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기판 위에 포토레지스트 층을 증착하고 내부에 렌즈가 형성될 수 있는 공간이 형성되도록 일정한 높이의 마스크 층을 형성하는 과정;상기 마스크 층의 내부 공간에 렌즈를 형성하는 입자를 기판에 경사지게 투입하여 렌즈층을 증착시키는 과정; 및상기 마스크 층을 제거하는 과정;을 포함하는 마이크로 렌즈의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 렌즈층을 증착시키는 과정은 상기 기판을 회전시키거나, 상기 기판 주위로 상기 렌즈를 형성하는 입자를 주입하는 장치를 회전시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조방법
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청구항 2에 있어서,상기 렌즈층을 증착시키는 과정은 상기 입자의 투입 경사각을 점진적으로 증가시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조방법
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청구항 2에 있어서,상기 렌즈층을 증착시키는 과정은 상기 입자의 투입 경사각을 단계적으로 증가시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조방법
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청구항 3에 있어서,상기 입자의 투입 경사각은 5도 ~ 80 도 사이에서 점진적으로 증가되는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조방법
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청구항 4에 있어서,상기 입자의 투입 경사각은 5도 ~ 80도 사이에서 단계적으로 증가되는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 마스크 층은 AZ5214, PR2035, DNR, GXR, AZ5206, PR9260 및 SU-8 중에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하는 마이크로 렌즈의 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 렌즈층은 SiO2, TiO2, ZnS, ZnO, Al2O3 및 amorphous Si중에 선택된 어느 하나 이상을 포함하는 마이크로 렌즈의 제조방법
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청구항 1 내지 청구항 8 중의 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 마이크로 렌즈
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