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마이크로렌즈의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014061899
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로렌즈의 제조방법에 관한 것으로, 상면에 단턱부가 형성된 기판을 구비하는 단계와, 상기 단턱부를 포함한 기판의 전체 상부면에 보호막을 형성하는 단계와, 상기 단턱부의 상면에 곡률 반경을 갖는 마이크로렌즈가 형성되도록 상기 보호막의 전면을 식각하는 단계와, 상기 단턱부의 상부가 렌즈의 형태를 갖도록 상기 마이크로렌즈를 포함한 기판의 전면을 식각하는 단계를 더 포함함으로써, 마이크로렌즈와 광전소자를 자기정렬 구조로 집적할 수 있으며, 마이크로렌즈를 형성하기 위한 부가적인 공정을 필요로 하지 않기 때문에 보다 저렴하게 마이크로렌즈가 집적된 광전소자를 제작할 수 있는 효과가 있다.마이크로렌즈, 광전소자, 폴리머, 자기정렬, 곡률 반경
Int. CL G02B 3/00 (2006.01) G02B 1/12 (2006.01) G02B 1/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070140579 (2007.12.28)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1338354-0000 (2013.12.02)
공개번호/일자 10-2009-0072460 (2009.07.02) 문서열기
공고번호/일자 (20131216) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.13)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송영민 대한민국 광주광역시 북구
2 장기수 대한민국 광주광역시 북구
3 정봉규 대한민국 광주광역시 북구
4 이용탁 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정태훈 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)
2 오용수 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0946465-83
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2008.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0612625-37
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0989533-69
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.08.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.10.04 수리 (Accepted) 9-1-2012-0075418-77
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0136666-75
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0366313-11
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0425810-19
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.05.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0425811-54
11 등록결정서
Decision to grant		 2013.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0672266-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 상면에 단턱부가 형성된 기판을 구비하는 단계;(b) 상기 단턱부를 포함한 기판의 전체 상부면에 보호막을 형성하는 단계;(c) 상기 단턱부 상면의 상기 보호막이 곡률반경을 갖는 마이크로 렌즈 형상을 가지도록 상기 보호막의 전면을 식각하는 단계; 및(d) 상기 단턱부의 상부가 렌즈의 형태를 갖도록 상기 마이크로렌즈를 포함한 기판의 전면을 건식 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 보호막은 광학적으로 투명한 폴리머(Polymer)를 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 폴리머는 BCB(Benzocyclobutene) 또는 폴리이미드(Polyimide)인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 단계(c)에서, 상기 보호막은 플라즈마 건식 식각법을 이용하여 식각하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈의 제조방법
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