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광원을 측정빔과 기준빔으로 나누는 광분할수단과; 상기 측정빔을 전달하는 측정빔 광섬유(126)와, 상기 기준빔을 전달하는 기준빔 광섬유(128)와; 상기 기준빔 광섬유와 상기 측정빔 광섬유의 끝단을 장착하는 광섬유 장착부재(130)와; 상기 기준빔이나 측정빔 중의 하나의 빔을 위상변환 시키는 위상변환수단과; 상기 기준빔과 측정빔에 의해 생성된 간섭무늬의 영상을 획득하는 영상획득수단(142)으로 구성된 위상천이 간섭계에 있어서,

상기 위상변환수단은 상기 광분할수단과 결합되도록 구성되며,

대각선방향으로 위상변환수단(114)과 미끄럼 운동하는 슬라이딩부재(115)가 설치되고, 상기 슬라이딩 부재는 광분할수단(113)과 고정되도록 구성된 것을 특징으로 하는 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계

제3항에 있어서

상기 위상변환수단의 일측에는 상기 위상변환수단을 이동시키는 푸쉬수단(112)이 설치되고, 타측에는 위상변환수단을 복귀시키는 복귀수단(94)이 장착되어 위상변환수단이 슬라이딩 부재를 따라 슬라이딩 할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계

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위상천이 간섭계에 있어서,

광원을 기준빔과 잉여빔으로 나누는 광분할수단과;

상기 기준빔이나 잉여빔 중의 하나의 빔을 위상변환 시키는 위상변환수단과;

상기 잉여빔을 측정빔 광섬유(228)이나 보정빔 광섬유(224)에 연결해주는 광스위치(220)와; 상기 잉여빔을 측정빔 광섬유로 연결함에 따라 측정빔으로 결정된 잉여빔을 전달하는 측정빔 광섬유와; 상기 잉여빔을 보정빔 광섬유로 연결함에 따라 보정빔으로 결정된 잉여빔을 전달하는 보정빔 광섬유와; 상기 기준빔을 전달하는 기준빔 광섬유(225)와; 상기 기준빔 광섬유의 끝단을 장착하는 기준빔 광섬유 장착부재(232)와; 상기 측정빔 광섬유와 상기 보정빔 광섬유의 끝단을 장착하는 광섬유 장착부재(230)와; 상기 기준빔과 측정빔의 조합이나 기준빔과 보정빔의 조합에 의해 생성된 간섭무늬의 영상을 획득하는 영상획득수단(242)과; 상기 기준빔 광섬유로부터 공기중으로 진행되는 기준빔이 상기 영상획득수단(242)으로 향하도록 배치된 하프미러(260)로 구성되고,

상기 광섬유 장착부재(230)에 설치된 광섬유의 배치관계는, 측정빔 광섬유는 측정물을 향하도록 설치되고, 보정빔 광섬유는 영상획득수단(242)으로 향하도록 설치하는 것을 특징으로 하는 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계

제8항에 있어서

상기 측정빔은 측정물의 측정면에 입사되어 반사되며, 상기 반사된 빔은 광섬유 장착부재(230)의 단부에 마련된 반사면(231)에 의해 반사된 후, 기준빔과 간섭을 일으켜 영상획득수단(242)으로 향하도록 구성된 것을 특징으로 하는 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계

제8항에 있어서

상기 위상변환수단은 상기 광분할수단과 결합되도록 구성되고, 대각선방향으로 위상변환수단(214)과 미끄럼 운동을 할 수 있는 슬라이딩부재(215)가 설치되며, 상기 슬라이딩 부재는 광분할수단(213)과 고정되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계

제8항에 있어서

상기 광섬유 장착부재(230)와 영상획득수단(242) 사이에는 간섭무늬의 선명도를 높이는 공간필터(238)를 설치한 것을 특징으로 하는 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계

제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서

상기 광섬유 장착부재(230)의 보정빔 광섬유와 측정빔 광섬유의 배치는

측정빔이 측정빔 광섬유로부터 공기중으로 진행되는 측정빔의 방향은 경사반사면(64)의 법선(69)에 대해 45도가 되도록 구성되고, 측정빔이 측정물체를 맞고 되돌아온 후 경사반사면(64)을 맞고 반사된 빔(68)과의 각도가 90도를 이루도록 구성하고, 기준빔은 상기 반사된 빔과 같은 방향으로 진행되도록 설치하는 것을 특징으로 하는 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계

제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서

상기 공간필터(238)의 밑면의 상을 관측하는 광섬유 장착부재(232)의 단부에 준비된 경사경면(233)과; 셋업용관측부(256)에서 관측할 수 있도록 배치된 미러(254)로 구성되는 것을 특징으로 하는 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계

위상천이 간섭계에 있어서,

하나의 광원으로부터 광분할수단을 통해 기준빔과 잉여빔으로 나누는 단계;

상기 잉여빔을 광스위치에 의해 보정빔 혹은 측정빔으로 결정하는 단계;

상기 기준빔과 보정빔을 이용하여 순수 측정시스템의 오차가 포함되도록 간섭무늬를 획득하는 단계;

상기 기준빔과 측정빔을 이용하여 측정시스템의 오차와 측정표면의 정보가 포함된 간섭무늬를 획득하는 단계;

상기 획득한 두 개의 간섭무늬에서 측정시스템 오차가 제거되도록 처리하는 단계를 통해 측정표면을 평가하는 것을 특징으로 하는 경사단면 광섬유 광원을 이용한 점회절 간섭계의 측정방법