| 1 |
1
절연층 상부에 압저항 패턴 및 상기 압저항 패턴과 연결된 전극라인이 형성되어 있고, 상기 압저항 패턴 및 전극라인을 감싸며, 상기 절연층 상부에 보호층이 형성되어 있는 플렉서블(Flexible) 적층 구조물과; 상기 플렉서블 적층 구조물 하부에 접착되며, 상기 플렉서블 적층 구조물의 압저항 패턴이 존재하는 영역을 하부로부터 부상시킬 수 있는 구조로 이루어진 지지부로 구성된 촉각 센서
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 압저항 패턴이 존재하는 영역에 인접하여, 상기 보호층에서 절연층까지 관통된 관통홀이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 압저항 패턴은 NiCr로 형성되어 있고,상기 절연층은 폴리머 재질로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
|
| 4 |
4
제 1 절연층 상부에 가로축 및 세로축으로 배열된 복수개의 압저항 패턴들과 상기 가로축으로 배열된 압저항 패턴들에 연결되는 제 1 전극라인들이 형성되어 있고, 상기 압저항 패턴들 및 제 1 전극라인들을 감싸며, 상기 제 1 절연층 상부에 제 2 절연층이 형성되어 있고, 상기 제 2 절연층에, 상기 세로축으로 배열된 압저항 패턴들 각각의 일부를 노출시키는 개구들이 형성되어 있고, 상기 제 2 절연층 상부에 상기 개구들을 통하여 상기 세로축으로 배열된 압저항 패턴들 각각에 연결되는 제 2 전극라인들이 형성되어 있고, 상기 제 2 전극라인들을 보호하는 보호층이 상기 제 2 절연층 상부에 형성되어 있는 플렉서블(Flexible) 적층 구조물과; 상기 플렉서블 적층 구조물 하부에 접착되며, 상기 플렉서블 적층 구조물의 각각의 압저항 패턴들이 존재하는 영역을 하부로부터 부상시킬 수 있는 구조로 이루어진 지지부로 구성된 촉각 센서
|
| 5 |
5
청구항 4에 있어서, 상기 압저항 패턴들이 존재하는 영역들 각각에 인접하여, 상기 보호층에서 제 1 절연층까지 관통된 관통홀들이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
|
| 6 |
6
청구항 4 또는 5에 있어서, 상기 지지부는,상기 압저항 패턴들이 존재하는 영역들 각각을 부상시킬 수 있도록,하부의 일부가 제거된 복수개의 홈들이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
|
| 7 |
7
청구항 5에 있어서, 상기 지지부는,상기 복수개의 압저항 패턴들에 대응하여 홈들이 형성되어 있고, 상기 홈들 내부 각각에 관통홀이 형성되어 있고, 상기 플렉서블 적층 구조물에 형성된 관통홀들과 상기 지지부에 형성된 관통홀들이 일치되어, 상기 지지부가 상기 플렉서블 적층 구조물에 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
|
| 8 |
8
청구항 5에 있어서, 상기 압저항 패턴이 존재하는 영역은,캔틸레버(Cantilever) 또는 브릿지(Bridge) 형상인 것을 특징으로 하는 촉각 센서
|
| 9 |
9
청구항 8에 있어서, 상기 캔틸레버 끝 또는 브릿지 중심에 범프(Bump)가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 촉각 센서
|
| 10 |
10
기판 상부에 절연층을 형성하는 단계와;상기 절연층 상부에 압저항 패턴 및 상기 압저항 패턴과 연결된 전극라인을 형성하는 단계와;상기 압저항 패턴 및 전극라인을 감싸는 보호층을 상기 절연층 상부에 형성하는 단계와;상기 기판을 상기 절연층으로부터 이탈시키는 단계와;상기 절연층 하부에, 상기 압저항 패턴이 존재하는 영역을 하부로부터 부상시킬 수 있는 구조로 이루어진 지지부를 접착하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 촉각 센서의 제조 방법
|
| 11 |
11
기판 상부에 제 1 절연층을 형성하는 단계와;상기 제 1 절연층 상부에 가로축 및 세로축으로 배열된 복수개의 압저항 패턴들과 상기 가로축으로 배열된 압저항 패턴들에 연결되는 제 1 전극라인들을 형성하는 단계와;상기 압저항 패턴들 및 제 1 전극라인들을 감싸며, 상기 제 1 절연층 상부에 제 2 절연층을 형성하는 단계와; 상기 제 2 절연층의 일부를 제거하여, 상기 세로축으로 배열된 압저항 패턴들 각각의 일부를 노출시키는 개구들을 형성하는 단계와;상기 제 2 절연층 상부에 상기 개구들을 통하여 상기 세로축으로 배열된 압저항 패턴들 각각에 연결되는 제 2 전극라인들을 형성하는 단계와;상기 제 2 전극라인들을 보호하는 보호층을 상기 제 2 절연층 상부에 형성하는 단계와;상기 압저항 패턴들이 존재하는 영역에 인접하여, 상기 보호층에서 기판까지 관통된 관통홀들을 형성하는 단계와;상기 기판을 상기 제 1 절연층으로부터 이탈시키는 단계와;상기 제 1 절연층 하부에, 상기 압저항 패턴들이 존재하는 영역들 각각을 하부로부터 부상시킬 수 있는 구조로 이루어진 지지부를 접착하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 촉각 센서의 제조 방법
|
| 12 |
12
청구항 10 또는 11에 있어서, 상기 지지부는,도금법 또는 부분 습식식각으로 형성하는 것을 특징으로 하는 촉각 센서의 제조 방법
|
