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초점 타원계측기

  • 기술번호 : KST2015179381
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 타원계측기(ellipsometer)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 특정 편광상태(polarization)를 지니고 시편의 표면에 입사한 빛이 반사된 후에 가지게 되는 편광상태의 변화를 분석하여 시편의 광학적 특성을 찾아내는 기술이다.이를 위하여 본 발명의 타원계측기는 광원(light source); 상기 광원으로부터 방출된 빛을 선편광시키는 선형 편광자(linear polarizer), 편광상태에 따라 진행파의 위상을 다르게 바꾸는 보정기(compensator) 등이 구비된 광원부 모듈; 상기 광원부 모듈로부터 편광된 빛을 분할하는 광분할기(beam splitter); 상기 광분할기로부터 분할된 일부의 빛이 통과되어 시편에 집중시켜 조사시키는 대물렌즈(objective lens); 상기 시편으로부터 반사된 빛을 편광시키는 수광부 모듈; 상기 수광부 모듈을 통과한 빛을 단위소자(pixel)로 검출하는 광검출기(optical detector); 상기 광검출기로 검출된 빛의 세기를 각각의 단위소자에 해당되는 값으로 수치화하여 연산처리하는 연산처리장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 타원계측기, 편광, 광원부 모듈, 광분할기, 수광부 모듈, 광검출기, 연산처리장치
Int. CL G01N 21/21 (2006.01) G01B 11/00 (2006.01) G01B 11/06 (2006.01)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020060056275 (2006.06.22)
출원인 케이맥(주), 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0742982-0000 (2007.07.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070726) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.06.22)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 케이맥(주) 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이중환 대한민국 대전 유성구
2 고영준 대한민국 대전 대덕구
3 박영선 대한민국 충남 아산시 음봉면
4 박윤종 대한민국 경기 용인시 수지구
5 정치운 대한민국 서울 서초구
6 예상헌 대한민국 부산 영도구
7 조용재 대한민국 대전 유성구
8 조현모 대한민국 대전 서구
9 제갈원 대한민국 대전 대덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 케이맥(주) 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0440840-33
2 등록결정서
Decision to grant		 2007.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0287237-02
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.05.11 수리 (Accepted) 4-1-2010-5083146-49
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
1 1
광원;상기 광원으로부터 방출된 빛을 편광시키는 편광자가 구비된 광원부 모듈;상기 광원부 모듈로부터 편광된 빛을 분할하는 광분할기;상기 광분할기로부터 분할된 일부의 빛을 통과시켜 시편에 집중시켜 조사시키는 대물렌즈;상기 시편으로부터 반사된 빛을 타원편광시키는 편광자가 구비되고, 상기 시편으로부터 반사되어 상기 대물렌즈 및 상기 광분할기를 통과한 빛을 수광하는 수광부 모듈;상기 수광부 모듈로 수광된 빛을 단위소자로 검출하는 광검출기;상기 광검출기로 검출된 빛의 세기를 다중 입사면의 경로를 따라서 상기 광검출기의 단위소자(pixel)에 해당되는 값으로 보정하여 연산처리하는 연산처리장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 타원계측기
2 2
제 1 항에 있어서, 광검출기는 다수의 단위소자(pixel)로 구성된 2차원 영상측정 장치를 사용하는 것을 특징으로 하는 타원계측기
3 3
제 1항에 있어서, 광원부 모듈과 수광부 모듈은 특정 파장 범위의 빛을 통과시키는 대역필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타원계측기
4 4
제 3 항에 있어서,상기 광원부 모듈과 수광부 모듈은 시준렌즈 및 보정기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타원계측기
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3 TW200809170 TW 대만 FAMILY
4 TWI331672 TW 대만 FAMILY
5 US08004677 US 미국 FAMILY
6 US20100045985 US 미국 FAMILY
7 WO2007148918 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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4 JP2009541735 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 TW200809170 TW 대만 DOCDBFAMILY
6 TWI331672 TW 대만 DOCDBFAMILY
7 US2010045985 US 미국 DOCDBFAMILY
8 US8004677 US 미국 DOCDBFAMILY
9 WO2007148918 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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