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레이저-유도 디웨팅된 실버 나노입자를 포함하는 표면 증강 라만 산란 기판 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020004520
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 신뢰성있는 표면 증강 라만 산란 기판으로, 기판; 및 상기 기판 상에 위치하며, 일직선으로 존재하는, 25 nm 내지 80 nm 직경(D50)을 갖는 구형의 실버 나노입자들로 이루어진 실버 나노입자 군집 어레이; 및 상기 실버 나노입자 군집 어레이 사이에 존재하여 실버 나노입자 군집 어레이의 연속성을 중단시키는 불연속 영역;을 갖는 것인 표면 증강 라만 산란 기판 및 상기 신뢰성있는 기판을 대면적으로 제조할 수 있는 제조방법이 제공된다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01.01) H01L 33/04 (2010.01.01) H01L 33/22 (2010.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020190042147 (2019.04.10)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0047277 (2020.05.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020180129215   |   2018.10.26
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.04.10)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장두전 서울특별시 관악구
2 김준기 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2019-0368836-31
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.05.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0118493-61
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.08.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0569380-98
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2020-1111446-26
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.10.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1111447-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
표면 증강 라만 산란 기판으로, 기판; 및 상기 기판 상에 위치하며, 일직선으로 존재하는, 25 nm 내지 80 nm 직경(D50)을 갖는 구형의 실버 나노입자들로 이루어진 실버 나노입자 군집 어레이; 및 상기 실버 나노입자 군집 어레이 사이에 존재하여 실버 나노입자 군집 어레이의 연속성을 중단시키는 불연속 영역;을 갖는 것인 표면 증강 라만 산란 기판
2 2
제1항에 있어서, 상기 패턴이 절첩선(fold line) 형태인 것인 표면 증강 라만 산란 기판
3 3
제1항에 있어서, 상기 패턴이 적어도 2개 구비되되, 평행하게 구비된 것인 표면 증강 라만 산란 기판
4 4
제1항에 있어서, 상기 불연속 영역은 실버 페이스트 물질의 승화물의 침적물을 포함하는 것인 표면 증강 라만 산란 기판
5 5
표면 증강 라만 산란 기판의 제조방법으로,실버 페이스트를 기판 상에 필름 형태로 도포하는 단계; 상기 필름 형태의 실버 페이스트에 가로 방향으로 펄스형 레이저빔을 스캔하는 단계; 및 상기 가로 방향으로 스캔된 레이저빔 궤적과 교차점을 갖도록 상기 필름 형태의 실버 페이스트에 세로 방향으로 펄스 레이저빔을 스캔하는 단계;를 포함하는 표면 증강 라만 산란 기판의 제조방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 펄스형 레이저는 355 nm 내지 532 nm 범위의 파장을 갖는 것인 표면 증강 라만 산란 기판의 제조방법
7 7
제5항에 있어서, 상기 필름 형태의 실버 페이스트에 가로 방향으로 펄스형 레이저빔을 스캔하는 단계를 여러 번 수행한 후에, 상기 가로 방향으로 스캔된 레이저빔 궤적과 교차점을 갖도록 상기 필름 형태의 실버 페이스트에 세로 방향으로 펄스 레이저빔을 스캔하는 단계를 여러 번 수행하여, 펄스형 레이저빔의 궤적이 그물 형상이 되도록 하는 것인 표면 증강 라만 산란 기판의 제조방법
8 8
제5항에 있어서, 상기 필름 형태의 실버 페이스트에 가로 방향으로 펄스형 레이저빔을 스캔한 후에, 상기 가로 방향으로 스캔된 레이저빔 궤적과 교차점을 갖도록 상기 필름 형태의 실버 페이스트에 세로 방향으로 펄스 레이저빔을 스캔하는 단계를 여러 번 수행하여, 펄스형 레이저빔의 궤적이 그물 형상이 되도록 하는 것인 표면 증강 라만 산란 기판의 제조방법
9 9
제5항에 있어서, 상기 기판이 유리 기판, 플라스틱 기판 또는 종이 기판인 것인 표면 증강 라만 산란 기판의 제조방법
10 10
제5항에 있어서, 상기 레이저빔이 0보다 크고 125 ㎛/S 이하인 스캔 속도로 스캔되는 것인 표면 증강 라만 산란 기판의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 서울대학교 화학부 중견연구자지원사업 레이저를 이용한 플라즈모닉 나노구조배열의 제조 및 응용