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롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어 및 이를 이용한디스플레이 백플레인 제조 설비

  • 기술번호 : KST2019002879
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어가 개시된다. 상기 카세트 캐리어는 다면으로 둘러싸인 내부공간을 갖고, 상기 내부공간으로부터 외부로 열린 개방영역을 일면에 구비하는 카세트바디; 상기 내부공간에서 상기 개방영역의 아래에 배치되고, 회전하여 상기 개방영역 아래의 제1 위치로부터 상기 제1 위치와 일정 거리 이격된 제2 위치로 상기 개방영역과 평행하게 가요성 기재를 공급하는 공급롤러; 상기 제2 위치에 배치되고, 상기 공급롤러와 동기 회전하여 상기 공급롤러로부터 공급되는 기재를 당겨서 회수하거나 회수된 기재를 상기 제1 위치 방향으로 푸는 회수롤러; 및 상기 개방영역의 아래에 위치하도록 상기 내부공간에 삽입되고, 상기 내부공간 및 외부로 이동 가능하게 구비되어, 상기 개방영역을 지나도록 상기 내부공간으로부터 외부 방향으로 이동하여 상기 개방영역에 대향하는 상기 기재의 일부 길이를 상기 카세트바디 외부로 인출하는 기재인출샤프트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/673 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01)
CPC H01L 21/673(2013.01) H01L 21/673(2013.01) H01L 21/673(2013.01)
출원번호/일자 1020170122205 (2017.09.22)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2016353-0000 (2019.08.26)
공개번호/일자 10-2019-0033714 (2019.04.01) 문서열기
공고번호/일자 (20190830) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.09.22)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조성민 대한민국 경기도 군포시 산본로***번길 **, **
2 김성진 대한민국 충청남도 아산시
3 정호균 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0925170-28
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.03.12 수리 (Accepted) 9-1-2018-0009243-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0094851-69
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2019-0354622-06
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0354623-41
7 등록결정서
Decision to grant
2019.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0598039-99
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번호 청구항
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다면으로 둘러싸인 내부공간을 갖고, 상기 내부공간으로부터 외부로 열린 개방영역을 일면에 구비하는 카세트바디;상기 내부공간에서 상기 개방영역의 아래에 배치되고, 회전하여 상기 개방영역 아래의 제1 위치로부터 상기 제1 위치와 일정 거리 이격된 제2 위치로 상기 개방영역과 평행하게 가요성 기재를 공급하는 공급롤러;상기 제2 위치에 배치되고, 상기 공급롤러와 동기 회전하여 상기 공급롤러로부터 공급되는 기재를 당겨서 회수하거나 회수된 기재를 상기 제1 위치 방향으로 푸는 회수롤러; 및상기 개방영역의 아래에 위치하도록 상기 내부공간에 삽입되고, 상기 내부공간 및 외부로 이동 가능하게 구비되어, 상기 개방영역을 지나도록 상기 내부공간으로부터 외부 방향으로 이동하여 상기 개방영역에 대향하는 상기 기재의 일부 길이를 상기 카세트바디 외부로 인출하는 기재인출샤프트를 포함하고,상기 카세트바디는 상기 개방영역에 수직한 적어도 하나의 면에 상기 개방영역에 수직하도록 연장되고 상기 개방영역을 향해 열려 있는 적어도 하나의 가이드홀을 더 포함하고,상기 기재인출샤프트는 상기 내부공간으로 삽입되는 일부분의 끝단부가 상기 가이드홀에 삽입되어 상기 개방영역을 지나도록 이동하는 것을 특징으로 하는,롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어
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삭제
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제1항에 있어서,상기 기재인출샤프트는 상기 카세트바디가 수용되는 공정챔버의 내부공간에 수용되어, 상기 공정챔버의 내부공간에서 상기 가이드홀이 형성된 면에 대향하는 위치로부터 상기 가이드홀을 향해 이동하여 상기 카세트바디의 내부공간으로 삽입되게 구비되는 것을 특징으로 하는,롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어
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제1항에 있어서,상기 가이드홀은 상기 개방영역의 전체 길이의 1/2의 지점에 위치하고,상기 개방영역으로부터 인출되는 기재의 일부 길이는 상기 기재인출샤프트를 기준으로 한 양측의 면적이 동일 면적을 갖는 길이인 것을 특징으로 하는,롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어
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제1항에 있어서,상기 공급롤러는 상기 기재의 공급하도록 회전하는 방향의 역방향으로의 회전이 가능하고,상기 회수롤러는 상기 기재를 회수하도록 회전하는 방향의 역방향으로의 회전이 가능하고,상기 공급롤러 및 회수롤러가 상기 역방향으로 회전하는 경우 상기 기재는 이전 공급방향의 역방향으로 공급방향이 전환되는 것을 특징으로 하는,롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어
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제4항에 있어서,상기 기재는 상기 기재인출샤프트를 통해 인출된 길이에서 상기 기재인출샤프트를 기준으로 상기 기재인출샤프트의 양측에 위치하는 제1 영역 및 제2 영역에 대해 디스플레이 백플레인 제조 공정이 동시 수행되어 처리되는 것을 특징으로 하는,롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어
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제6항에 있어서,상기 제1 영역 및 제2 영역은 서로 다른 디스플레이 백플레인 제조 공정이 동시 수행되어 처리되는 것을 특징으로 하는,롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어
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제1항에 있어서,상기 카세트 캐리어는 플렉서블 기판을 이용한 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 제조에 이용되는 것을 특징으로 하는,롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어
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제1항의 카세트 캐리어;내부공간이 진공이고, 상기 카세트 캐리어를 상기 진공의 내부공간에 수용하는 공정챔버; 및상기 공정챔버의 내부공간에 수용되고, 상기 카세트 캐리어의 개방영역의 위로 이동 가능하게 구성되며, 상기 개방영역을 통해 카세트 캐리어로부터 인출되는 기재에 대하여 디스플레이 백플레인 제조 공정을 수행하는 적어도 하나의 공정 장비를 포함하는 것을 특징으로 하는,롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어를 이용한 디스플레이 백플레인 제조 설비
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제9항에 있어서,상기 공정 장비는 복수이고,각각의 공정 장비는 상기 카세트 캐리어로부터 인출된 기재의 일부 길이의 서로 마주하는 제1 영역 및 제2 영역에 각각 대향되게 위치하여 디스플레이 백플레인 제조 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는,롤투롤 타입으로 기재를 로딩 및 언로딩 하는 카세트 캐리어를 이용한 디스플레이 백플레인 제조 설비
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조부 성균관대학교 산학협력단 대학ICT연구센터육성지원사업 차세대AMOLED 핵심원천기술개발 및 연구 인력 양성