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레이저를 이용한 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법(PREPARING METHOD OF METAL CHALCOGENIDE THIN FILM USING LASER)

  • 기술번호 : KST2018004555
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 레이저를 이용한 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법, 상기 방법에 의하여 제조되는 금속 칼코게나이드 박막, 및 상기 금속 칼코게나이드 박막을 포함하는 소자에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/268 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180038625 (2018.04.03)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0038430 (2018.04.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2015-0149137 (2015.10.27)
관련 출원번호 1020150149137
심사청구여부/일자 Y (2018.04.03)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이창구 서울특별시 성동구
2 이진환 경기도 성남시
3 정재혁 전라남도 목포시 석현로 **,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한선희 대한민국 서울시 강남구 논현로 *** 여산빌딩 *층 ***호(온유특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2018.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0330688-12
2 등록결정서
Decision to grant
2018.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0344927-48
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번호 청구항
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유연 기재 상에 칼코겐 이온 함유 전구체를 포함하는 용액을 코팅하여 필름을 형성하는 단계; 및상기 필름에 레이저를 조사하여 금속 칼코게나이드 박막을 상기 유연 기재 상에 직접 형성하는 단계를 포함하는, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법으로서,상기 칼코겐 이온 함유 전구체는 Mo, W, Nb, Ta, Re, V, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 금속을 포함하고, S, Se, 또는 Te의 칼코겐 이온을 포함하는 것이며,상기 칼코겐 이온 함유 전구체를 포함하는 용액의 용매는 알코올, 아세톤, IPA, DMF, DMA, NMP, NVP, 디클로로메탄, 글리세린, 및 이들의 조합들로 이루어지는 군에서 선택되는 것을 포함하는 것이고,상기 레이저의 파장은 100 nm 내지 1,000 nm 범위이며,상기 레이저의 파워는 2 mW 이하이고,상기 금속 칼코게나이드 박막은 1 nm 내지 1,000 nm의 두께로 형성되는 것이며,상기 조사되는 레이저의 파장을 조절함으로써 상기 금속 칼코게나이드 박막의 두께가 조절되는 것이고,상기 유연 기재는 폴리에틸렌이민, 폴리이미드, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리스티렌, 폴리비닐 클로라이드, 폴리비닐피롤리돈, 폴리에틸렌, 및 이들의 조합들로 이루어지는 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인,금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 용액은 하나 또는 서로 상이한 2 개 이상의 칼코겐 이온 함유 전구체를 포함하는 것인, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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1 KR1020170048713 KR 대한민국 FAMILY

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