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기판, 상기 기판 위에 위치하는 전극 패턴,상기 전극 패턴 위에 위치하면서 상기 기판을 덮으며, 상호 이격된 복수의 홀들이 형성된 부동태층, 및상기 복수의 홀들 중 하나 이상의 홀에 위치하고, 항체가 부착된 비드를 포함하고,상기 전극 패턴은,제1 전극 패턴부, 및상기 제1 전극 패턴부의 높이와 동일한 높이를 가지고, 상기 제1 전극 패턴부와 이격되어 위치하고, 상기 제1 전극 패턴부와 전기장을 형성하는 제2 전극 패턴부를 포함하며,상기 제1 전극 패턴부는 상기 홀을 통하여 외부 노출된 제1 노출 전극을 포함하고, 상기 제2 전극 패턴부는 상기 홀을 통하여 외부 노출된 제2 노출 전극을 포함하며, 상기 비드는 상기 제1 노출 전극 및 상기 제2 노출 전극과 접촉하고, 상기 비드가 상기 홀 내에 삽입되어 포획되도록, 상기 홀의 직경은 상기 비드의 직경에 비하여 더 큰, 바이오 센서
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2
제1항에서,상기 부동태층 중 상기 기판과 직접 접촉하는 부동태 부분의 높이는 상기 비드의 직경의 2/3 내지 5인 바이오 센서
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3
제1항에서,상기 비드의 직경이 1㎛ 이하인 경우, 상기 부동태층 중 상기 기판과 직접 접촉하는 부분의 높이는 상기 비드의 직경의 3 내지 20인 바이오 센서
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4
제1항에서,상기 제1 노출 전극은 선형으로 형성되어 그 단부가 상기 비드와 접촉하도록 적용되고, 상기 제2 노출 전극은 상기 비드를 감싸는 곡선형으로 형성된 바이오 센서
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5
제4항에서,상기 제1 전극 패턴부에 전압이 인가되고, 상기 제2 전극 패턴부는 접지된 바이오 센서
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6
제1항에서,상기 제1 노출 전극과 상기 제2 노출 전극 사이에 위치하여 상기 비드를 둘러싸며, 상기 제1 노출 전극과 상기 제2 노출 전극과 전기장을 형성하는 한 쌍의 제3 노출 전극들을 더 포함하고,상기 제1 노출 전극 및 상기 제2 노출 전극은 상호 이격되어 선형으로 형성되며 상호 동일한 방향으로 길게 뻗은 바이오 센서
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7
제6항에서,상기 한 쌍의 제3 노출 전극들 중 하나 이상의 제3 노출 전극은,상기 제1 노출 전극이 길게 뻗은 방향과 평행한 방향으로 길게 뻗은 노출 전극부, 및상기 노출 전극부의 양단과 직각을 이루면서 연결되고, 상기 제1 노출 전극 및 상기 제2 노출 전극과 이격되면서 상기 제1 노출 전극 및 상기 제2 노출 전극을 향하여 길게 뻗은 한 쌍의 또다른 노출 전극부들을 포함하고,상기 한 쌍의 또다른 노출 전극부들의 각 길이는 상기 노출 전극부의 길이보다 작은 바이오 센서
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8
제1항에서,상기 제1 전극 패턴부는,제1 방향으로 길게 뻗은 제1 주전극,상기 제1 주전극과 연결되고, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 길게 뻗어서 상호 이격된 복수의 제1 보조전극들, 및상기 복수의 제1 보조전극들 중 각 제1 보조전극과 연결되고, 상기 제2 방향으로 길게 뻗은 복수의 제1 반응 전극들을 포함하고,상기 제2 전극 패턴부는,상기 제1 주전극과 이격되어 상기 제1 방향으로 길게 뻗은 제2 주전극,상기 제2 주전극과 연결되고, 상기 제2 방향으로 길게 뻗어서 상호 이격되며, 상기 제1 보조전극과 교번하여 위치하는 복수의 제2 보조전극들, 및상기 복수의 제2 보조전극들 중 각 제2 보조전극과 연결되고, 상기 제1 방향으로 길게 뻗은 복수의 제2 반응 전극들을 포함하는 바이오 센서
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제8항에서,상기 제1 전극 패턴부는 상기 복수의 제1 반응 전극들과 연결되면서 상호 이격된 복수의 제1 분기 전극들을 더 포함하고, 상기 제2 전극 패턴부는 상기 복수의 제2 반응 전극들과 연결되면서 상호 이격된 복수의 제2 분기 전극들을 더 포함하며,상기 복수의 제1 분기 전극들 중 하나 이상의 제1 분기 전극은 상기 제1 노출 전극을 포함하고, 상기 복수의 제2 분기 전극들 중 하나 이상의 제2 분기 전극은 상기 제2 노출 전극을 포함하는 바이오 센서
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제1항에서,상기 부동태층을 덮는 마이크로 채널 부재를 더 포함하고, 상기 마이크로 채널 부재에는 상기 복수의 홀들과 연통된 마이크로 주입구가 형성된 바이오 센서
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11
제1항에서,상기 기판 아래에 위치하여 상기 기판 아래에서 자유 이동 가능한 자성체를 더 포함하고, 상기 비드는 자성을 가지는 바이오 센서
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12
제1항에서,상기 제2 전극 패턴부의 높이와 동일한 높이를 가지고, 상기 제2 전극 패턴부와 이격되어 위치하고, 상기 제1 전극 패턴부 및 상기 제2 전극 패턴부와 전기장을 형성하는 제3 전극 패턴부를 더 포함하며,상기 제3 전극 패턴부는 상기 홀을 통하여 외부 노출된 제3 노출 전극을 포함하고, 상기 비드는 상기 제1 노출 전극, 상기 제2 노출 전극 및 상기 제3 노출 전극과 접촉하는 바이오 센서
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13
기판을 제공하는 단계,기판 위에 도전층을 제공하는 단계,상기 도전층 위에 제1 마스크층을 위치시키고, 상기 제1 마스크층을 노광 및 현상하여 패턴을 형성하는 단계,상기 패턴이 형성된 제1 마스크층을 통하여 상기 도전층에 전극 패턴을 형성하는 단계,상기 기판과 상기 전극 패턴을 덮는 부동태층을 제공하는 단계,상기 부동태층 위에 제2 마스크층을 위치시키고, 상기 제2 마스크층을 노광 및 현상한 후 상기 부동태층을 식각하여 복수의 홀들을 형성하는 단계, 및항체가 부착된 비드들을 상기 복수의 홀들에 삽입하는 단계를 포함하고,상기 전극 패턴을 형성하는 단계에서, 상기 전극 패턴에는 개구부가 형성되고, 상기 개구부는 상기 홀에 대응하며, 상기 개구부의 크기는 상기 홀의 크기보다 크며,상기 비드가 상기 홀 내에 삽입되어 포획되도록, 상기 홀의 직경은 상기 비드의 직경에 비하여 더 큰, 바이오 센서의 제조 방법
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14
제13항에서,상기 비드들을 상기 복수의 홀들에 삽입하는 단계는,상기 부동태층 위에 상기 복수의 홀들과 연통된 마이크로 채널과 마이크로 주입구가 형성된 마이크로 채널 부재를 위치시키는 단계,상기 비드들을 상기 마이크로 채널에 주입하여 상기 마이크로 주입구를 통해 상기 비드들을 상기 복수의 홀들에 삽입하는 단계, 및상기 홀밖에 위치하는 비드들을 버퍼 용액을 이용하여 제거하는 단계를 포함하는 바이오 센서의 제조 방법
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