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마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법

  • 기술번호 : KST2015174695
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 알루미늄을 함유한 화합물 반도체의 선택적 산화를 이용한 마이크로렌즈를 제작하고, 제작된 마이크로 렌즈를 광전소자 상에 집적하여 제조하기 위한 것으로, 이를 위한 본 발명은, 반도체 기판상에 하부 분산된 브래그 거울, 활성층, 알루미늄 산화물, p형 오믹 접촉층, 상부 분산된 브래그 거울을 순차적으로 적층하여 수직 공진 표면발광레이저를 형성하는 제1과정과, 형성된 수직 공진 표면발광레이저 상에 알루미늄의 함유율을 증가시키면서 성장시킨 화합물 반도체 산화 가능 층을 형성하고, 화합물 반도체 산화 가능 층상에 알루미늄을 함유하지 않는 화합물 반도체 층을 형성하며, 형성된 반도체 층 구조 위에 감광제 패턴을 형성하고, 패턴을 마스크로 식각하며, 감광제를 제거하고, 화합물 반도체 산화 가능 층을 습식 산화하여 제작된 마이크로 렌즈를 집적시키는 제2과정을 포함한다. 따라서, 초소형 고밀도의 마이크로렌즈 어레이의 제작이 가능하고, 마이크로렌즈가 광전소자와 자기정렬 구조로 집적할 수 있어 저가의 마이크로렌즈가 집적된 광전소자의 제작이 가능하며, 광통신, 광연결 시스템의 패키징 비용을 절감시키고 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G02B 3/00 (2006.01)
CPC G02B 3/0012(2013.01) G02B 3/0012(2013.01) G02B 3/0012(2013.01)
출원번호/일자 1020040091224 (2004.11.10)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0613194-0000 (2006.08.09)
공개번호/일자 10-2006-0043912 (2006.05.16) 문서열기
공고번호/일자 (20060821) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.11.10)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장기수 대한민국 광주 북구
2 이용탁 대한민국 광주 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2004-0519889-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.01.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2006-0009094-99
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0097010-54
5 의견서
Written Opinion		 2006.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0275160-78
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.04.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0275158-86
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.08.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0456040-90
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2007.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0575197-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마이크로렌즈 제작방법으로서,반도체 기판상에 알루미늄의 함유율을 증가시키면서 성장시킨 화합물 반도체 산화 가능 층을 형성하는 제1과정과, 상기 화합물 반도체 산화 가능 층상에 알루미늄을 함유하지 않는 화합물 반도체 층을 형성하는 제2과정과, 상기 형성된 반도체 층 구조 위에 감광제 패턴을 형성하고, 상기 패턴을 마스크로 식각하는 제3과정과, 상기 감광제를 제거하고, 상기 화합물 반도체 산화 가능 층을 습식 산화하여 마이크로렌즈를 제작하는 제4과정을 포함하는 마이크로렌즈 제작방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제1과정의 화합물 반도체 산화 가능 층은, 알루미늄 함유율을 순차 성장시키며, 상기 순차 성장되는 사이에 알루미늄을 함유하지 않는 화합물 반도체 층을 성장시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 제작방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 화합물 반도체 산화 가능 층은, 3원소 혹은 4원소 화합물의 조성비를 2원소 화합물의 두께로서 조절하는 디지털 합금으로 성장하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 제작방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제3과정에서의 식각은, 상기 화합물 반도체 산화 가능 층 및 화합물 반도체 층이 노출 되도록 하는 메사(mesa) 구조인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 제작방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 메사 구조는, 원형 메사 형태 및 사각형 메사 형태인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 제작방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 렌즈는, 구면 렌즈 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 제작방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 렌즈는, 비구면 렌즈 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈 제작방법
8 8
마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법으로서,반도체 기판상에 하부 분산된 브래그 거울, 활성층, 알루미늄 산화물, p형 오믹 접촉층, 상부 분산된 브래그 거울을 순차적으로 적층하여 수직 공진 표면발광레이저를 형성하는 제1과정과, 상기 형성된 수직 공진 표면발광레이저 상에 알루미늄의 함유율을 증가시키면서 성장시킨 화합물 반도체 산화 가능 층을 형성하고, 상기 화합물 반도체 산화 가능 층상에 알루미늄을 함유하지 않는 화합물 반도체 층을 형성하며, 상기 형성된 반도체 층 구조 위에 감광제 패턴을 형성하고, 상기 패턴을 마스크로 식각하며, 상기 감광제를 제거하고, 상기 화합물 반도체 산화 가능 층을 습식 산화하여 제작된 마이크로 렌즈를 집적시키는 제2과정을 포함하는 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법
9 9
삭제
10 10
제 8 항에 있어서, 상기 제2과정의 화합물 반도체 산화 가능 층은, 알루미늄 함유율을 순차 성장시키며, 상기 순차 성장되는 사이에 알루미늄을 함유하지 않는 화합물 반도체 층을 성장시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 화합물 반도체 산화 가능 층은, 3원소 혹은 4원소 화합물의 조성비를 2원소 화합물의 두께로서 조절하는 디지털 합금으로 성장하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법
12 12
제 8 항에 있어서, 상기 제2과정에서의 식각은, 상기 화합물 반도체 산화 가능 층 및 화합물 반도체 층이 노출 되도록 하는 메사 구조인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 메사 구조는, 원형 메사 형태 및 사각형 메사 형태인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법
14 14
제 8 항에 있어서, 상기 마이크로렌즈는, 구면 렌즈 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법
15 15
제 8 항에 있어서, 상기 마이크로렌즈는, 비구면 렌즈 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법
16 15
제 8 항에 있어서, 상기 마이크로렌즈는, 비구면 렌즈 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.