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기판;
상기 기판 상에 배열된 나노 입자들의 어레이; 및
상기 나노 입자들의 어레이의 제1 단부 및 이와 대향하는 제2 단부 중 적어도 하나와 전기적 연속성을 형성하도록 상기 기판 상에 위치하는 롤러(roller);
를 포함하는 트랜스듀서
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제1항에 있어서, 상기 롤러는 상기 기판의 틸팅(tilting)에 따라 상기 기판의 고도가 높은 일면으로부터 상기 기판의 고도가 낮은 다른 일면으로, 상기 나노 입자들의 어레이의 제1 단부 및 제2 단부 중 적어도 하나와 전기적 연속성을 형성하면서, 회전 이동하는 트랜스듀서
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제1항에 있어서, 상기 롤러는 상기 나노 입자들의 어레이의 제1 단부 및 제2 단부 중 적어도 하나와 접촉하는 제1 단부 및 제2 단부와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 결합부를 포함하는 트랜스듀서
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제3항에 있어서, 상기 나노 입자들의 어레이의 제1 단부 및 제2 단부 중 적어도 하나와는 일정한 거리를 두고 배치되며, 상기 롤러의 제1 단부 및 제2 단부 중 적어도 하나와 접촉하도록 상기 기판 상에 배치된 제1 전극 및 제2 전극을 더 포함하는 트랜스듀서
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제4항에 있어서, 상기 일정한 거리는 상기 나노 입자들의 어레이의 제1 단부 및 상기 제2 단부 중 적어도 하나와 상기 제1 전극 또는 상기 제2 전극이 각각 전기적으로 분리되게 하는 거리인 트랜스듀서
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제3항에 있어서, 상기 롤러의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부는 전도성 재료를 포함하고, 상기 롤러의 결합부는 절연성 재료를 포함하는 트랜스듀서
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제4항에 있어서, 상기 롤러는 상기 제1 전극 및 제2 전극 사이의 거리보다 긴 길이를 가지는 트랜스듀서
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제4항에 있어서, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 연결되는 전원을 더 포함하는 트랜스듀서
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제1항에 있어서, 상기 기판은 절연성 또는 유전성 재료를 포함하는 트랜스듀서
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제1항에 있어서, 상기 나노 입자들의 어레이는 복수 개의 행과 복수 개의 열로 배열되는 트랜스듀서
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제10항에 있어서, 상기 복수 개의 행 각각에는 하나 이상의 상기 나노 입자들이 배열되며, 동일한 행 내에 배열된 상기 하나 이상의 상기 나노 입자들 간에는 전기적 연속성을 형성하고, 인접한 행 내에 배열한 나노 입자들간에는 전기적으로 절연되는 트랜스듀서
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제10항에 있어서, 상기 복수 개의 행 각각에는 하나 이상의 상기 나노 입자들이 배열되며, 동일한 행 내에 배열된 상기 하나 이상의 상기 나노 입자들은 동일한 크기를 가지고, 상이한 행 내에 배열한 나노 입자들은 서로 상이한 크기를 갖는 트랜스듀서
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13
제10항에 있어서, 상기 복수 개의 행 각각에는 하나 이상의 상기 나노 입자들이 배열되며, 동일한 행 내에 배열한 상기 하나 이상의 상기 나노 입자들은 동일한 재료로 구성되고, 상이한 행 내에 배열한 상기 나노 입자들은 서로 상이한 재료로 구성되는 트랜스듀서
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14
제4항에 있어서, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 각각 전도성 재료를 포함하는 트랜스듀서
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제14항에 있어서, 상기 제1 전극은 상기 나노 입자들의 어레이의 제1 단부와 전기적으로 분리되고, 상기 제2 전극은 상기 나노 입자들의 어레이의 제2 단부와 전기적으로 접속하도록 상기 기판 상에 배치되는 트랜스듀서
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16
제15항에 있어서, 상기 제2 전극은 상기 나노 입자들의 어레이의 제2 단부와 비대칭적으로 접속하는 트랜스듀서
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제3항에 있어서, 상기 롤러의 제1 단부, 제2 단부 및 결합부는 모두 원통형인 트랜스듀서
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제17항에 있어서, 상기 롤러의 제1 단부 및 제2 단부는 동일한 직경 및 폭을 지니며, 상기 결합부의 직경은 상기 롤러의 제1 단부 및 제2 단부의 직경과 동일하거나 상이하도록 구성되는 트랜스듀서
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19
제18항에 있어서, 상기 롤러의 제1 단부 및 제2 단부는 각각 상기 롤러의 회전축 방향으로 스트립(strip) 형태를 포함하는 트랜스듀서
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20
제19항에 있어서, 상기 스트립 형태는 상기 롤러의 제1 단부 및 제2 단부 각각에 상기 롤러의 회전축 방향으로 일정한 두께를 지니며 형성된 적어도 하나의 홈을 포함하는 트랜스듀서
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제19항 또는 제20항에 있어서, 상기 스트립 형태는 전도성 재료로 구성되는 트랜스듀서
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제3항에 있어서, 상기 롤러의 제1 단부 및 제2 단부는 원뿔대 형상을 지니는 트랜스듀서
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제22항에 있어서, 상기 롤러의 제1 단부는 상기 결합부와 가까워질수록 직경이 작아지며, 상기 롤러의 제2 단부는 상기 결합부와 멀어질수록 직경이 작아지는 형태를 지니는 트랜스듀서
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24
제8항에 있어서, 상기 전원은 전류전원 또는 전압전원인 트랜스듀서
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25
제24항에 있어서, 상기 전원으로 인가되는 전류 또는 전압에 대응하여, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극, 상기 롤러의 제1 단부 및 제2 단부, 및 상기 나노 입자들의 어레이를 통해 전기적 폐회로를 형성하는 트랜스듀서
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26
제25항에 있어서, 상기 전기적 폐회로를 통해 흐르는 전류 또는 상기 전기적 폐회로의 양단에 걸리는 전압을 검출하는 검출기를 더 포함하는 트랜스듀서
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기판의 틸팅(tilting)각을 측정하는 방법으로서,
기판 상에 나노 입자들의 어레이를 배열하는 단계;
상기 나노 입자들의 어레이의 제1 단부 및 이와 대향하는 제2 단부 중 적어도 하나와 전기적 연속성을 형성할 수 있도록 구성된 롤러(roller)를 상기 기판 상에 배치하는 단계;
상기 기판 상으로 인가된 전류 또는 전압에 대응하여, 상기 나노 입자들의 어레이와 상기 롤러 사이에 전기적 폐회로를 형성하는 단계; 및
상기 전기적 폐회로로부터 측정되는 전류 또는 전압의 변화를 측정하는 단계
를 포함하는 기판의 틸팅각 측정 방법
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28
제27항에 있어서, 상기 기판 상에 나노 입자들의 어레이를 배열하는 단계는, 상기 나노 입자들의 어레이가 복수 개의 행과 복수 개의 열로 구성되며, 상기 복수 개의 행 각각에는 하나 이상의 상기 나노 입자들이 배열되며, 동일한 행 내에 배열된 상기 하나 이상의 상기 나노 입자들 간에는 전기적 연속성을 형성하고, 인접한 행 내에 배열된 나노 입자들간에는 전기적 절연성을 형성하도록 하는 상기 나노 입자들의 어레이를 복수 개의 행과 복수 개의 열로 구성하는 단계를 더 포함하는 기판의 틸팅각 측정 방법
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제27항에 있어서, 상기 기판 상에 제1 전극 및 제2 전극을 배치하는 단계로서, 상기 제1 전극 및 제2 전극을 상기 나노 입자들의 어레이의 제1 단부 및 이와 대향하는 제2 단부 중 적어도 하나와는 소정의 거리를 두고 상기 기판 상에 배치하는 단계를 더 포함하는 기판의 틸팅각 측정 방법
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제29항에 있어서, 상기 전기적 폐회로는 상기 인가된 전류 또는 전압에 대응하여, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극, 상기 롤러를 통해서 형성되는 기판의 틸팅각 측정 방법
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제30항에 있어서, 상기 전기적 폐회로로부터 측정되는 전류의 변화 및 상기 나노 입자들의 어레이의 행간 거리를 이용하여, 상기 기판의 틸팅 각을 계산하는 단계를 더 포함하는 기판의 틸팅각 측정 방법
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