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스테이지부;상기 스테이지부의 상측에 배치되며 측정대상물이 놓여지는 지지부;광을 조사하는 광원부;상기 스테이지부 상에 설치되어 상기 스테이지부 상을 직선 이동하며, 상기 광원부에서 조사되는 광의 경로를 변경하여 상기 측정대상물에 광이 조사되도록 하는 광 반사부;상기 측정대상물로부터 반사되는 반사광을 감지하는 수광부; 및상기 광 반사부의 구동을 제어하며, 상기 수광부에서 감지되는 반사광을 이용하여 상기 측정대상물의 3차원 형상을 생성하는 제어부;를 포함하되,상기 제어부는, 상기 광 반사부의 이동 속도에 기초하여 상기 광 반사부의 이동 방향과 평행한 축에 대한 분해도를 산출하고, 산출된 상기 분해도에 따라 상기 광 반사부의 이동 방향과 평행한 축에 대한 상기 측정대상물의 3차원 좌표값을 획득하는 3차원 스캐닝 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 광원부에서 상기 측정대상물까지의 거리 및 상기 분해도를 이용하여 상기 측정대상물의 3차원 좌표값을 획득하는 3차원 스캐닝 장치
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제3항에 있어서,상기 제어부는,기저장된 상기 지지부의 굴절률을 고려하여, 획득된 상기 3차원 좌표값을 보정하는 3차원 스캐닝 장치
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제4항에 있어서,상기 지지부는, 아크릴 재질로 구성되는 3차원 스캐닝 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 광 반사부의 이동 거리 및 상기 광 반사부의 길이에 기초하여, 상기 측정대상물을 스캔하는 스캐닝 영역을 설정하는 3차원 스캐닝 장치
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제1항에 있어서,상기 광 반사부는,상기 광원부에서 조사되는 광이 상기 지지부에 수직하게 조사되도록 상기 광원부에서 조사되는 광의 입사면에 대하여 기설정된 각도만큼 기울어져 설치되는 3차원 스캐닝 장치
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3차원 스캐닝 장치의 3차원 스캐닝 방법에 있어서,상기 3차원 스캐닝 장치의 스테이지 상에 설치되는 미러를 향해 광을 조사하는 단계;측정대상물에 상기 광이 조사되도록 상기 광의 경로를 변경하는 단계;상기 측정대상물에서 반사되는 반사광을 감지하는 단계;상기 미러가 상기 스테이지 상에서 직선 이동하도록 상기 미러의 구동을 제어하는 단계; 및상기 반사광을 이용하여 상기 측정대상물의 3차원 형상을 생성하는 단계;를 포함하되,상기 측정대상물의 3차원 형상을 생성하는 단계는,상기 미러의 이동 속도에 기초하여 상기 미러의 이동 방향과 평행한 축에 대한 분해도를 산출하는 단계; 및산출된 상기 분해도에 따라 상기 미러의 이동 방향과 평행한 축에 대한 상기 측정대상물의 3차원 좌표값을 획득하는 단계;를 포함하는 3차원 스캐닝 방법
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제8항에 있어서,상기 측정대상물의 3차원 형상을 생성하는 단계는,상기 3차원 스캐닝 장치에서 상기 측정대상물까지의 거리 및 상기 분해도를 이용하여 상기 측정대상물의 3차원 좌표값을 획득하는 단계;를 더 포함하는 3차원 스캐닝 방법
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제10항에 있어서,상기 측정대상물의 3차원 형상을 생성하는 단계는,상기 반사광의 굴절을 고려하여, 획득된 상기 3차원 좌표값을 보정하는 단계;를 더 포함하는 3차원 스캐닝 방법
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제8항에 있어서,상기 미러의 이동 거리 및 상기 미러의 길이에 기초하여, 상기 측정대상물을 스캔하는 스캐닝 영역을 설정하는 단계;를 더 포함하는 3차원 스캐닝 방법
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제8항에 있어서,상기 광의 경로를 변경하는 단계는,상기 미러에 조사되는 광이 상기 측정대상물이 놓이는 지지부에 수직하게 조사되도록 상기 광의 입사면에 대하여 상기 미러를 기설정된 각도만큼 기울이는 단계;를 포함하는 3차원 스캐닝 방법
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