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베이스 상에 복수의 마이크로 노즐이 배열된 고분자 재질의 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법에 있어서,a) 기판 상에 상기 마이크로 노즐 어레이에 대응하는 감광제 패터닝을 형성하는 단계;b) 감광제 패터닝의 요부에 금속을 충진하는 단계;c) 충진된 금속 사이의 잔여 감광제를 제거하는 단계;d) 기판 상에 감광제를 증착한 후, 충진된 금속 사이에 홀이 형성되도록 감광제를 패터닝하는 단계;e) 상기 충진된 금속 사이의 홀에 금속을 충진하는 단계; 및f) 잔여 감광제를 제거하는 단계;를 포함하는, 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 a) 단계는 75 내지 85 μm의 외경을 가진 원기둥 형상의 돌출부를 패터닝하는, 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 b) 단계는 니켈 도금 공정 및 표면 연마 단계를 포함하는, 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 d) 단계는 35 내지 45 μm의 외경을 가진 홀이 형성되도록 감광제를 패터닝하는, 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법
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베이스 상에 복수의 마이크로 노즐이 배열된 고분자 재질의 마이크로 노즐 어레이의 제조 방법에 있어서,a) 기판 상에 상기 마이크로 노즐 어레이에 대응하는 감광제 패터닝을 형성하는 단계;b) 감광제 패터닝의 요부에 금속을 충진하는 단계;c) 충진된 금속 사이의 잔여 감광제를 제거하는 단계;d) 기판 상에 감광제를 증착한 후, 충진된 금속 사이에 홀이 형성되도록 감광제를 패터닝하는 단계;e) 상기 충진된 금속 사이의 홀에 금속을 충진하는 단계;f) 잔여 감광제를 제거하여 금형을 제조하는 단계; 및g) 상기 금형에 고분자를 충진한 후 분리하는 단계;를 포함하는, 마이크로 노즐 어레이의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 a) 단계는 75 내지 85 μm의 외경을 가진 원기둥 형상의 돌출부를 패터닝하는, 마이크로 노즐 어레이의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 b) 단계는 니켈 도금 공정 및 표면 연마 단계를 포함하는, 마이크로 노즐 어레이의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 d) 단계는 35 내지 45 μm의 외경을 가진 홀이 형성되도록 감광제를 패터닝하는, 마이크로 노즐 어레이의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 고분자는 열경화성 고분자 또는 열가소성 고분자를 포함하는, 마이크로 노즐 어레이의 제조 방법
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