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광학식 표면 형상 측정 장치

  • 기술번호 : KST2015161548
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 액정이 주입된 패브리 페롯 공진계를 이용한 광학식 표면 형상 측정 장치에 관한 것이다. 상기 광학식 표면 형상 측정 장치는, 액정이 주입된 패브리 페롯 공진계; 상기 패브리 페롯 공진계로 간섭성을 갖는 광을 제공하는 광원; 상기 패브리 페롯 공진계의 간섭 패턴 출사면에 배치되는 볼록 렌즈;를 구비하여, 상기 광원으로부터 제공되는 간섭성을 갖는 광은 패브리 페롯 공진계로 입사되고, 광이 입사됨에 따라 상기 패브리 페롯 공진계는 공진 모드에 의해 생성되는 간섭 패턴을 출사하며, 상기 간섭 패턴은 동일한 중심을 갖는 다수 개의 원형의 프린지들(fringes)이 비선형적으로 배치되어 구성된다. 상기 액정층에 전압이 인가됨에 따라 유효굴절율이 변화되어 패브리 페롯 공진계의 공진 모드 조건이 변하게 되고, 그 결과 간섭 패턴의 직경이 함께 변하게 된다. 이러한 간섭 패턴들을 이용하여 측정 대상물의 표면의 3차원의 형상을 측정하게 된다.
Int. CL G01B 11/25 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100003499 (2010.01.14)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1092422-0000 (2011.12.05)
공개번호/일자 10-2011-0083328 (2011.07.20) 문서열기
공고번호/일자 (20111209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020110074755;
심사청구여부/일자 Y (2010.01.14)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김학린 대한민국 대구광역시 북구
2 강신원 대한민국 대구광역시 수성구
3 박창섭 대한민국 부산광역시 진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 동주 경기도 부천시 수
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0025106-09
2 보정요구서
Request for Amendment		 2010.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0009976-11
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0115028-79
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0342814-99
5 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0582043-19
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0582007-86
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0582016-97
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0694228-54
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
액정이 주입된 패브리 페롯 공진계;상기 패브리 페롯 공진계로 간섭성을 갖는 광을 제공하는 광원;상기 패브리 페롯 공진계의 간섭 패턴 출사면에 배치되는 볼록 렌즈;를 구비하여, 상기 광원으로부터 제공되는 간섭성을 갖는 광은 패브리 페롯 공진계로 입사되고, 광이 입사됨에 따라 상기 패브리 페롯 공진계는 공진 모드에 의해 생성되는 간섭 패턴을 출사하며, 상기 간섭 패턴은 동일한 중심을 갖는 다수 개의 원형의 프린지들(fringes)이 비선형적으로 배치되어 구성되는 것을 특징으로 하는 광학식 표면 형상 측정 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 패브리 페롯 공진계(Fabry Perot Resonator)는액정층;상기 액정층의 제1 측면에 배치되는 제1 수직 배향막, 제1 투명 전극층, 제1 유전 반사막 및 제1 기판;상기 액정층의 제1 측면과 마주보는 상기 액정층의 제2 측면에 배치되는 제2 수직 배향막, 제2 투명 전극층, 제2 유전 반사막 및 제2 기판;을 구비하는 것을 특징으로 하는 광학식 표면 형상 측정 장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 제1 유전 반사막과 상기 제2 유전 반사막의 사이에 액정층, 제1 수직 배향막 및 제2 수직 배향막이 배치되고, 제1 기판 및 제2 기판 중 적어도 하나가 배치되는 것을 특징으로 하는 광학식 표면 형상 측정 장치
4 4
제2항에 있어서, 상기 제1 유전 반사막과 상기 제2 유전 반사막과의 이격 거리는 광학식 표면 형상 측정 장치에서 요구되는 해상도 또는 간섭 패턴의 프린지들의 선폭(Line Width)에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 광학식 표면 형상 측정 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 광학식 표면 형상 측정 장치는 상기 패브리 페롯 공진계로 가변 전압을 인가하는 전원 공급부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광학식 표면 형상 측정 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 광학식 표면 형상 측정 장치는 광원과 패브리 페롯 공진계의 사이에 배치된 편광판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광학식 표면 형상 측정 장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 패브리 페롯 공진계에 전압을 인가하면, 패브리 페롯 공진계의 액정층의 굴절율이 변화되어 패브리 페롯 공진계로부터 출사되는 간섭 패턴의 직경이 변하게 되는 것을 특징으로 하는 광학식 표면 형상 측정 장치
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2 US8836954 US 미국 DOCDBFAMILY
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1 과학기술부 한국과학재단 이공학분야 센싱 민감도 및 선택성 향상을 위한 센서 어레이 구현 유기박막 패터닝 기술