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유로 레이어 및 스테이지의 오버랩 영역이 형성된 서로 다른 크기의 제1 커버 글래스 및 제2 커버 글래스를 사용하여 디바이스를 제작하는 단계; 상기 오버랩 영역이 형성된 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 중 어느 하나 이상에 마이크로 미러를 삽입하는 단계; 및상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 각각에 형성된 상기 유로 레이어를 결합시켜 3차원 이미징을 위한 이미징 디바이스를 형성하는 단계를 포함하는 이미징 디바이스의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 디바이스를 제작하는 단계는상기 제1 커버 글래스의 양측에 복수의 제1 유로 레이어를 형성하고, 상기 제2 커버 글래스의 양측에 복수의 제2 유로 레이어를 형성하는 이미징 디바이스의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 디바이스를 제작하는 단계는상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 중 어느 하나의 커버 글래스에 형성된 상기 복수의 유로 레이어 사이에 상기 스테이지를 형성하며, 상기 복수의 유로 레이어 중 어느 하나와 상기 스테이지 사이에 상기 마이크로 미러를 삽입하기 위한 간격을 형성하는 것을 특징으로 하는 이미징 디바이스의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 마이크로 미러를 삽입하는 단계는 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 각각에 형성된 복수의 상기 유로 레이어 사이에 상기 마이크로 미러를 삽입하는 이미징 디바이스의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 마이크로 미러를 삽입하는 단계는 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 각각에 단일 개의 상기 마이크로 미러를 삽입하거나, 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 중 어느 하나의 커버 글래스에 복수 개의 상기 마이크로 미러를 삽입하는 이미징 디바이스의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 마이크로 미러를 삽입하는 단계는 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 각각에 단일 개의 상기 마이크로 미러를 삽입하여 상기 이미징 디바이스에서 서로 상반된 상기 마이크로 미러를 제공하는 것을 특징으로 하는 이미징 디바이스의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 마이크로 미러를 삽입하는 단계는 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 중 어느 하나의 커버 글래스에 복수 개의 상기 마이크로 미러를 삽입하여 상기 이미징 디바이스에서 일직선 상에 직렬 배열된 상기 마이크로 미러를 제공하는 것을 특징으로 하는 이미징 디바이스의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 이미징 디바이스를 형성하는 단계는상기 제1 커버 글래스에 형성된 상기 복수의 제1 유로 레이어와, 상기 제2 커버 글래스에 형성된 상기 복수의 제2 유로 레이어가 서로 정렬되도록 하여 결합시키는 이미징 디바이스의 제조 방법
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제1 커버 글래스;상기 제1 커버 글래스의 양측에 복수 개로 형성된 제1 유로 레이어;상기 제1 유로 레이어에 결합된 제2 유로 레이어;복수 개의 상기 제2 유로 레이어가 양측에 형성된 제2 커버 글래스; 및결합된 상기 제1 유로 레이어 및 상기 제2 유로 레이어 사이에 복수 개로 형성된 마이크로 미러를 포함하는 이미징 디바이스
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제9항에 있어서,상기 복수 개로 형성된 마이크로 미러 사이에 형성되어 샘플을 위치시키는 스테이지를 더 포함하는 이미징 디바이스
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제9항에 있어서,상기 마이크로 미러는상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 각각에 형성되어 서로 상반된 형태를 나타내거나, 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스 중 어느 하나에 복수 개로 형성되어 일직선 상에 직렬 배열된 형태를 나타내는 것을 특징으로 하는 이미징 디바이스
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제9항에 있어서,상기 이미징 디바이스는서로 다른 크기의 상기 제1 커버 글래스 및 상기 제2 커버 글래스의 결합으로 인해 모세관 채널을 포함하는 것을 특징으로 하는 이미징 디바이스
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금속판을 엔드밀링으로 절삭하여 사다리꼴 및 삼각형 형상의 금형 몰드를 제작하는 단계; 상기 금형 몰드를 복제하여 양각의 PDMS(poly-di-methyl-siloxane) 금형을 형성하는 단계;상기 양각의 PDMS 금형을 이용한 레플리카 몰딩(Replica molding)을 통해 음각의 PDMS 금형을 형성하는 단계; 상기 음각의 PDMS 금형을 PDMS 플레이트 상에 배치하여 미세유체 채널을 형성하는 단계;상기 미세유체 채널에 UV 경화성 고분자(UV curable polymer)를 충진시킨 후, 경화시켜 마이크로 구조물를 형성하는 단계; 및상기 마이크로 구조물에 반사 물질을 코팅하여 반사 코팅막을 형성하는 단계를 포함하는 마이크로 미러의 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 금형 몰드를 제작하는 단계는엔드밀링 기술을 이용하여 상기 금속판에 45˚ 각도의 측면을 포함한 사다리꼴 또는 삼각형 형상의 금형 몰드를 제작하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러의 제조 방법
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제13항에 있어서,상기 반사 코팅막이 형성된 상기 마이크로 미러에 패시베이션(passivation) 막을 형성하여 부동화하는 단계를 더 포함하는 마이크로 미러의 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 부동화하는 단계는상기 반사 코팅막이 형성된 상기 마이크로 미러에만 직접적으로 상기 패시베이션 막을 형성하는 마이크로 미러의 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 부동화하는 단계는상기 반사 코팅막이 형성된 상기 마이크로 미러와, 상기 반사 코팅막이 형성된 상기 마이크로 미러가 집적된 글래스 기판에 전체적으로 상기 패시베이션 막을 형성하는 마이크로 미러의 제조 방법
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제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 따라 제조되는 마이크로 미러
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