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플렉시블 OLED 기판을 제조하는 장치 및 이를 이용한 플렉시블 OLED 기판의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019021163
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 OLED 기판을 제조하는 장치 및 이를 이용한 플렉시블 OLED 기판의 제조 방법에서, 발광소자를 형성하는 진공 상태의 발광소자 제조공정부와 연결되어 발광소자 제조공정부로 롤투롤 공법으로 플렉시블 기재의 불순물을 기체화시켜 제거(degassing)하는 불순물 제거부를 포함한다.
Int. CL H01L 51/56 (2006.01.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020180050991 (2018.05.03)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0126989 (2019.11.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유민선 서울특별시 강남구
2 김찬호 경기도 수원시 장안구
3 정은 경기도 안양시 동안구
4 조성민 경기도 군포시 산본로***번길 **, **
5 정호균 경기도 용인시 처인구
6 유지범 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0437074-19
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0441091-35
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
롤투롤 공법으로 OLED 기판을 제조하는 장치에 있어서,발광소자를 형성하는 진공 상태의 발광소자 제조공정부;플렉시블 기재의 불순믈을 기체화시키는 탈기(outgassing)와 배기 단계를 통해서 플렉시블 기재로부터 기체화된 불순물을 제거(degassing)하고, 불순물이 제거된 플렉시블 기재를 상기 발광소자 제조공정부로 롤투롤 공법으로 제공하며, 상기 플렉시블 기재를 향해 복사 에너지를 공급하여 탈기시키는 복사에너지 공급원과 상기 복사에너지 공급원에 의해 플렉시블 기재에서 열적으로 활성화된 불순물을 진공 배기시키도록 구비된 진공배기 유닛을 포함하는 불순물 제거부; 및상기 불순물 제거부와 상기 발광소자 제조공정부 사이에 개재되어 상기 불순물 제거부에서 상기 발광소자 제조공정부로 플렉시블 기재를 이동시키는 동안에도 상기 불순물 제거부에서 기체화된 불순물이 상기 발광소자 제조공정부로 유동하는 것을 차단하는 연결부를 포함하는,OLED 기판을 제조하는 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 연결부와 발광소자 제조공정부가 연결되는 계면의 단면적은,상기 연결부가 연결되는 상기 불순물 제거부의 일측부의 단면적보다 작은 것을 특징으로 하는,OLED 기판을 제조하는 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 불순물 제거부는복사에너지 공급원에 의한 플렉시블 기재의 온도를 모니터링하도록 플렉시블 기재에서 복사에너지 공급원이 설치된 유효 영역을 제외한 비유효 영역에 구비된 다수개의 온도 게이지를 더 포함하고,상기 온도 게이지를 통해 플렉시블 기재의 연화점 이상의 온도가 확인되는 경우 복사에너지 공급원에 대한 에너지 공급을 중단하여 플렉시블 기재의 열손상을 방지하는 것을 특징으로 하는,OLED 기판을 제조하는 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 연결부는 닫힌 밸브 상태와 열린 밸브 상태로 조절되는 밸브 구조를 포함하고,상기 닫힌 밸브 상태에서 상기 불순물 제거부에서 생성된 기체화된 불순물은 상기 불순물 제거부에서 상기 발광소자 제조공정부로 이동이 차단되며,상기 열린 밸브 상태에서 상기 불순물 제거부에서 생성된 기체화된 불순물은 상기 불순물 제거부에서 상기 발광소자 제조공정부로 이동하는 것을 특징으로 하는,OLED 기판을 제조하는 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 밸브 구조는 다수의 리드들로 구성되고,상기 리드들 각각의 적어도 일면에는 기체화된 불순물이 흡착될 수 있는 소재의 게터(getter)가 도포된 교체가능한 패드가 형성된 것을 특징으로 하는,OLED 기판을 제조하는 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 플렉시블 기재는 일면에 형성된 나노와이어층을 포함하고,상기 불순물 제거부에서 상기 나노와이어층의 표면에 대해서 불순물을 제거하는 탈기 및 배기 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는,OLED 기판을 제조하는 장치
7 7
롤투롤 공법으로 OLED 기판을 제조하는 방법에 있어서,복사에너지 공급원에 의해 플렉시블 기재의 불순물을 열적으로 활성화시키고 진공배기시키는 불순물 제거부에 플렉시블 기재를 제공하는 단계;상기 불순물 제거부의 복사에너지 공급원에 의해 상기 불순물 제거부에 제공된 플렉시블 기재의 표면과 내부에 흡착된 불순물을 열적으로 활성화시키는 탈기(outgassing) 단계;상기 불순물 제거부의 진공배기 유닛을 통해서 활성화된 불순물이 불순물 제거부의 외부로 배출되는 배기 단계;상기 불순물 제거부의 배기 단계 후에, 상기 불순물 제거부에서 발광소자 제조공정부로 플렉시블 기재를 제공하는 단계; 및상기 발광소자 제조공정부로 제공된 플렉시블 기재에 발광소자를 형성하는 단계를 포함하는OLED 기판을 제조하는 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 불순물 제거부는 제1 영역과 제2 영역으로 구분되고,상기 탈기 단계는 상기 제1 영역에서 수행되고,상기 탈기 단계 후 배기 단계 사이에서 상기 탈기 단계가 수행된 플렉시블 기재를 상기 제2 영역으로 이동시킨 후에 배기 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는,OLED 기판을 제조하는 방법
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제8항에 있어서,상기 플렉시블 기재를 상기 제2 영역으로 이동시키는 단계는상기 플렉시블 기재의 롤투롤 이동 방향과 수직한 상부 방향이거나, 롤투롤 이동 방향과 동일 평면 상에서 수직한 방향으로 이동시켜 수행하는 것을 특징으로 하는,OLED 기판을 제조하는 방법
10 10
발광소자를 형성하는 진공 상태의 발광소자 제조공정부;상기 발광소자 제조공정부 내에 배치되어, 플렉시블 기재의 불순물을 기체화시도록 플렉시블 기재를 향해 복사 에너지를 공급하여 탈기(outgassing)시키는 복사에너지 공급원; 및상기 발광소자 제조공정부에 연결되고, 상기 복사에너지 공급원에 의해 플렉시블 기재에서 열적으로 활성화된 불순물을 진공 배기시키도록 구비된 진공배기 유닛을 포함하고,탈기 및 배기 단계가 수행된 후에 상기 발광소자 제조공정부에서 발광소자의 형성 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는,OLED 기판을 제조하는 장치
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패밀리정보가 없습니다
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