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가열 장치 및 이를 갖는 기판 처리 시스템(HEATING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2017012944
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 가열 장치는 반응 튜브를 수용하기 위한 내부 공간을 제공하는 원통 형상의 측벽 단열재, 상기 측벽 단열재의 상부를 커버하는 상부벽 단열재, 상기 측벽 단열재의 내측면 상에 구비되는 발열부, 및 상기 상부벽 단열재의 하부면 상에 구비되며 제1 영역에 상기 상부벽 단열재의 방사율보다 낮는 제1 방사율을 갖는 반사면을 구비하는 열 보상부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/324 (2016.03.01) H01L 21/205 (2016.03.01) H01L 21/02 (2016.03.01) H01L 21/67 (2016.03.01)
CPC H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01)
출원번호/일자 1020160011115 (2016.01.29)
출원인 삼성전자주식회사, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0090592 (2017.08.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병훈 대한민국 경기도 화성
2 강승환 대한민국 경기도 안양시 만안구
3 공병환 대한민국 경기도 의왕시 원골로 **,
4 이승호 대한민국 충청남도 천안시 서북구
5 고한서 대한민국 서울특별시 강남구
6 이성한 대한민국 경기도 성남시 분당구
7 조선 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0097624-76
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
1 1
반응 튜브를 수용하기 위한 내부 공간을 제공하는 원통 형상의 측벽 단열재;상기 측벽 단열재의 상부를 커버하는 상부벽 단열재;상기 측벽 단열재의 내측면 상에 구비되는 발열부; 및상기 상부벽 단열재의 하부면 상에 구비되며, 제1 영역에 상기 상부벽 단열재의 방사율보다 낮는 제1 방사율을 갖는 반사면을 포함하는 열 보상부를 포함하는 가열 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 열 보상부는 제2 영역에 상기 제1 방사율보다 높은 제2 방사율을 갖는 흡수면을 더 포함하는 가열 장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 제1 영역은 상기 상부벽 단열재의 중심 영역이고 상기 제2 영역은 상기 상부벽 단열재의 주변 영역인 가열 장치
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 제1 영역은 상기 상부벽 단열재의 주변 영역이고 상기 제2 영역은 상기 상부벽 단열재의 중심 영역인 가열 장치
5 5
제 2 항에 있어서, 상기 반사면은 제1 반사율을 갖고, 상기 흡수면은 상기 제1 반사율보다 낮은 제2 반사율을 갖는 가열 장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 제1 반사율은 상기 상부벽 단열재의 반사율보다 높은 가열 장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 상부벽 단열재는 내부에 냉각 가스가 통과하는 가스 통로가 설치되는 가열 장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 가스 통로는상기 내부 공간에 연통되는 수직 가스 통로; 및상기 수직 가스 통로와 연통되며 외주면으로 연장하는 수평 가스 통로를 포함하는 가열 장치
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 수직 가스 통로는 상기 상부벽 절연재의 중심 영역 또는 주변 영역에 위치하는 가열 장치
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 측벽 단열재는 측벽 내층과 측벽 외층을 포함하고, 상기 측벽 내층과 상기 측벽 외층 사이에는 냉각 가스가 유입되는 공간이 형성되고, 상기 측벽 내층에는 상기 공간과 연통하며 상기 냉각 가스를 상기 내부 공간으로 도입하기 위한 복수 개의 공급 홀들이 형성된 가열 장치
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 상부벽 단열재의 하부면에 장착되고, 하부면에 상기 반사면이 형성된 열 보상용 커버를 더 포함하는 가열 장치
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 열 보상용 커버는 상기 상부벽 단열재의 하부면에 탈착 가능하도록 설치되는 가열 장치
13 13
제 11 항에 있어서, 상기 열 보상용 커버는상기 상부벽 단열재의 하부면을 커버하는 하부 커버; 및상기 하부 커버로부터 상부로 연장하고 상기 상부벽 단열재에 형성된 가스 통로의 내부면 일부를 커버하는 상부 커버를 포함하는 가열 장치
14 14
제 1 항에 있어서, 상기 상부벽 단열재의 내측에 구비되는 제2 발열부를 더 포함하는 가열 장치
15 15
제 1 항에 있어서, 상기 열 보상부는 상기 상부벽 단열재의 하부면 상에 적층되는 적어도 제1 및 제2 열 보상층들을 포함하고, 상기 제1 열 보상층은 상기 제1 영역에 상기 반사면을 갖고, 상기 제2 열 보상층은 제2 영역에 상기 제1 방사율보다 높은 제2 방사율의 표면을 갖는 가열 장치
16 16
원통 형상의 측벽 단열재;상기 측벽 단열재의 상부를 커버하는 상부벽 단열재;상기 측벽 단열재의 내측면 상에 구비되는 발열부; 및상기 상부벽 단열재의 하부면 상의 제1 영역에 상기 상부벽 단열재의 방사율보다 낮은 제1 방사율의 반사면을 갖는 반사부를 포함하는 가열 장치
17 17
제 16 항에 있어서, 상기 상부벽 단열재의 하부면 상의 제2 영역에 상기 제1 방사율보다 높은 제2 방사율의 흡수면을 갖는 흡수부를 더 포함하는 가열 장치
18 18
제 17 항에 있어서, 상기 반사면은 제1 반사율을 갖고, 상기 흡수면은 상기 제1 반사율보다 낮은 제2 반사율을 갖는 가열 장치
19 19
제 16 항에 있어서, 상기 상부벽 단열재는 내부에 냉각 가스가 통과하는 가스 통로가 설치되는 가열 장치
20 20
제 16 항에 있어서, 상기 상부벽 단열재의 하부면에 장착되고, 하부면에 상기 반사면이 형성된 열 보상용 커버를 더 포함하는 가열 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10508333 US 미국 FAMILY
2 US20170218507 US 미국 FAMILY

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1 US10508333 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2017218507 US 미국 DOCDBFAMILY
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