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표면 플라즈몬과 high-k 물질을 이용한 반사 방지구조 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015144293
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 표면 플라즈몬과 high-k 물질을 이용한 반사 방지구조 및 그 제조방법에 관해 개시되어 있다. 반사 방지구조는 기판 상에 형성되고 입사광에 투명한 고유전막 및 상기 고유전막 상에 구비된 나노 물질층를 포함한다. 상기 고유전막은 ZrO2, HfO2, TiO2, Ta2O5, La2O3, Y2O3 및 Al2O3 중 어느 하나일 수 있다.
Int. CL H01L 21/31 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100026817 (2010.03.25)
출원인 삼성전자주식회사, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0107603 (2011.10.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.02.26)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박영준 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 김종민 대한민국 경기도 용인시 수지구
3 이화민 중국 경기도 수원시 장안구
4 유원종 미국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0190402-34
2 보정요구서
Request for Amendment
2010.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0027154-19
3 [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서
[Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document
2010.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-5010877-69
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5132663-40
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
8 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0189999-16
9 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0092443-27
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0842524-96
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.02.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0111007-45
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0111001-72
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0406170-56
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0643859-06
16 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.07.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0643860-42
17 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0528182-21
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 구비된 반사 방지구조에 있어서,상기 반사 방지구조는,입사광에 투명한 고유전막; 및상기 고유전막 상에 구비된 나노 물질층를 포함하는 반사 방지구조
2 2
제 1 항에 있어서,상기 고유전막은 ZrO2, HfO2, TiO2, Ta2O5, La2O3, Y2O3 및 Al2O3 중 어느 하나인 반사 방지구조
3 3
제 1 항에 있어서,상기 나노 물질층은 복수의 나노 입자를 포함하는 나노 입자층 또는 복수의나노 로드를 포함하는 나노 로드층인 반사 방지구조
4 4
제 1 항에 있어서,상기 나노 물질층은 금속 박막층인 반사 방지구조
5 5
제 1 항에 있어서,상기 나노 물질층 상에 유전막이 더 구비된 반사 방지구조
6 6
제 1 항에 있어서,상기 기판은 광 소자의 표면의 광 입사면 또는 광 소자 내부의 광 입사면 또는 광 방출면인 반사 방지구조
7 7
기판 상에 입사광에 투명한 고유전막을 형성하는 단계; 및상기 고유전막 상에 나노 물질층을 형성하는 단계를 포함하는 반사 방지구조의 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 나노 물질층 상에 유전막을 더 형성하는 반사 방지구조의 제조방법
9 9
제 7 항에 있어서,상기 나노 물질층은 복수의 나노 입자를 포함하는 나노 입자층 또는 복수의나노 로드를 포함하는 나노 로드층인 반사 방지구조의 제조방법
10 10
제 7 항에 있어서,상기 나노 물질층은 금속 박막층으로 형성하는 반사 방지구조의 제조방법
11 11
제 7 항에 있어서,상기 고유전막은 ZrO2, HfO2, TiO2, Ta2O5, La2O3, Y2O3 및 Al2O3 중 어느 하나로 형성하는 반사 방지구조의 제조방법
12 12
제 7 항에 있어서,상기 고유전막 상에 나노 물질층을 형성하는 단계는,상기 고유전막 상에 금속박막을 형성하는 단계; 및 상기 금속박막을 열처리하여 나노입자를 형성하는 단계를 더 포함하는 반사 방지구조의 제조방법
13 13
제 7 항에 있어서,상기 고유전막 상에 나노 물질층을 형성하는 단계는,상기 고유전막 상에 복수의 나노입자를 포함하는 나노 구조체를 코팅하는 단계; 및상기 나노 구조체를 열처리하는 단계를 더 포함하는 반사 방지구조의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08953243 US 미국 FAMILY
2 US20110235184 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2011235184 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8953243 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.