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표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법(Display apparatus, manufacturing apparatus of the display apparatus and manufacturing method of the display apparatus)

  • 기술번호 : KST2016016497
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 기판과, 상기 기판 상에 형성되는 표시부와, 상기 표시부 상에 형성되는 박막 봉지층을 포함하고, 상기 박막 봉지층은 무기층을 포함하고, 상기 무기층은, 알루미늄, 아연, 지르코늄 및 하프늄 중 적어도 2개 이상으로 형성된 복합산화물을 포함하는 제1 서브무기층을 포함한다.
Int. CL H01L 27/32 (2006.01) H01L 51/52 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC H01L 27/3274(2013.01) H01L 27/3274(2013.01) H01L 27/3274(2013.01) H01L 27/3274(2013.01) H01L 27/3274(2013.01) H01L 27/3274(2013.01) H01L 27/3274(2013.01) H01L 27/3274(2013.01)
출원번호/일자 1020150030548 (2015.03.04)
출원인 삼성디스플레이 주식회사, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0108665 (2016.09.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.03.04)
심사청구항수 25

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성디스플레이 주식회사 대한민국 경기 용인시 기흥구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허명수 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 조성민 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 고동균 대한민국 경기도 용인시 기흥구
4 김성철 대한민국 경기도 용인시 기흥구
5 김인교 대한민국 경기도 용인시 기흥구
6 노철래 대한민국 경기도 용인시 기흥구
7 서상준 대한민국 경기도 수원시 장안구
8 서승우 대한민국 경기도 수원시 장안구
9 장철민 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-0215573-36
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2015-5104722-59
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5016605-77
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2020.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2020-0229995-24
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성되는 표시부;상기 표시부 상에 형성되는 박막 봉지층;을 포함하고,상기 박막 봉지층은 무기층;을 포함하고,상기 무기층은, 알루미늄, 아연, 지르코늄 및 하프늄 중 적어도 2개 이상으로 형성된 복합산화물을 포함하는 제1 서브무기층;을 포함하는 표시 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 무기층은,상기 제1 서브무기층의 복합산화물과 상이한 상기 복합산화물로 형성된 제2 서브무기층;을 포함하는 표시 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 제1 서브무기층과 상기 제2 서브무기층은 서로 적층되도록 형성되는 표시 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 박막 봉지층은 상기 무기층에 적층되는 유기층;을 더 포함하는 표시 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 폴리이미드로 형성된 표시 장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 제1 서브무기층은 비결정 형태인 표시 장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 제1 서브무기층의 두께는 10nm이하인 표시 장치
8 8
제 1 항에 있어서,상기 무기층은, 상기 제1 서브무기층에 적층되며, 금속 산화물 또는 금속 질화물 중 하나를 포함하는 제2 서브무기층;을 더 포함하는 표시 장치
9 9
기판;상기 기판 상에 형성되는 표시부;상기 표시부 상에 형성되는 박막 봉지층;을 포함하고,상기 박막 봉지층은 무기층;을 포함하고,상기 무기층은, 알루미늄산화물, 아연산화물, 지르코늄산화물 또는 하프늄산화물 중 하나로 형성된 제1 서브무기층; 및알루미늄산화물, 아연산화물, 지르코늄산화물 또는 하프늄산화물 중 다른 하나로 형성된 제2 서브무기층;을 포함하는 표시 장치
10 10
챔버;상기 챔버 내부에 배치되어 공정가스를 분사하는 샤워헤드;상기 샤워헤드에 상기 공정가스를 공급하는 가스공급부;상기 챔버 내부에 배치되어 기판을 지지하는 기판지지부;를 포함하고,상기 샤워헤드는 표시부 상에 알루미늄, 아연, 지르코늄 및 하프늄 중 적어도 2개 이상으로 형성된 복합산화물을 포함하는 무기층을 형성하는 표시 장치의 제조장치
11 11
제 10 항에 있어서,상기 샤워헤드는,제1 분사부;상기 제1 분사부와 인접하게 배치되는 제2 분사부;를 포함하고,상기 제1 분사부와 상기 제2 분사부에서는 서로 상이한 상기 공정가스가 분사되는 표시 장치의 제조장치
12 12
제 11 항에 있어서,상기 제1 분사부와 상기 제2 분사부는 상기 공정가스를 동시에 분사하는 표시 장치의 제조장치
13 13
제 11 항에 있어서, 상기 제1 분사부와 상기 제2 분사부는 상기 공정가스를 순차적으로 분사하는 표시 장치의 제조장치
14 14
제 10 항에 있어서, 상기 가스공급부는,상기 공정가스 중 일부를 상기 샤워헤드로 공급하는 제1 가스공급부; 및상기 제1 가스공급부와 독립적으로 형성되어 상기 제1 가스공급부와 상이한 상기 공정가스 중 일부를 상기 샤워헤드에 공급하는 제2 가스공급부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치
15 15
제 14 항에 있어서,상기 제2 가스공급부는 상기 제1 가스공급부와 연결되며, 상기 공정가스는 혼합되어 상기 샤워헤드로 공급되는 표시 장치의 제조장치
16 16
제 10 항에 있어서,상기 기판지지부는 상기 샤워헤드에 대향하도록 배치되어 상기 샤워헤드와 상대 운동을 수행하는 표시 장치의 제조장치
17 17
표시부가 형성된 기판을 챔버 내부로 로딩하는 단계; 및공정가스를 외부로 공급받아 원자층성장공정으로 상기 표시부 상에 무기층을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 무기층은 알루미늄, 아연, 지르코늄 및 하프늄 중 적어도 2개 이상으로 형성된 복합산화물을 포함하는 표시 장치의 제조방법
18 18
제 17 항에 있어서, 공정가스를 외부로 공급받아 원자층성장공정으로 상기 표시부 상에 무기층을 형성하는 단계는,상기 복합산화물을 포함하는 제1 서브무기층을 형성하는 단계; 및상기 제1 서브무기층과 상이한 상기 복합산화물을 포함하는 제2 서브무기층을 형성하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법
19 19
제 17 항에 있어서, 공정가스를 외부로 공급받아 원자층성장공정으로 상기 표시부 상에 무기층을 형성하는 단계는,상기 복합산화물을 포함하는 제1 서브무기층을 형성하는 단계; 및금속 질화물 또는 금속 산화물 중 하나를 포함하는 제2 서브무기층을 형성하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법
20 20
제 17 항에 있어서,상기 무기층은 비결정 형태인 표시 장치의 제조방법
21 21
제 17 항에 있어서,상기 무기층은 10nm이하인 표시 장치의 제조방법
22 22
제 17 항에 있어서, 상기 기판은 폴리이미드로 형성된 표시 장치의 제조방법
23 23
제 17 항에 있어서, 상기 무기층에 유기층을 적층시키는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법
24 24
제 17 항에 있어서,상기 무기층은 서로 상이한 물질의 다층으로 형성된 표시 장치의 제조방법
25 25
표시부가 형성된 기판을 챔버 내부로 로딩하는 단계; 및공정가스를 외부로 공급받아 원자층성장공정으로 상기 표시부 상에 무기층을 형성하는 단계;를 포함하고,공정가스를 외부로 공급받아 원자층성장공정으로 상기 표시부 상에 무기층을 형성하는 단계는,상기 표시부 상에 알루미늄산화물, 아연산화물, 지르코늄산화물 또는 하프늄산화물 중 하나를 포함하는 제1 서브무기층을 형성하는 단계;상기 제1 서브무기층에 알루미늄산화물, 아연산화물, 지르코늄산화물 또는 하프늄산화물 중 다른 하나를 포함하는 제2 서브무기층을 적층하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105938878 CN 중국 FAMILY
2 US09587311 US 미국 FAMILY
3 US10043998 US 미국 FAMILY
4 US20160258060 US 미국 FAMILY
5 US20170170429 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105938878 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 DE102016101143 DE 독일 DOCDBFAMILY
3 US10043998 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US2016258060 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US2017170429 US 미국 DOCDBFAMILY
6 US9587311 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.