| 1 |
1
마이크로 노즐이 배열된 마이크로 노즐 어레이를 포함하고, 상기 마이크로 노즐 어레이를 통해 유체 액적이 분사되는 노즐부;상기 노즐부로부터 이격되어 배치되는 전극부;상기 노즐부를 통해 분무되는 유체와 상기 전극부 사이에 전압을 형성시키는 전원부; 및상기 유체와 상기 전극부 사이에 형성되는 전압의 방향을 변경시키는 전원 제어부;를 포함하고, 상기 전원 제어부가 유체에 음의 전압을 인가하고 상기 전극부는 접지되도록 전압의 방향을 설정하는 경우, 음의 전하를 갖는 유체 액적이 시스템으로부터 방출되고, 상기 전원 제어부가 상기 전극부에 음의 전압을 인가하고 상기 유체는 접지되도록 전압의 방향을 설정하는 경우, 양의 전하를 갖는 유체 액적이 시스템 내부에 저장되는 것을 특징으로 하는 정전분무 시스템
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 유체는 물인, 정전분무 시스템
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 전극부는 매쉬(mesh) 구조를 갖는 전극을 포함하는, 정전분무 시스템
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 시스템은 외부 공기를 상기 시스템 내로 유입하고 유출시키는 유출입부를 더 포함하는, 정전분무 시스템
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 유입 및 유출을 위한 수단을 포함하는, 정전분무 시스템
|
| 9 |
9
제 7 항에 있어서,양의 전하를 갖는 상기 유체 액적이 상기 시스템 내부로 유입된 외부 공기를 살균하고, 상기 유출입부는 살균된 외부 공기를 상기 시스템 외부로 유출시키며,상기 정전분무 시스템은 상기 시스템 외부를 가습하지 않고 외부 공기를 살균 및 순환시키는, 정전분무 시스템
|
| 10 |
10
제 1 항의 정전분무 시스템을 포함하는, 가습살균기
|
| 11 |
11
제 1 항에 있어서,상기 마이크로 노즐 어레이는,베이스 상에 복수의 마이크로 노즐이 배열된 고분자 재질의 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법에 있어서,a) 기판 상에 상기 마이크로 노즐 어레이에 대응하는 감광제 패터닝을 형성하는 단계;b) 감광제 패터닝의 요부에 금속을 충진하는 단계;c) 충진된 금속 사이의 잔여 감광제를 제거하는 단계;d) 기판 상에 감광제를 증착한 후, 충진된 금속 사이에 홀이 형성되도록 감광제를 패터닝하는 단계;e) 상기 충진된 금속 사이의 홀에 금속을 충진하는 단계; 및f) 잔여 감광제를 제거하는 단계;를 포함하는 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법으로 제조된 금형을 사용하여 제조되는 것을 특징으로 하는 정전분무 시스템
|
| 12 |
12
제 1 항에 있어서,상기 마이크로 노즐 어레이는베이스 상에 복수의 마이크로 노즐이 배열된 고분자 재질의 마이크로 노즐 어레이의 제조 방법에 있어서,a) 기판 상에 상기 마이크로 노즐 어레이에 대응하는 감광제 패터닝을 형성하는 단계;b) 감광제 패터닝의 요부에 금속을 충진하는 단계;c) 충진된 금속 사이의 잔여 감광제를 제거하는 단계;d) 기판 상에 감광제를 증착한 후, 충진된 금속 사이에 홀이 형성되도록 감광제를 패터닝하는 단계;e) 상기 충진된 금속 사이의 홀에 금속을 충진하는 단계;f) 잔여 감광제를 제거하여 금형을 제조하는 단계; 및g) 상기 금형에 고분자를 충진한 후 분리하는 단계;를 포함하는, 마이크로 노즐 어레이의 제조 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 정전분무 시스템
|
| 13 |
13
제 12 항에 있어서,상기 a) 단계는 75 내지 85 μm의 외경을 가진 원기둥 형상의 돌출부를 패터닝하는, 정전분무 시스템
|
| 14 |
14
제 12 항에 있어서,상기 b) 단계는 니켈 도금 공정 및 표면 연마 단계를 포함하는, 정전분무 시스템
|
| 15 |
15
제 12 항에 있어서,상기 d) 단계는 35 내지 45 μm의 외경을 가진 홀이 형성되도록 감광제를 패터닝하는, 정전분무 시스템
|
| 16 |
16
제 12 항에 있어서,상기 고분자는 열경화성 고분자 또는 열가소성 고분자를 포함하는, 정전분무 시스템
|
