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타겟 물질을 검출하기 위한 바이오 센서로, 상기 바이오 센서는:기판;상기 기판에 서로 이격되어 배치된 소스(source) 전극, 드레인(drain) 전극 및 게이트(gate) 전극;상기 소스 전극, 상기 드레인 전극 및 상기 기판의 적어도 일부를 덮으며 채널이 형성되는 채널 형성층; 및상기 타겟 물질을 포함하는 용액이 상기 게이트 전극 및 상기 채널 형성층과 전기적으로 접촉하는 유체 채널(fluidic channel)을 포함하며,상기 소스 전극, 상기 드레인 전극 및 상기 게이트 전극은 상기 기판상의 동일 평면상에 위치하는 바이오 센서
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제1항에 있어서, 상기 타겟 물질은 DNA(Deoxyribonucleic Acid), RNA(Ribonucleic Acid), 항원, 항체, 단백질, 조직(tissue) 및 세포(cell) 중 어느 하나인 바이오 센서
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제1항에 있어서, 상기 채널 형성층은 그래핀(graphene), 카본 나노 튜브(CNT, Carbon Nano Tube) 층 중 어느 하나인 바이오 센서
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제1항에 있어서, 상기 바이오 센서는 상기 게이트 전압에 전압 인가시 상기 타겟 물질의 농도에 따라 상기 드레인 전극과 상기 소스 전극 사이에 흐르는 전류 특성을 달리 하는 바이오 센서
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제1항에 있어서, 상기 유체 채널의 일단에 용액 유입구가 연결되어 있으며, 상기 유체 채널의 타단에는 용액 유출구가 연결되어 있고, 상기 유입구를 통하여 상기 타겟 물질을 포함하는 물질이 유입되고, 유출구를 통하여 유출되는 바이오 센서
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제5항에 있어서,상기 유체 채널은 상기 유입구 및 상기 유출구 이외에는 외기(outer atmosphere)와 접촉하지 않도록 형성된 것인 바이오 센서
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제1항에 있어서, 상기 바이오 센서는동일한 기판의 면에 복수개가 배치된 바이오 센서
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제7항에 있어서, 상기 동일한 기판의 면에 복수개가 배치된 바이오 센서는 서로 게이트 전극을 공유하는 바이오 센서
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제7항에 있어서, 상기 바이오 센서는상기 기판에 어레이로 배치된 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 바이오 센서는,상기 타겟 물질과 특이적으로 결합하며 상기 채널 형성층 상에 배치된 프로브(probe) 물질을 더 포함하는 바이오 센서
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