요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약
본 발명은 두 파장 백색광 간섭법을 이용하여 재질이 다른 물질의 단차 측정시 발생하는 오차를 최소화할 수 있는 측정법에 관한 것으로서, 특히 백색광 간섭법을 이용하여 다른 물질로 형성된 단차를 측정할 때 위상 변화율의 차이로 인해 발생하는 오차를 보상하기 위해, 두 물질에 대한 위상 변화율의 차이를 수학적으로 표현하고, 상기 수학식으로부터 오차를 한번의 측정으로 보상할 수 있는 측정법에 관한 것이다. 기존의 광위상 간섭법에서 금속 물질의 위상 변화는 물질에 따라 10 ~ 40nm의 측정 오차를 유발한다. 본 발명에서는 위상 변화의 오차가 백색광 간섭무늬의 위상 정점과 가시도 정점에 미치는 영향을 해석적으로 증명하고 금속 물질의 파장에 대한 위상 변화율 수학적으로 모델링하여 일차 직선으로 가정하고 이로부터 단차 값에 보상하는 방법을 제안한다. 아울러, 자가 보정법은 두 파장 백색광 간섭무늬가 갖는 두 개의 위상 정점과 한 개의 가시도 정점으로부터 위상 변화율 오차를 추출하므로, 해당 금속의 위상변화를 얻기위해 별도의 실험을 하지 않고도 한번의 측정을 통해 위상변화로 인한 오차를 보상하는 두 파장 백색광 간섭법과 측정장치를 제안한다. 두파장간섭계, 주파수, 단차, 이종금속
번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호
이름
국적
주소
1
한국과학기술원
대한민국
대전광역시 유성구
발명자
번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호
이름
국적
주소
1
김승우
대한민국
대전 유성구
2
박민철
대한민국
대전광역시서구
대리인
번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호
이름
국적
주소
1
이문재
대한민국
대전광역시 서구 문예로 **, ***호 (둔산동, 변호사회관)(이문재특허법률사무소)
최종권리자
번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호
이름
국적
주소
1
한국과학기술원
대한민국
대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호
서류명
접수/발송일자
처리상태
접수/발송번호
1
특허출원서 Patent Application
2001.04.09
수리 (Accepted)
1-1-2001-0079234-22
2
전자문서첨부서류제출서 Submission of Attachment to Electronic Document
2001.04.10
수리 (Accepted)
1-1-2001-5101461-81
3
신규성(출원시의특례)증명서류제출서 Submission of Certificate of Novelty(Special Provisions for Application)
2001.04.10
수리 (Accepted)
1-1-2001-5101462-26
4
선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search
2003.03.18
수리 (Accepted)
9-1-9999-9999999-89
5
선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search
2003.04.17
수리 (Accepted)
9-1-2003-0014914-37
6
등록결정서 Decision to grant
2003.06.30
발송처리완료 (Completion of Transmission)
9-5-2003-0250152-15
7
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2004.01.14
수리 (Accepted)
4-1-2004-0001933-29
8
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2004.03.19
수리 (Accepted)
4-1-2004-0012166-74
9
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2013.02.01
수리 (Accepted)
4-1-2013-5019983-17
10
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.12.24
수리 (Accepted)
4-1-2014-5157993-01
11
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.12.24
수리 (Accepted)
4-1-2014-5158129-58
12
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.12.24
수리 (Accepted)
4-1-2014-5157968-69
13
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2019.04.24
수리 (Accepted)
4-1-2019-5081392-49
14
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2020.05.15
수리 (Accepted)
4-1-2020-5108396-12
15
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2020.06.12
수리 (Accepted)
4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호
청구항
1
1
두파장 백색광 간섭계를 적용하여 각기 다른 금속으로 구성된 단차의 높이(h) 를 측정하는데 있어서
h 를 각기 다른금속으로 구성된 단차의 참 값
H 를 백색광 간섭무늬의 위상정점을 이용하여 측정한 단차 값
h1 을 주파수
2
제1항에 있어서
단차의 높이(h)를 정의한 식은
3
제1항 또는 제2항중 한 항에 있어서
H : 백색광 간섭무늬의 위상정점을 이용하여 측정한 단차 값
h1 : 주파수
4
제1항 또는 제2항중 어느 한 항에 있어서
백색광 간섭무늬의 위상정점으로 얻는 단차 값(H)를 얻기위한 조명광은 백색광을 사용하고, 단색광 간섭법을 적용하여 얻는 단차 값(h1)을 얻기위한 조명광은 임의의 주파수
5
제1항 또는 제2항중 어느 한 항에 있어서
백색광 간섭무늬의 위상정점으로 얻는 단차 값(H)와, 단색광 간섭법을 적용하여 얻는 단차 값(h1) 및 단색광 간섭법을 적용하여 얻는 단차 값(h2)을 얻기위한 조명광은 임의의 주파수
6
제5항에 있어서
두파장 간섭계는 임의의 주파수
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번
패밀리번호
국가코드
국가명
종류
1
WO2002082008
WO
세계지적재산권기구(WIPO)
FAMILY
DOCDB 패밀리 정보
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번
패밀리번호
국가코드
국가명
종류
1
WO02082008
WO
세계지적재산권기구(WIPO)
DOCDBFAMILY
2
WO02082008
WO
세계지적재산권기구(WIPO)
DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.
본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호
10-0393429-0000
권리란
표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호
사항
1
출원 연월일 : 20010409
출원 번호 : 1020010018617
공고 연월일 : 20030802
공고 번호 :
특허결정(심결)연월일 : 20030630
청구범위의 항수 : 6
유별 : G01B 9/02
발명의 명칭 : 각기 다른 금속 물질의 단차 측정을 위한 두 파장 백색광간섭법과 간섭계
존속기간(예정)만료일 : 20060723
특허권자란
순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
동맥 경화반의 조직 분류를 위한 이중 파장 광 가간섭 단층촬영 장치 및 이를 이용한 동맥 경화반의 조직 분류 방법(Dual Wavelength-band Optical Coherence Tomography and Method for Tissue Classification in Atherosclerotic Plaques)
디지털 마이크로미러 소자를 활용한 구조 입사 3차원 굴절률 토모그래피 장치 및 방법(Apparatus and Method for Diffraction Optical Tomography of Structured Illumination using Digital Micromirror Device)
