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디스플레이 백플레인 제조 설비용 카세트 캐리어 장치

  • 기술번호 : KST2019020174
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 디스플레이 백플레인 제조 설비용 카세트 캐리어 장치가 개시된다. 상기 디스플레이 백플레인 제조 설비용 카세트 캐리어 장치는 다면으로 둘러싸인 내부공간을 갖고, 상기 내부공간으로부터 외부로 열린 개방영역을 일면에 구비하는 카세트부; 상기 카세트의 내부공간에 구비되고, 상기 내부공간에서 가요성 기재를 롤투롤 타입으로 이송하되 이송되는 가요성 기재의 피처리면이 상기 개방영역 대향하도록 이송하는 기재이송부; 및 상기 카세트부에 연결되되 상기 개방영역이 구비된 면이 카세트의 하부가 되도록 상기 개방영역이 구비되는 면과 직각을 이루는 일면에 연결되고, 상기 카세트를 공정챔버 배열의 각각의 공정챔버 내외로 이송하는 카세트이송로봇을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 51/56 (2006.01.01) H01L 21/673 (2006.01.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020180046704 (2018.04.23)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0123036 (2019.10.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조성민 경기도 군포시 산본로***번길 **, **
2 김성진 충청남도 아산시
3 정호균 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0401399-65
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번호 청구항
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다면으로 둘러싸인 내부공간을 갖고, 상기 내부공간으로부터 외부로 열린 개방영역을 일면에 구비하는 카세트부;상기 카세트의 내부공간에 구비되고, 상기 내부공간에서 가요성 기재를 롤투롤 타입으로 이송하되 이송되는 가요성 기재의 피처리면이 상기 개방영역으로 향하도록 이송하는 기재 이송부; 및상기 카세트부에 연결되어 상기 개방영역이 구비된 면이 카세트의 하부가 되도록 상기 개방영역이 구비되는 면과 직각을 이루는 일면에 연결되고, 상기 카세트를 공정챔버 배열의 각각의 공정챔버 내외로 이송하는 카세트이송로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는,디스플레이 백플레인 제조 설비용 카세트 캐리어 장치
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제1항에 있어서,상기 기재이송부는, 상기 카세트의 내부공간의 일측에 배치되고, 롤 형태의 가요성 기재를 권출하는 공급롤러;상기 카세트의 내부공간에서 상기 공급롤러와 이웃하고, 상기 공급롤러로부터 권출되는 가요성 기재를 권취하여 회수하는 회수롤러; 및상기 공급롤러 및 회수롤러 사이의 가요성 기재의 이송길이 내에서 상기 피처리면의 이면에 지지되어 상기 공급롤러 및 회수롤러 사이의 가요성 기재의 이송길이를 상기 개방영역에 평행하게 유지시키는 제1 장력유지용롤 및 제2 장력유지용롤을 포함하는 것을 특징으로 하는,디스플레이 백플레인 제조 설비용 카세트 캐리어 장치
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제2항에 있어서,상기 제1 장력유지용롤 및 제2 장력유지용롤에 연결되어 상기 제1 장력유지용롤 및 제2 장력유지용롤 사이의 가요성 기재길이의 장력을 측정하는 로드셀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,디스플레이 백플레인 제조 설비용 카세트 캐리어 장치
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제3항에 있어서,상기 공급롤러 및 회수롤러의 회전 및 카세트이송로봇의 동작을 제어하는 제어부와 통신하는 통신부를 더 포함하고,상기 통신부는 상기 로드셀에서 측정된 압력을 상기 제어부로 전송하는 것을 특징으로 하는,디스플레이 백플레인 제조 설비용 카세트 캐리어 장치
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제1항에 있어서,상기 카세트부는 상기 카세트이송로봇과 분리 가능하게 연결되어 교체 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는,디스플레이 백플레인 제조 설비용 카세트 캐리어 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조부 성균관대학교 산학협력단 대학ICT연구센터육성지원사업 차세대AMOLED 핵심원천기술개발 및 연구 인력 양성