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대물렌즈 조리개 제조방법, 제조된 대물렌즈 조리개 및이를 이용한 패턴형성장치

  • 기술번호 : KST2015159927
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 대물렌즈 조리개 제조방법, 제조된 대물렌즈 조리개 및 이를 이용한 패턴형성장치가 개시된다. 본 발명에 따른 대물렌즈 조리게 제조방법은 결정질 시편의 회절도형을 획득하고, 획득된 회절도형을 바탕으로 원하는 고분해능 원자이미지를 얻기 위해, 투과시킬 회절빔 및 투과빔을 선택한다. 그리고 선택된 회절빔 및 투과빔을 투과시키는 개구부를 대물렌즈 조리개용 플레이트에 형성시킨다. 본 발명에 따르면, 하나의 시편을 이용하여 다양한 원자이미지를 얻을 수 있어 여러 가지 패턴을 형성하고자 할 때 시편을 교체하는데 소요되는 시간과 노력이 절감된다.
Int. CL H01L 21/26 (2006.01) G03B 9/00 (2006.01) G03B 9/02 (2006.01)
CPC G03B 9/07(2013.01) G03B 9/07(2013.01) G03B 9/07(2013.01) G03B 9/07(2013.01)
출원번호/일자 1020080010050 (2008.01.31)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0928058-0000 (2009.11.16)
공개번호/일자 10-2009-0084085 (2009.08.05) 문서열기
공고번호/일자 (20091123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.31)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기범 대한민국 서울 관악구
2 김현미 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)
2 박보경 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2008-0081580-60
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0109540-90
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.01.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2009-0009599-47
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0216805-52
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.07.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0433762-19
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0433747-34
8 등록결정서
Decision to grant
2009.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0462580-22
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
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번호 청구항
1 1
결정질 시편에 전자빔을 조사함으로써, 상기 결정질 시편을 통과한 투과빔과 복수의 회절빔에 의해 형성된 고분해능 원자이미지로부터 패턴을 형성하는 장치에 이용되는 대물렌즈 조리개 제조방법으로, 상기 결정질 시편의 회절도형을 획득하는 단계; 상기 복수의 회절빔 중 어떤 회절빔을 선택하여 투과시키느냐에 따라 형성되는 고분해능 원자이미지의 패턴 형태가 서로 상이하다는 점을 이용하여, 상기 획득된 회절도형을 기초로 원하는 형태의 패턴을 갖는 고분해능 원자이미지를 얻기 위해, 투과시킬 회절빔을 선택하는 단계; 및 상기 투과빔 및 상기 선택된 회절빔을 투과시키는 개구부를 대물렌즈 조리개용 플레이트에 형성시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 조리개 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 결정질 시편의 회절도형은 투과전자현미경을 이용하여 획득하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 조리개 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 투과시킬 회절빔을 선택하는 단계는, 푸리에 변환을 이용한 컴퓨터 처리를 통하여 투과시킬 회절빔을 선택하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈 조리개 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 개구부는 2Lα 이하의 직경으로 형성되고, 여기서 L은 상기 결정질 시편과 상기 대물렌즈 조리개용 플레이트 사이의 거리이고, α는 상기 결정질 시편에 조사되는 전자빔의 수렴반각(convergence semiangle)인 것을 특징으로 하는 대물렌즈 조리개 제조방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 대물렌즈 조리개
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제5항에 기재되어 있는 대물렌즈 조리개를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자이미지를 이용한 패턴형성장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 서울대학교 테라급나노소자개발사업 원자 이미지를 이용한 양자점 형성 기술 개발