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메탈 촉매(m) 위에 그래핀(graphene)(g)을 성장시킨 메탈-그래핀 복합체를 전사 지지체 없이 직접 타겟 기판(s) 상에 전사시키기 위한 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사장치(A)에 있어서,일 측에 상기 타겟 기판(s)을 고정시키기 위한 고정대(11)가 구비되고 내부에 상기 메탈 촉매(m)를 에칭시키기 위한 에천트(etchant)를 충진시키기 위한 내부 공간(12)이 마련되는 하우징(10); 및상기 하우징(10)에 결합되어 상기 하우징(10)을 회전시켜 상기 타겟 기판(s)의 법선 방향으로 발생되는 원심력으로 상기 그래핀(g)을 상기 타겟 기판(s) 상에 전사시키면서 상기 에천트를 이용하여 상기 메탈 촉매(m)를 에칭하기 위한 회전장치(20);를 포함하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사장치
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청구항 1에 있어서,상기 하우징(10)은,상기 내부 공간(12)이 마련되는 하우징 몸체(13);상기 하우징 몸체(13) 내부 공간(12)에 상기 타겟 기판(s) 및 상기 메탈-그래핀 복합체를 설치하기 위하여 상기 하우징 몸체(13) 일 측에 마련되는 개폐 도어(14); 및상기 하우징 몸체(13) 일 측에 외부와 소통되어 개폐 가능하도록 마련되는 에천트 주입구(15);를 더 포함하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사장치
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청구항 1에 있어서,상기 회전장치(20)는,외부로부터 전원을 공급받아 회전력을 발생시키는 회전모터부(21);상기 회전모터부(21)의 작동과 회전력의 크기를 제어하는 회전제어부(22); 및일 측 말단이 상기 회전모터부(21)와 축 결합되어 발생된 회전력을 전달하는 회전축(23);을 포함하며,상기 회전장치(20)의 회전축(23)은 상기 하우징(10)을 관통하도록 홀 형태로 구비된 결속홀(16)에 관통되는 형태로 상기 하우징(10)과 회전장치(20)가 결속되는 것을 특징으로 하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사장치
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청구항 1에 있어서,상기 회전장치(20)는,외부로부터 전원을 공급받아 회전력을 발생시키는 회전모터부(21);상기 회전모터부(21)의 작동과 회전력의 크기를 제어하는 회전제어부(22);일 측 말단이 상기 회전모터부(21)와 축 결합되어 발생된 회전력을 전달하는 회전축(23); 및상기 회전축(23)의 타 측에 돌출 형성되고, 말단이 상기 하우징(10)과 결속되어 발생된 회전력을 상기 하우징(10)에 전달하는 회전암(arm)(24);을 포함하며,상기 회전장치(20)의 회전암(24)과 상기 고정대(11)가 구비된 영역 반대 측 상기 하우징(10) 외면 상에 마련된 결속부(17)가 연결되는 형태로 상기 하우징(10)과 회전장치(20)가 결속되는 것을 특징으로 하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사장치
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청구항 4에 있어서,회전이 시작되기 전에는 상기 하우징(10)이 중력 방향으로 배치되도록 하고 회전이 시작되었을 때는 원심력 방향으로 배치되도록 하기 위해, 상기 하우징(10)이 결속되는 상기 회전암(24)의 말단부는 힌지 결합된 꺽임부(25)가 마련되는 것을 특징으로 하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사장치
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청구항 4에 있어서,회전이 시작되기 전에는 상기 하우징(10)이 중력 방향으로 배치되도록 하고 회전이 시작되었을 때는 원심력 방향으로 배치되도록 하기 위해, 상기 결속부(17)는 고리 형태로 마련되어 상기 회전암(24)과 고리 결합되는 것을 특징으로 하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사장치
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메탈 촉매(m) 위에 그래핀(graphene)(g)을 성장시킨 메탈-그래핀 복합체를 전사 지지체 없이 직접 타겟 기판(s) 상에 전사시키기 위한 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사방법에 있어서,상기 타겟 기판(s)을 하우징(10)의 내부 공간(12) 일 측에 설치하고, 상기 타겟 기판(s)과 그래핀(g)이 접촉되도록 상기 메탈-그래핀 복합체를 상기 타겟 기판(s) 상에 배치하는 단계(S10);상기 하우징(10)의 내부 공간(12)에 상기 메탈 촉매(m)를 에칭하기 위한 에천트를 주입하는 단계(S20); 및상기 타겟 기판(s)과 메탈-그래핀 복합체의 법선 방향으로 원심력이 가해지도록 상기 하우징(10)을 회전시켜 상기 그래핀(g)을 상기 타겟 기판(s)에 전사시키는 동시에 상기 메탈 촉매(m)를 에칭하는 단계(S30);를 포함하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사방법
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청구항 7에 있어서,상기 메탈 촉매(m)는 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co), 백금(Pt), 이리듐(Ir), 금(Au), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 규소(Si), 티타늄(Ti) 및 루비듐(Ru)으로 이루어진 군 중에서 선택되는 적어도 어느 하나이며, 상기 그래핀(g)은 상기 메탈 촉매(m)에 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방식으로 성장된 것임을 특징으로 하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사방법
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청구항 7에 있어서,회전단계(S30)에서,발생되는 원심력의 크기가 1000-4000 RCF 범위의 값이 되도록 상기 하우징(10)을 회전시키는 것을 특징으로 하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사방법
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청구항 7에 있어서,전사 및 에칭 단계(S30)에서,발생되는 원심력의 크기가 2000-3000 RCF 범위의 값이 되도록 상기 하우징(10)을 회전시키는 것을 특징으로 하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사방법
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청구항 7에 있어서,전사 및 에칭 단계(S30)에서,상기 하우징(10)을 30분 내지 2시간 동안 회전시키는 것을 특징으로 하는 원심력을 이용한 그래핀 직접 전사방법
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