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용액재료를 이용한 미세패턴 제조방법

  • 기술번호 : KST2019023875
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 용액재료를 이용한 미세패턴 제조방법에서, 베이스 기판 상에 친수성막 및 소수성막을 포함하는 제1 층을 형성한다. 베이스 몰드 상에 제1 패턴을 형성하여 임프린팅 몰드를 제작한다. 상기 제1 패턴을 포함한 임프린팅 몰드로 상기 제1 층을 패터닝한다. 상기 패터닝으로 제2 패턴이 형성된 상기 기판 상에 용액을 도포한다. 상기 도포된 용액을 건조한다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) B81C 1/00 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020150163401 (2015.11.20)
출원인 한국과학기술원, 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1716851-0000 (2017.03.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170316) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.20)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유승협 대한민국 대전광역시 유성구
2 문한얼 대한민국 대전광역시 유성구
3 정현호 대한민국 대전광역시 유성구
4 최대근 대한민국 세종특별자치시 만남로 ***,
5 김한중 대한민국 세종특별자치시 달빛*로 ***,
6 박창구 대한민국 대전광역시 대덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김민태 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-1135351-87
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0583766-19
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-1005037-29
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.10.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1005038-75
5 등록결정서
Decision to grant		 2017.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0120523-85
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-0229690-11
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 기판 상에 순차적으로 적층되는 친수성막 및 소수성막을 포함하는 제1 층을 형성하는 단계;베이스 몰드 상에 제1 패턴을 형성하여 임프린팅 몰드를 제작하는 단계;상기 제1 패턴을 포함한 임프린팅 몰드로 상기 제1 패턴이 상기 소수성막 및 상기 친수성막을 모두 관통하도록 상기 제1 층을 패터닝하는 단계;상기 패터닝으로 제2 패턴이 형성된 상기 기판 상에, 상기 제2 패턴 중 상기 친수성막에 의해 형성된 제1 개구부 상에만 선택적으로 침투하고 상기 소수성막에 의해 형성된 제2 개구부에는 침투되지 않도록 용액을 도포하는 단계; 및상기 도포된 용액을 건조하여, 상기 제2 개구부가 개구된 상태의 미세패턴을 형성하는 단계를 포함하는 미세패턴 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1 층을 형성하는 단계는, 상기 베이스 기판 상에 친수성막을 형성하는 단계; 및상기 친수성막 상에 소수성막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1 층을 형성하는 단계는, 상기 베이스 기판 상에 친수성막을 형성하는 단계; 및상기 친수성막의 상면을 소수성처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1 층을 형성하는 단계는, 상기 베이스 기판의 표면에 가까운 일부분을 상기 제1 층의 친수성막으로 사용하고, 상기 베이스 기판 상에 소수성막을 형성하거나 또는 상기 베이스 기판의 표면을 소수성으로 처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1 층을 패터닝하는 단계에서, 상기 임프린팅 몰드를 가열하여, 상기 가열된 제1 패턴이 상기 제1 층 상에 제2 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 제1 층을 패터닝하는 단계에서, 상기 제1 패턴을 상기 제1 층의 내부로 인입한 상태에서, 상기 제1 층으로 UV를 조사하여 상기 제1 층을 경화시켜 제2 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조방법
7 7
제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1 층을 패터닝하는 단계에서, 상기 임프린팅 몰드를 롤(roll)의 형태로 제작하여, 롤투롤(roll-to-roll) 또는 롤투플레이트(roll-to-plate) 방법을 통해 상기 제1 층 상에 제2 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조방법
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서, 상기 기판 상에 용액을 도포하는 단계에서, 상기 용액은 스핀 코팅, 딥코팅, 슬롯-다이 코팅, 잉크젯 인쇄 중 어느 하나의 용액 도포 방법으로 상기 기판 상에 도포되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 도포된 용액을 건조하는 단계에서, 상기 제1 개구부 상에만 침투된 용액이 건조되면서 상기 용액에 포함된 용제만 잔류하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 기판 상에 용액을 도포하는 단계 및 상기 도포된 용액을 건조하는 단계에서, 용액의 도포와 건조를 1회 이상 반복하여 미세패턴의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 기판 상에 용액의 도포와 건조를 1회 이상 반복하는 경우, 1 종류 이상의 용액을 사용하여 서로 다른 종류의 물질을 포함하는 다층막 미세패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 능동소자용 기능성 나노복합구조체 융합가공기술 개발
2 미래창조과학부 한국과학기술원 글로벌프론티어사업 기상 젯프린팅 기반 소프트 전자소자 기술 개발
3 미래창조과학부 한국과학기술원 중견연구자지원사업 무용매 애디티브 프로세스 기반 유무기 하이브리드 전자소자와 이를 이용한 투명 및 스마트 레이블형