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변화 가능한 격자 깊이를 갖는 반사형 회절 격자를 구비하는 변위 측정기 및 이를 사용한 변위 측정 방법
- 기술번호 : KST2014008144
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 변화 가능한 격자 깊이를 갖는 반사형 회절 격자를 구비하는 변위 측정기 및 이를 사용한 변위 측정방법을 제공한다. 상기 변위 측정기는 변화 가능한 격자 깊이를 갖는 반사형 회절 격자 및 상기 회절 격자에서 반사된 회절광을 검출하는 수광소자를 포함한다. 상기 회절 격자는 홈을 구비하는 고정 격자판과 상기 홈 내에 수용된 돌출부를 갖는 이동 격자판을 구비할 수 있다. 상기 이동 격자판의 하부에 변위 구동 소자가 설치될 수 있다. 상기 변위 구동 소자는 압전 소자일 수 있다. 이러한 변위 측정기는 변화 가능한 격자 깊이를 갖는 회절 격자 및 상기 회절 격자로부터 반사되는 회절광을 사용하여 격자 깊이의 변화량을 정밀하게 측정할 수 있다. 회절 격자, 격자 깊이, 변위 측정 |
|---|---|
| Int. CL | G01B 11/00 (2006.01) G01B 11/25 (2006.01) |
| CPC | G01D 5/38(2013.01) G01D 5/38(2013.01) G01D 5/38(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080033504 (2008.04.11) |
| 출원인 | 주식회사 넥서스칩스 |
| 등록번호/일자 | 10-1001739-0000 (2010.12.09) |
| 공개번호/일자 | 10-2009-0108206 (2009.10.15) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20101215) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.04.11) |
| 심사청구항수 | 8 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 프리미스 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이차범 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
| 2 | 이선규 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
| 3 | 주재영 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
| 4 | 우도균 | 대한민국 | 광주광역시 북구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인이상 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 프리미스 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.04.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0258397-17 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2009.01.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2009.02.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0009338-48 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.03.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0126661-54 |
| 5 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2010.04.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0234293-64 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.05.19 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0322499-59 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.05.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0322481-38 |
| 8 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.09.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0402960-08 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5037494-83 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.05.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5080562-67 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.10.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5165758-24 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 변화 가능한 격자 깊이를 갖고, 홈을 구비하는 고정 격자판과 상기 홈 내에 수용된 돌출부를 갖는 이동 격자판을 구비하는 반사형 회절 격자; 및 상기 회절 격자에서 반사된 회절광을 검출하는 수광소자를 포함하는 변위 측정기 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 제1항에 있어서, 상기 이동 격자판의 하부에 설치된 변위 구동 소자를 더 포함하는 변위 측정기 |
| 4 |
4 제3항에 있어서, 상기 변위 구동 소자는 압전 소자인 변위 측정기 |
| 5 |
5 제1항에 있어서, 상기 수광소자는 상기 회절 격자에서 반사된 1차 회절광을 검출하는 변위 측정기 |
| 6 |
6 제1항에 있어서, 상기 회절 격자에 광을 조사하는 광원을 더 포함하는 변위 측정기 |
| 7 |
7 변위 측정 대상에 의해 회절 격자의 격자 깊이가 변화되는 단계; 및 상기 격자 깊이가 변화된 회절 격자로부터 반사된 회절광을 검출하고, 상기 검출된 회절광의 세기 변화량을 사용하여 상기 격자 깊이의 변화량을 계산하는 단계를 포함하되, 상기 회절 격자는 홈을 구비하는 고정 격자판, 및 상기 홈 내에 수용된 돌출부를 갖는 이동 격자판을 구비하고, 상기 돌출부가 상기 홈 내에서 이동함에 따라 상기 격자 깊이가 변화되는 변위 측정방법 |
| 8 |
8 삭제 |
| 9 |
9 제7항에 있어서, 상기 이동 격자판의 하부에 변위 구동 소자가 설치되고, 상기 변위 측정 대상에 의해 상기 회절 격자의 격자 깊이를 변화시키기 전에, 상기 변위 구동 소자를 변형시켜 상기 회절 격자의 격자 깊이를 변화시키는 단계; 상기 변위 구동 소자의 변형량을 계산하는 단계; 상기 변위 구동 소자에 의해 격자 깊이가 변화된 회절 격자로부터 반사된 회절광을 검출하고, 상기 검출된 회절광의 세기를 사용하여 상기 변위 구동 소자에 의해 변화된 격자 깊이의 변화량을 계산하는 단계; 및 상기 계산된 변위 구동 소자의 변형량과 상기 회절광의 세기를 사용하여 계산된 격자 깊이의 변화량을 비교하여 보정값을 산출하는 단계를 더 포함하는 변위 측정방법 |
| 10 |
10 제9항에 있어서, 상기 변위 구동 소자는 압전 소자이며, 상기 변위 구동 소자를 변형시키는 것은 상기 압전 소자에 전압을 인가하여 상기 압전 소자를 변형시키는 것이고, 상기 변위 구동 소자의 변형량을 계산하는 것은 상기 압전 소자에 인가된 전압을 사용하여 상기 압전 소자의 변형량을 계산하는 것인 변위 측정방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1001739-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20080411 출원 번호 : 1020080033504 공고 연월일 : 20101215 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20100910 청구범위의 항수 : 8 유별 : G01B 11/25 발명의 명칭 : 변화 가능한 격자 깊이를 갖는 반사형 회절 격자를구비하는 변위 측정기 및 이를 사용한 변위 측정방법 존속기간(예정)만료일 : 20181210 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 주식회사 프리미스 서울특별시 송파구... |
| 2 |
(권리자) 주식회사 프리미스 서울특별시 송파구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 107,100 원 | 2010년 12월 09일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 216,000 원 | 2013년 12월 09일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 216,000 원 | 2014년 12월 09일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 216,000 원 | 2015년 12월 03일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 282,800 원 | 2016년 12월 09일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 282,800 원 | 2017년 12월 11일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.04.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0258397-17 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2009.01.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2009.02.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2009-0009338-48 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2010.03.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0126661-54 |
| 5 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2010.04.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0234293-64 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.05.19 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0322499-59 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.05.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0322481-38 |
| 8 | 등록결정서 | 2010.09.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0402960-08 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5037494-83 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.05.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5080562-67 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.10.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5165758-24 |
| 기술번호 | KST2014008144 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | |
| 기술명 | 변화 가능한 격자 깊이를 갖는 반사형 회절 격자를 구비하는 변위 측정기 및 이를 사용한 변위 측정 방법 |
| 기술개요 |
변화 가능한 격자 깊이를 갖는 반사형 회절 격자를 구비하는 변위 측정기 및 이를 사용한 변위 측정방법을 제공한다. 상기 변위 측정기는 변화 가능한 격자 깊이를 갖는 반사형 회절 격자 및 상기 회절 격자에서 반사된 회절광을 검출하는 수광소자를 포함한다. 상기 회절 격자는 홈을 구비하는 고정 격자판과 상기 홈 내에 수용된 돌출부를 갖는 이동 격자판을 구비할 수 있다. 상기 이동 격자판의 하부에 변위 구동 소자가 설치될 수 있다. 상기 변위 구동 소자는 압전 소자일 수 있다. 이러한 변위 측정기는 변화 가능한 격자 깊이를 갖는 회절 격자 및 상기 회절 격자로부터 반사되는 회절광을 사용하여 격자 깊이의 변화량을 정밀하게 측정할 수 있다. 회절 격자, 격자 깊이, 변위 측정 |
| 개발상태 | 특허만신청(등록) |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | - |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345084797 |
|---|---|
| 세부과제번호 | gist-08 |
| 연구과제명 | 과학기술응용연구단운영 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 광주과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200501~201412 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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