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기재 상에 칼코겐 이온 함유 전구체를 포함하는 용액을 코팅하여 필름을 형성하는 단계; 및상기 필름에 레이저를 조사하여 금속 칼코게나이드 박막을 형성하는 단계를 포함하는, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 칼코겐 이온 함유 전구체는 Mo, W, S, Se, Nb, Ta, Re, V, Bi, Mg, Al, Si, Ca, Sc, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Ge, Sr, Y, Zr, Tc, Ru, Rh, Pd, Ag, Cd, In, Sn, Sb, Ba, La, Hf, Os, Ir, Pt, Au, Hg, Tl, Pb, Po, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 금속을 포함하는 것인, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 칼코겐 이온은 S, Se, 또는 Te의 이온을 포함하는 것인, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 용액은 하나 또는 서로 상이한 2 개 이상의 칼코겐 이온 함유 전구체를 포함하는 것인, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 용액의 용매는 물, 알코올, 또는 유기 용매를 포함하는 것인, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 기재는 Si, SiO2, Al2O3, Ge, GaN, AlN, GaP, InP, GaAs, SiC, Al2O3, LiAlO3, MgO, InSb, InAs, AlAs, CdTe, ZnTe, ZnS, CdSe, CdSb, 유리, 석영, 사파이어, 플라스틱, 고분자, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 물질을 포함하는 것인, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 레이저의 파장은 100 nm 내지 1,000 nm의 범위를 포함하는 것인, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 금속 칼코게나이드 박막은 1 nm 내지 1,000 nm의 두께로 형성되는 것인, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조되는, 금속 칼코게나이드 박막
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제 9 항에 따른 금속 칼코게나이드 박막을 포함하는, 소자
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