| 1 |
1
웨이퍼의 일면 또는 양면 모두를 폴리싱한 기판부;상기 기판부에 증착되며 서로 다른 둘 이상의 화합물층으로 이루어지는 절연층;상기 절연층의 상부에 상호 소정간격 이격되도록 증착되는 두 개의 서모파일;상기 서모파일의 사이에 위치하도록 상기 절연층의 상부에 형성되며, 교류 전류가 인가되는 히터;상기 절연층과 서모파일 및 히터를 덮도록 상기 절연층의 상부에 형성되는 보호층;을 구비하며,상기 히터는 상기 보호층의 상부에 안착되는 바이오 샘플을 교류가열하도록 형성되고,상기 히터에 인가되는 교류 전류는, 상기 바이오 샘플에 의한 열유속 신호의 발생을 위해 이용되고,상기 열유속 신호는, AC(alternating current) 신호와 DC(direct current)로 분리되며,상기 AC 신호의 진폭 변화량과 상기 DC 신호의 진폭 변화량은, 상기 바이오 샘플의 개체수와 열용량 및 발열량을 동시에 측정하기 위해 이용되는 것을 특징으로 하는바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 절연층은 상기 기판부의 상면에 이산화규소를 증착하여 형성된 제1 절연부와,상기 제1 절연부의 상부에 질화규소를 증착하여 형성된 제2 절연부를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서,상기 제1 절연부는 0
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,상기 서모파일은 금코팅층과 크롬코팅층을 포함하되,상기 금코팅층은 소정간격 이격되어 있고, 상기 크롬코팅층은 양단부가 상기 금코팅층의 상부에 적층되고, 금코팅층의 사이에서는 상기 절연층의 상면에 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서,상기 금코팅층은 두께가 0
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서,상기 보호층은 이산화 규소를 증착하여 형성하되, 상기 절연층으로부터 보호층의 상단까지의 두께는 0
|
| 7 |
7
제 1항에 있어서,상기 기판부는 상기 히터로부터의 열흐름을 상기 서모파일로 집중시키기 위해 상기 절연층과 서모파일, 히터가 형성된 일면과 대향되는 대향면에 식각 형성되는 캐비티를 포함하는 것을 특징으로 하는바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계
|
| 8 |
8
실리콘으로 형성되는 웨이퍼의 일면 또는 양면 모두를 폴리싱한 기판부를 형성하는 단계;상기 기판부의 적어도 일면에 절연층을 증착하는 단계;상기 절연층 위에 상호 이격되는 두 개의 서모파일과, 상기 절연층 위에 상기 이격된 서모파일의 사이에 위치하며, 교류전원을 인가받아 바이오 샘플을 교류가열을 하는 히터를 형성하는 단계;상기 서모파일 및 상기 히터를 덮도록 상기 절연층 위에 형성되는 보호층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 히터에 인가되는 교류전원은, 상기 바이오 샘플에 의한 열유속 신호의 발생을 위해 이용되고,상기 열유속 신호는, AC(alternating current) 신호와 DC(direct current) 신호로 분리되며,상기 AC 신호의 진폭 변화량과 상기 DC 신호의 진폭 변화량은, 상기 바이오 샘플의 개체수와 열용량 및 발열량을 동시에 측정하기 위해 이용되는 것을 특징으로 하는바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계의 제조방법
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서,상기 서모파일과 히터가 형성되어 있는 상기 기판부의 일면에 대향되는 기판부의 타측에 기판부를 식각하여 캐비티를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계의 제조방법
|
| 10 |
10
제 8항에 있어서,상기 절연층을 증착하는 단계는 상기 기판부에 이산화규소를 증착하여 제1 절연부을 형성하는 단계와,상기 제1 절연부에 질화규소를 증착하여 제2 절연부을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계의 제조방법
|
| 11 |
11
제 10항에 있어서,상기 제1 절연부 및 제2 절연부는 각각 이산화규소와 질화규소를 열에너지를 이용한 화학기상증착방법(Chemical Vapor Deposition)을 이용하여 증착하는 것을 특징으로 하는바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계의 제조방법
|
| 12 |
12
제 11항에 있어서,상기 제1 절연부는 두께가 0
|
| 13 |
13
제 8항에 있어서,상기 서모파일을 형성하는 단계는 상기 절연층의 상부에 소정간격 이격되도록 금코팅층을 형성하고, 양 단부가 상기 이격된 금코팅층에 적층되도록 크롬코팅층을 형성하는 것을 특징으로 하는바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계의 제조방법
|
| 14 |
14
제 13항에 있어서,상기 서모파일을 형성하는 단계는 에스(S)자 패턴의 제1 포토레지스트층을 상기 절연층 위에 일방향으로 나열하여 연속 형성하는 단계와,상기 제1 포토레지스트층 위에 금을 증착하여 금코팅층을 형성하는 단계와,상기 제1 포토레지스트층을 세척제를 이용해 제거하여 상기 절연층 위에 상기 금코팅층만 남기는 단계와,상기 이격되어 있는 금코팅층들을 연결하는 제2 포토레지스트층을 상기 절연층의 위에 연속 형성하는 단계와,상기 제2 포토레지스트층 위에 크롬을 증착하여 크롬코팅층을 형성하는 단계와,상기 제2 포토레지스트층을 세척제를 이용해 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계의 제조방법
|
| 15 |
15
제 14항에 있어서,상기 히터는 상기 제2 포토레지스트층 위에 크롬을 증착하여 크롬코팅층을 형성할 때, 상기 서모파일의 사이에 위치하도록 크롬이 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는바이오 샘플용 다목적 마이크로 열량계의 제조방법
|
