 그래핀 형상 검출부는그래핀의 그레인 및 그레인 바운더리의 형상을 검출하기 위한 광학 현미경을 포함하는 그래핀 분석 장치
15 15
그레인과 그레인 바운더리가 포함되어 있는 그래핀;상기 그래핀을 지지하는 지지부; 및상기 지지부의 일부가 변형된 것으로 상기 그레인 바운더리에 대응되는 부분을 중심으로 산화된 산화물;을 포함하는 그래핀 구조체
16 16
제15항에 있어서,상기 산화물의 폭은 상기 그레인 바운더리의 폭에 비해서 크게 형성되는 그래핀 구조체
17 17
제15항에 있어서,상기 지지부는 금속으로 이루어진 그래핀 구조체
18 18
제17항에 있어서,상기 지지부는 구리(Cu)로 이루어진 그래핀 구조체
19 19
제15항에 있어서,상기 지지부는 구리(Cu)로 이루어지며 상기 그래핀과 접촉하는 제1지지부; 및 상기 제1지지부를 지지하는 제2지지부;를 포함하는 그래핀 구조체
20 20
제18항 또는 제19항에 있어서,상기 산화물는 수산화구리(Cu(OH)2)를 포함하는 그래핀 구조체
지정국 정보가 없습니다
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1 US2013344611 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8945937 US 미국 DOCDBFAMILY
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