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백색 엑스선과 에너지 디텍터를 이용한 박막 두께 고속측정방법 및 그 장치

  • 기술번호 : KST2015173990
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 백색 엑스선과 에너지 분해능을 갖는 디텍터를 이용한 백색 엑스선 반사율 방법을 이용하여 나노스케일 박막 두께를 고속으로 측정하는 것이다. 보다 상세하게는 연속적인 파장을 포함하고 있는 백색 엑스선을 일정 각도로 박막에 조사하고 박막으로부터 반사되는 엑스선을 에너지 분해능을 갖는 디텍터를 사용하여 파장 별로 동시에 관찰함으로써 단시간 내에 박막의 두께를 알아낼 수 있는 방법이다. 본 발명은 기존의 단색 엑스선과 일반 디텍터를 이용하여 박막에 대한 엑스선 조사각도를 변화시키며 엑스선 반사율을 측정하여 박막의 두께를 얻는 방법의 가장 큰 단점인 측정 시간을 수십 배 단축시킬 수 있다. 이 방법을 이용함으로써 박막의 두께가 빠르게 변화하고 있는 여러 상황의 박막의 두께를 실시간에 나노스케일의 분해능으로 정확하게 측정할 수 있게 되었다.백색 엑스선, 에너지 디텍터, 싱크로트론, 박막의 두께
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01B 15/02 (2000.01)
CPC G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01)
출원번호/일자 1020050104960 (2005.11.03)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0788467-0000 (2007.12.17)
공개번호/일자 10-2007-0047998 (2007.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20071224) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.03)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노도영 대한민국 광주시 북구
2 장현우 대한민국 광주시 북구
3 이성표 대한민국 광주시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0633771-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.08.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0057513-98
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0654826-58
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.01.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0009826-95
6 의견서
Written Opinion		 2007.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2007-5001071-83
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0286358-49
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2007-0544971-56
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.07.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0544967-73
10 등록결정서
Decision to grant		 2007.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0637120-24
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연속적인 파장을 갖는 엑스선을 박막의 표면에 입사시키는 단계; 및상기 입사되어 반사되는 엑스선을 실리콘 PIN 다이오드 에너지 디텍터로 검출하여 주기적인 진동간격을 검출하고 이로부터 박막의 두께를 결정하는 단계를 포함하는 박막 두께의 고속 측정방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 엑스선은 백색 엑스선인 것을 특징으로 하는 박막 두께의 고속 측정방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 백색 엑스선은 방사선 가속기에서 얻어지는 것을 특징으로 하는 박막 두께의 고속 측정방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 엑스선의 입사각과 반사각은 고정되는 것을 특징으로 하는 박막 두께의 고속 측정방법
5 5
삭제
6 6
제 1항에 있어서, 상기 박막은 스퍼터링 방법으로 성장되는 것을 특징으로 하는 박막 두께의 고속 측정방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 스퍼터링 방법은 라디오 주파수 마그네트론(radio frequency magnetron) 스퍼터링 방법인 것을 특징으로 하는 박막 두께의 고속 측정방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 박막의 두께는 다음식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 박막 두께의 고속 측정방법
9 9
연속적인 파장을 가지는 엑스선을 방출하는 엑스선 방출부; 상기 엑스선 방출부에 의해 방출되는 엑스선이 입사되도록 박막을 위치시키는 박막위치부; 및 상기 박막에서 반사되는 엑스선을 실리콘 PIN 다이오드 에너지 디텍터로 검출하여 상기 박막의 두께를 결정하는 엑스선 검출부를 포함하는 박막 두께의 고속 측정장치
10 10
제 9항에 있어서, 상기 엑스선은 백색 엑스선인 것을 특징으로 하는 박막 두께의 고속 측정장치
11 11
제 9항에 있어서, 상기 엑스선 방출부는 방사광 가속기를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 두께의 고속 측정장치
12 12
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.