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산화스트론튬 분말 및 산화티타늄 분말이 혼합된 혼합 분말을 1200 ℃에서 열처리하여, 표면에너지 크기가 서로 구분되는 (100), (110), 및 (111) 결정학적 방향을 갖는 다결정(polycrystalline) STO(SrTiO3) 기판을 제조하는 단계;불화수소(HF) 완충용액에 상기 다결정 STO 기판을 노출시켜 에칭하는 단계; 및 상기 다결정 STO 기판을 1200 ℃에서 어닐링하는 단계를 포함하고,상기 다결정 STO 기판의 (100), (110), 및 (111) 결정학적 방향이 동시에 평탄화되는 것을 특징으로 하는,원자적으로 평평한 다결정(polycrystalline) STO 기판 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 다결정 STO 기판을 에칭하기 직전에 상기 다결정 STO 기판을 세척하는 단계를 더 포함하는, 원자적으로 평평한 다결정(polycrystalline) STO 기판 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 다결정 STO 기판을 에칭한 직후에 상기 다결정 STO 기판을 세척하는 단계를 더 포함하는, 원자적으로 평평한 다결정(polycrystalline) STO 기판 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 다결정 STO 기판을 에칭하는 단계는, 불화수소(HF) 완충용액에 상기 다결정 STO 기판을 15 내지 420초간 노출시켜 수행되는 것을 특징으로 하는, 원자적으로 평평한 다결정(polycrystalline) STO 기판 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 다결정 STO 기판을 어닐링하는 단계는, 상기 다결정 STO 기판을 공기 분위기에서 4 내지 8시간 동안 가열함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는, 원자적으로 평평한 다결정(polycrystalline) STO 기판 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 다결정 STO 기판은 다수개의 평평한 부분인 테라스를 갖고, 상기 테라스의 표면거칠기는 0
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제1항에 있어서,상기 불화수소(HF) 완충용액은 플루오르화암모늄(NH4F) 및 불화수소(HF)가 10:1의 비율로 혼합된 용액인 것을 특징으로 하는, 원자적으로 평평한 다결정(polycrystalline) STO 기판 제조방법
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