| 1 |
1
마이크로칼로리미터 소자에 있어서,
양면 연마된 실리콘 프레임(11a,11b)의 상면에 제1 실리콘니트라이드 박막(12a,12b)을 포함하고, 하면에는 제2 실리콘니트라이드 박막(13)을 포함하되, 상기 제 2 실리콘니트라이드 박막(13)의 하면에는 전기인출선과 체결되는 히터/센서(14a, 14b)를 포함하고 그 상면에는 등온층(15)을 포함하여 구성되되,
상기한 히터/센서(14a,14b)는 일방이 히터인 경우 타방은 센서로 그 구역을 분획하여 형성됨을 특징으로 하는 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,
상기 히터/센서(14a,14b)는 20㎛ 이하의 폭과 50nm 이하의 두께로 형성되고, 상기 전기인출선은 히터/센서(14a,14b)와의 체결영역에서 소정 선폭을 가지되 20㎛ 이하의 선폭으로 형성됨을 특징으로 하는 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서,
상기 히터/센서(14a,14b) 및 전기인출선은 Au 또는 Pt로 형성됨을 특징으로 하는 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,
상기 히터/센서(14a,14b)를 분획하여 구성함으로써 히터와 센서간 상호 전기적 간섭을 감소시킴을 특징으로 하는 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서,
상기 등온층(15)은 200nm 이하의 두께로 형성됨을 특징으로 하는 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서,
전기인출선은 측단 영역에서 히터/센서(14a,14b)와의 체결영역인 중심영역으로 향하면서 인출선 폭이 점진적으로 감소하면서 형성됨을 특징으로 하는 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자
|
| 7 |
7
삭제
|
