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2차원 물질 전사 방법 및 장치.

  • 기술번호 : KST2019003010
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 2차원 물질의 전사 방법이 제공된다. 상기 2차원 물질의 전사 방법은, 2차원 물질을 포함하는 물질막이 형성된 성장기판을 준비하는 단계, 상기 성장기판 상의 상기 물질막을 광 반응막과 접착하는 단계, 상기 물질막 및 상기 광 반응막이 접착된 혼합 시트를 제조하는 단계, 상기 혼합 시트의 상기 물질막을 타겟 기판과 접촉시키는 단계, 및 상기 타겟 기판과 접촉된 상기 혼합 시트 상에 광을 조사하여, 상기 타겟 기판으로 상기 물질막을 전사하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) C09J 183/04 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02107(2013.01) H01L 21/02107(2013.01) H01L 21/02107(2013.01) H01L 21/02107(2013.01) H01L 21/02107(2013.01) H01L 21/02107(2013.01) H01L 21/02107(2013.01) H01L 21/02107(2013.01)
출원번호/일자 1020170124090 (2017.09.26)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1976946-0000 (2019.05.02)
공개번호/일자 10-2019-0035171 (2019.04.03) 문서열기
공고번호/일자 (20190510) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.09.26)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김은규 서울특별시 성동구
2 추동일 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0938929-79
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.08.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-2018-0054479-22
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0708300-70
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-1267920-77
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.12.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1267919-20
7 등록결정서
Decision to grant
2019.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0293884-22
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
2차원 물질을 포함하는 물질막이 형성된 성장기판을 준비하는 단계; 제1 고분자 물질을 포함하는 제1 접착층이 코팅된 광 반응막을 준비하고, 상기 광 반응막의 상기 제1 접착층을 상기 성장기판 상의 상기 물질막과 접착하는 단계; 상기 물질막으로부터 상기 성장기판을 제거하여, 상기 물질막 및 상기 광 반응막이 접착된 혼합 시트를 제조하는 단계; 상기 혼합 시트에 포함된 상기 광 반응막 상에 제2 고분자 물질을 포함하는 제2 접착층을 코팅하는 단계;상기 혼합 시트에 코팅된 상기 제2 접착층을 광 투과판에 접착시키는 단계;상기 혼합 시트의 상기 물질막을 타겟 기판과 접촉시키는 단계; 및상기 타겟 기판과 접촉된 상기 혼합 시트 상에 광을 조사하여, 상기 타겟 기판으로 상기 물질막을 전사하는 단계를 포함하는 2차원 물질의 전사 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 제1 접착층은, 상기 물질막 및 상기 광 반응막 사이의 접착력을 향상시키는 것을 포함하는 2차원 물질의 전사 방법
3 3
제1 항에 있어서, 상기 제1 고분자 소재는, PPC 또는 PMMA인 것을 포함하는 2차원 물질의 전사 방법
4 4
제1 항에 있어서, 상기 물질막이 형성된 상기 성장기판을 상기 광 반응막과 결합하는 단계는, 상기 물질막과 상기 광 반응막이 접착된 후, 차례로 적층된 상기 성장기판, 상기 물질막, 상기 제1 접착층 및 상기 광 반응막을, 제1 온도로 열처리하는 단계를 더 포함하는 2차원 물질의 전사 방법
5 5
제4 항에 있어서, 상기 타겟 기판으로 상기 물질막을 전사하는 단계는, 상기 타겟 기판을 상기 제1 온도 보다 높은 제2 온도로 열처리하는 단계를 포함하는 2차원 물질의 전사 방법
6 6
제1 항에 있어서, 상기 제2 접착층은, 상기 혼합 시트 및 상기 광 투과판 사이의 접착력을 향상시키는 것을 포함하는 2차원 물질의 전사 방법
7 7
제1 항에 있어서, 상기 제2 접착층에 의한 상기 혼합 시트와 상기 광 투과판 사이의 접착력은, 상기 물질막과 상기 광 반응막 사이의 결합력보다 강하고,상기 타겟 기판과 접촉된 상기 혼합 시트 상에 광이 조사되는 경우, 상기 물질막과 상기 광 반응막이 분리되는 것을 포함하는 2차원 물질의 전사 방법
8 8
제1 항에 있어서, 상기 제2 고분자 물질은, PDMS인 것을 포함하는 2차원 물질의 전사 방법
9 9
광을 조사하는 광원부; 상기 광원부와 마주보며 배치되고, 기판 조절장치를 포함하는 기판부; 및상기 광원부 및 상기 기판부 사이에 배치되는 전사부를 포함하되, 상기 전사부는, 광 투과판을 포함하고,차례로 적층된 2차원 물질을 포함하는 물질막, 제1 고분자를 포함하는 제1 접착층, 상기 광과 반응하는 광 반응막, 제2 고분자를 포함하는 제2 접착층을 갖는 혼합 시트가 준비되고, 상기 혼합 시트의 상기 제2 접착층이 상기 광 투과판에 접촉되는 것을 포함하는 2차원 물질 전사 장치
10 10
제9 항에 있어서, 상기 전사부는, 상기 광 반응막에 광이 조사되는 경우, 상기 기판부 상에 배치된 타겟 기판으로 상기 물질막을 전사하는 것을 포함하는 2차원 물질 전사 장치
11 11
제9 항에 있어서, 상기 기판 조절장치는, 상기 광원부, 상기 전사부, 및 상기 기판부가 배열되는 제1 방향, 상기 제1 방향에 직각인 제2 방향, 및 상기 제1 방향과 상기 제2 방향에 직각인 제3 방향으로 이동되는 것을 포함하는 2차원 물질 전사 장치
12 12
제9 항에 있어서, 상기 광은, 자외선(ultra violet)인 것을 포함하는 2차원 물질 전사 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)한국연구재단 이공분야 기초연구사업 / 중견연구자지원사업 / 중견연구(총연구비1.5억초과~3억이하) 저차원 나노융합구조의 에너지변조와 기능제어 연구