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펩타이드 합성을 위한 단결정 실리콘 마이크로 미러 및그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015160380
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 펩타이드 합성시에 바이오 패턴 어레이 제작에 사용되는 마이크로 미러(또는, 마이크로 미러 어레이)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 단결정 실리콘 기판 및 유리 기판으로 구성하여 비교적 단순한 구조 및 양극 접합을 이용하여 제조방법이 용이하면서도, 광학적으로 평탄한 미러판 및 기계적으로 안정적인 특성을 갖는 마이크로 미러에 대한 것이다. 이에 상기 마이크로 미러는 구동각 및 미러의 크기가 펩타이드 합성에 있어 바이오 패턴 어레이 제작에 적합한 장점이 있다.MEMS(Micro-Electro Mechanical System), 마이크로 미러(micro-mirror), 단결정 실리콘, 펩타이드(Peptide)
Int. CL C12Q 1/68 (2006.01)
CPC B01L 9/527(2013.01) B01L 9/527(2013.01) B01L 9/527(2013.01)
출원번호/일자 1020050106505 (2005.11.08)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0671286-0000 (2007.01.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070119) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.08)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용권 대한민국 서울 강남구
2 이윤식 대한민국 경기 안양시 동안구
3 장윤호 대한민국 서울 서초구
4 신동식 대한민국 서울 중랑구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이건철 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)(특허법인이룸리온)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 사이언스앳홈 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2005-0642151-31
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.09.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.10.16 수리 (Accepted) 9-1-2006-0066709-40
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0615117-47
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0791076-00
6 등록결정서
Decision to grant		 2006.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0776349-19
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
펩타이드 합성의 바이오 패턴 어레이 제작에 사용되는 마이크로 미러에 있어서,전압이 인가되도록 구성한 제1 전극패드 및 제2 전극패드와 각각 전기적으로 연결되는 제1 접합부 및 제2 접합부, 상기 제1 접합부와 기계적 스프링을 통해 전기적으로 연결되며 상기 기계적 스프링을 중심축으로 하여 회전하는 미러판을 포함하며, 단결정 실리콘으로 구성되는 제1 기판; 및상기 미러판과 전기적으로 분리되고, 상기 미러판의 하부에 일정 거리 이격되어 위치하며, 상기 제2 접합부와 전기적으로 연결되고 금속으로 구성된 바닥전극을 포함하며, 절연체로 구성된 제2 기판;을 포함하는 단결정 실리콘 마이크로 미러
2 2
제 1항에 있어서,상기 기계적 스프링 및 미러판은 상기 제1 기판에 적어도 하나 이상 구성되고, 상기 제 2 기판의 바닥 전극은 상기 미러판이 구성된 것과 같이 상기 제2 기판에 적어도 하나 이상 구성되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 마이크로 미러
3 3
제 2항에 있어서,상기 기계적 스프링, 미러판 및 바닥전극은 2차원으로 배열되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 마이크로 미러
4 4
제 3항에 있어서,상기 2차원으로 배열되는 다수 개의 미러판의 간격은 60 ㎛인 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 마이크로 미러
5 5
제 1항에 있어서,상기 제1 전극패드 및 제2 전극패드는 단결정 실리콘으로 구성되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 마이크로 미러
6 6
제 1항에 있어서,상기 제2 기판을 구성하는 절연체는 유리인 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 마이크로 미러
7 7
제 3항에 있어서,상기 2차원으로 배열되는 미러판은 프레임구동방법(frame driving scheme)으로 구동되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 마이크로 미러
8 8
제 1항에 있어서,상기 제 1접합부 및 제2 접합부는 제2 기판이 노출되도록 형성된 절연홈에 의해 전기적으로 분리되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 마이크로 미러
9 9
a
10 10
제 9항에 있어서,상기 c단계는 상기 제2 기판의 바닥 전극과 상기 제1 기판이 접촉하도록 위치시킨 후, 양극 접합(anodic bonding)을 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 마이크로 미러의 제조방법
11 11
제 9항에 있어서,상기 a단계 내지 d단계는 다수 개의 마이크로 미러 어레이를 형성하는 웨이퍼의 형태로 수행되며, 상기 d단계를 수행한 후, 개개의 마이크로 미러 어레이로 분리하기 위한 홈을 형성하는 다이싱단계 및 개개의 마이크로 미러 어레이로 분리하기 위하여 홈부분을 제거하는 건식식각단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘 마이크로 미러의 제조방법
12 12
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