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반사광측정법에 근거한 분산 백색광 간섭법을 이용한 박막두께 및 형상측정 방법

  • 기술번호 : KST2014011535
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반사광측정법에 근거한 분산 백색광 간섭법을 이용한 박막 두께 및 형상측정방법에 관한 것이다. 본 발명은 간섭광의 간섭무늬를 획득하여 상기 박막의 파장에 따른 광강도분포를 획득하는 단계; 획득된 파장에 따른 광강도분포를 통해 절대반사율을 구하는 단계; 절대반사율에 의해 박막의 두께(d)값을 구하는 단계; 합성간섭광의 간섭무늬로부터 두께 및 형상에 의한 제 1위상변화값을 추출하는 단계; 제 1위상변화값에 포함된 두께에 의한 제 2위상변화값을 추출하는 단계; 제 1위상변화값에서 상기 제 2위상변화값을 보상하여 형상에 의한 제 3위상변화값을 구하는 단계; 및 제 3위상변화값에서 형상(h)값을 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 초박막의 두께 및 형상에 대한 빠른 측정이 가능하고, 외부 환경이나 진동에 둔감한 것을 특징으로 한다. 반사광측정법, 분산 백색광 간섭법, 박막의 두께 및 형상 측정
Int. CL G01B 11/06 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01)
CPC G01B 11/0625(2013.01) G01B 11/0625(2013.01) G01B 11/0625(2013.01)
출원번호/일자 1020070060033 (2007.06.19)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0916618-0000 (2009.09.02)
공개번호/일자 10-2008-0111723 (2008.12.24) 문서열기
공고번호/일자 (20090914) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.19)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김승우 대한민국 대전 유성구
2 김영식 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-5061494-77
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0027747-96
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0087620-19
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0254627-65
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0254648-13
7 등록결정서
Decision to grant		 2009.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0356764-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
간섭광과 합성간섭광의 분리획득이 가능한 분산 백색광 간섭법을 이용한 박막의 두께 및 형상 측정방법에 있어서, 상기 간섭광의 간섭무늬를 획득하여 상기 박막의 파장에 따른 광강도분포를 획득하는 단계; 상기 획득된 파장에 따른 광강도분포를 통해 절대반사율을 구하는 단계; 상기 절대반사율에 의해 박막의 두께(d)값을 구하는 단계; 상기 합성간섭광의 간섭무늬로부터 두께정보와 형상정보를 함께 포함하는 제 1위상변화값을 추출하는 단계; 상기 제 1위상변화값에 포함된 두께정보에 의한 제 2위상변화값을 추출하는 단계; 상기 제 1위상변화값에서 상기 제 2위상변화값을 보상하여 형상정보에 의한 제 3위상변화값을 구하는 단계; 및 상기 제 3위상변화값에서 형상(h)값을 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사광측정법에 근거한 분산 백색광 간섭법을 이용한 박막두께 및 형상측정방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 절대반사율은, 실리콘웨이퍼를 표준으로 삼고 파장에 따른 광강도분포를 동일 조건에서 측정하고 측정된 값을 보상해 주어 구해지는 것을 특징으로 하는 반사광측정법에 근거한 분산 백색광 간섭법을 이용한 박막두께 및 형상측정방법
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4 4
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5 5
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6 6
제 1항에 있어서, 상기 제 3위상변화값에서 파수(k)에 대한 기울기를 구하여 형상값을 구하는 것을 특징으로 하는 반사광측정법에 근거한 분산 백색광 간섭법을 이용한 박막두께 및 형상측정방법
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8 8
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9 9
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10 10
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11 11
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12 12
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.