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비 간섭성 광 회절 단층 촬영을 위한 고속 입사각 스캐닝 장치에 있어서, 비 간섭성의 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 입사되는 광을 회절시키도록 형성된 변조 평면을 갖고, 시료 평면에 대향하여 상기 회절되는 광을 입사시키도록 구성되는 회절형 각도 변조기; 및상기 광원과 상기 회절형 각도 변조기 사이에 배치되고, 상기 광원으로부터 조사되는 광의 일부를 상기 회절형 각도 변조기에 입사시키고, 상기 광원으로부터 조사되는 광의 나머지를 상기 시료 평면 상의 시료와 관련된 이미지를 촬영하는 데 이용되도록 간섭계에 제공하는 광 분리부를 포함하고,상기 회절형 각도 변조기는, 상기 변조 평면을 통해, 상기 광원으로부터 입사되는 광에 포함된 파장에 대응하여 상기 광원으로부터 입사되는 광의 변조 각도를 조절하여, 상기 광원으로부터 입사되는 광이 미리 정해진 측면 공간 주파수(lateral spatial frequency)로 변조되도록 하는 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 변조 평면은 상기 시료 평면의 켤레 평면으로 배치되는 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 회절형 각도 변조기는,상기 광원으로부터 입사되는 광의 진폭을 변조하도록 구성된 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 광원으로부터 입사되는 광을 회절시키도록 형성된 격자 평면을 갖고, 상기 변조 평면에 대향하여 상기 회절되는 광을 입사시키도록 구성되는 광학 격자를 더 포함하는 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 격자 평면은, 상기 변조 평면과 동일한 격자 길이 및 블레이즈 각도로 형성된 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 격자 평면은, 상기 시료 평면의 켤레 평면으로 배치되는 장치
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제 6 항에 있어서, 상기 변조 평면과 격자 평면 사이에 배치되는 렌즈들을 더 포함하는 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 회절형 각도 변조기는, 디지털 마이크로 미러 장치(digital micromirror device; DMD)를 포함하는 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 회절형 각도 변조기는,상기 광원으로부터 입사되는 광의 위상을 변조하여, 상기 광원으로부터 입사되는 광을 회절시키도록 구성되는 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 회절형 각도 변조기는,강 유전성 공간 광 변조기(ferroelectric spatial light modulator; fSLM)를 포함하는 장치
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