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빔형상 조리개 및 이를 이용한 패턴형성장치

  • 기술번호 : KST2015159908
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 빔형상 조리개 및 이를 이용한 패턴형성장치가 개시된다. 본 발명에 따른 빔형상 조리개는 나노패턴 형성을 위해 전자빔 레지스트가 도포된 기판에 조사되는 전자빔의 형상을 제어하도록, 기판의 상부에 배치되고 다각형상의 개구부가 형성되어 있는 플레이트를 구비한다. 본 발명에 따른 패턴형성장치는 나노패턴 정보가 포함된 전자빔을 전자빔 레지스트가 도포된 기판에 조사하여 기판에 나노패턴을 형성하는 패턴형성장치로서, 기판의 상부에 배치되고 기판에 조사되는 전자빔의 형상을 제어하기 위하여 다각형상의 개구부가 형성되어 있는 빔형상 조리개를 구비한다. 본 발명에 따르면, 다각형상의 개구부가 형성된 빔형상 조리개를 이용하므로 전자빔의 형상을 다각형의 형태로 제어할 수 있어, 나노패턴을 형성하고자 하는 영역 전체에 전자빔이 중복되지 않도록 노출시킬 수 있게 된다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01) G02B 21/02 (2011.01)
CPC H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01)
출원번호/일자 1020080010055 (2008.01.31)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0084088 (2009.08.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.31)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기범 대한민국 서울 관악구
2 김현미 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)
2 박보경 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2008-0081615-70
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0109571-05
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0072351-64
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0257411-72
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0369320-64
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노패턴 형성을 위해 전자빔 레지스트가 도포된 기판에 조사되는 전자빔의 형상을 제어하도록, 상기 기판의 상부에 배치되고 다각형상의 개구부가 형성되어 있는 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 빔형상 조리개
2 2
제1항에 있어서, 상기 다각형은 정사각형인 것을 특징으로 하는 빔형상 조리개
3 3
제2항에 있어서, 상기 정사각형의 한 변의 길이는 5 내지 1000μm의 범위에서 설정되는 것을 특징으로 하는 빔형상 조리개
4 4
나노패턴 정보가 포함된 전자빔을 전자빔 레지스트가 도포된 기판에 조사하여 상기 기판에 나노패턴을 형성하는 패턴형성장치에 있어서, 상기 기판의 상부에 배치되고 상기 기판에 조사되는 전자빔의 형상을 제어하기 위하여 다각형상의 개구부가 형성되어 있는 빔형상 조리개를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 빔형상 조리개의 하부에 상기 빔형상 조리개의 상면과 평행하게 배치되고, 상기 기판이 안착될 수 있는 수단을 구비하며, 상기 빔형상 조리개의 상면과 평행한 평면 상에서 이동되는 기판 홀더를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치
6 6
제4항에 있어서, 상기 나노패턴 정보는 상기 전자빔을 결정질 시편을 통과하여 획득되는 원자이미지 패턴인 것을 특징으로 하는 패턴형성장치
7 7
제4항에 있어서, 상기 다각형은 정사각형인 것을 특징으로 하는 패턴형성장치
8 8
제6항에 있어서, 상기 정사각형의 한 변의 길이는 5 내지 1000μm의 범위에서 설정되는 것을 특징으로 하는 패턴형성장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 서울대학교 테라급나노소자개발사업 원자 이미지를 이용한 양자점 형성 기술 개발