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반도체 웨이퍼 증착장비용 샤워헤드 검사장치

  • 기술번호 : KST2019014534
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 웨이퍼 증착장비용 샤워헤드 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 빛에 의한 영상왜곡을 최소화시켜 10㎛의 크기를 갖고 6700여개의 홀이 가공된 반도체 웨이퍼 증착장비에 사용되는 샤워헤드의 홀 변형 여부를 정확하고 신속하게 판독하여 재사용여부를 확인케 함으로써 교체사용에 따른 비용을 절감하고 정확한 증착과정을 수행할 수 있도록 개선된 반도체 웨이퍼 증착장비용 샤워헤드 검사장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01)
출원번호/일자 1020180102621 (2018.08.30)
출원인 김정석
등록번호/일자 10-1941408-0000 (2019.01.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.08.30)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 김정석 대한민국 경기도 수원시 권선구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정석 대한민국 경기도 수원시 권선구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영식 대한민국 경기도 의정부시 장곡로 ***, ***호(신곡동, 월드프라자)(포인트국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 기술보증기금 부산광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-0862101-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.09.11 수리 (Accepted) 4-1-2018-5185210-20
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2018.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0905273-09
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0661495-17
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.11.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1107488-35
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-1107516-26
7 등록결정서
Decision to grant		 2018.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0804560-53
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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반도체 웨이퍼 증착장비용 샤워헤드 검사장치에 있어서;샤워헤드가 안착되는 검사대를 구비한 본체;상기 본체에 설치되고, 상기 샤워헤드 상부에 배치되는 검사유닛;상기 검사유닛의 하방에 고정되고, 상기 검사유닛을 구성하는 카메라와 렌즈가 샤워헤드의 검사면을 촬상할 때 외부광원으로부터 유입되는 빛을 차단한 채 균일한 조명을 제공하는 조명부;상기 조명부 상측의 검사유닛 하부를 커버하여 외부광원으로부터 유입된 빛이 카메라와 렌즈 측으로 유입되는 것을 차단하는 커버;를 포함하고,상기 검사대는 전후방향으로 이동가능하게 설치되고, 상기 검사유닛은 상기 본체의 일단에 수직하게 고정된 '∩'형상의 고정프레임을 따라 검사대의 폭방향으로 좌우이동 가능하게 설치되어 상기 검사유닛을 이동시키는 고정점이 되는 백플레이트를 포함하며,상기 조명부는 상기 백플레이트에 고정되는 높낮이조절판에 의해 높이 조절가능하게 설치며,상기 조명부는 상기 높낮이조절판에 고정되고 내부에 원통형상의 중공부가 형성된 조명베이스와; 상기 조명베이스의 하단에 고정되고 균일한 조명을 제공하도록 다수의 LED가 배열된 LED베이스와; 상기 LED에 의해 발광된 조명의 반사율을 높여 빛의 산란도를 증대시키는 반사경통과; 상기 반사경통의 하단에 고정되고 외부광원으로부터 유입되는 빛을 차단하는 광차단플랜지;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 증착장비용 샤워헤드 검사장치
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청구항 1에 있어서,상기 LED는 상기 LED베이스의 원중심을 동심원으로 한 채 일정간격으로 직경이 점점 커지게 제1,2,3,4배열부를 포함하되,상기 제1배열부의 LED는 수직하게 90°를 유지한 채 고정되고, 제2배열부의 LED는 바깥방향으로 85°의 경사를 갖고 고정되며, 제3배열부의 LED는 바깥방향으로 80°의 경사를 갖고 고정되고, 제4배열부의 LED는 바깥방향으로 75°의 경사를 갖고 고정되며,상기 광차단플랜지의 저면에는 광차단플랜지의 원중심과 동심원을 이루면서 더 큰 직경을 갖는 다수의 고무링이 더 매립설치된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 증착장비용 샤워헤드 검사장치
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