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피드백 전계 효과 트랜지스터 바이오센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020013620
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실리콘 기반 피드백 트랜지스터 구조를 사용하여 바이오 분자를 검출하는 센서를 개발하는 것으로, 본 발명에 따른 피드백 전계 효과 트랜지스터 바이오센서는, 기판, 기판 상에 채널 영역을 사이에 두고 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인, 채널 영역 상에 형성된 게이트 절연막, 게이트 절연막 상부의 일부분에 형성되어, 채널 영역의 에너지 밴드를 전기적으로 제어하는 게이트, 및 게이트와 중첩되지 않는 게이트 절연막 상부의 다른 일부분에 형성되고, 채널 영역의 에너지 밴드에 영향을 미치는 바이오 분자를 포함한다.
Int. CL G01N 27/414 (2006.01.01) G01N 27/327 (2006.01.01)
CPC G01N 27/4145(2013.01) G01N 27/4145(2013.01)
출원번호/일자 1020190033627 (2019.03.25)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0113440 (2020.10.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.03.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정철현 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0303718-06
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0330476-74
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.02.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0064146-33
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0361955-18
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-0723244-19
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.07.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0723245-65
8 등록결정서
Decision to grant
2020.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0514882-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 채널 영역을 사이에 두고 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인;상기 채널 영역 상에 형성된 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상부의 일부분에 형성되어, 상기 채널 영역의 에너지 밴드를 전기적으로 제어하는 게이트; 상기 게이트와 중첩되지 않는, 상기 게이트 절연막 상부의 다른 일부분에 형성되고, 상기 채널 영역의 에너지 밴드에 영향을 미치는 바이오 분자; 및상기 게이트와 상기 바이오 분자 사이에 형성되어, 상기 게이트 및 바이오 분자를 전기적으로 절연하는 측벽을 포함하되, 상기 채널 영역은 상기 바이오 분자에 영향을 받는 바이오 영역과 상기 게이트에 전기적으로 제어되는 게이트 영역으로 구분되며, 상기 바이오 영역의 에너지 밴드와 상기 게이트 영역의 에너지 밴드는 서로 역전된 상태이며, 양전하를 갖는 바이오 분자에 의해 상기 바이오 영역의 에너지 밴드는 하강되고, 소스 영역에서 게이트 영역으로 전자의 이동이 용이해지는 것을 특징으로 하는 피드백 전계 효과 트랜지스터 바이오센서
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삭제
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제1항에 있어서,상기 게이트는 소스-드레인 방향에서 상기 소스측에 배치되고, 상기 바이오 분자는 소스-드레인 방향에서 상기 드레인 측에 배치되는, 피드백 전계 효과 트랜지스터 바이오센서
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제1항에 있어서,상기 게이트는 소스-드레인 방향에서 상기 드레인측에 배치되고, 상기 바이오 분자는 소스-드레인 방향에서 상기 소스 측에 배치되는, 피드백 전계 효과 트랜지스터 바이오센서
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채널 영역과 상기 채널 영역을 사이에 두고 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인을 포함하는 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 채널 영역 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막 상에 게이트를 형성하는 단계;상기 게이트 절연막의 상부 표면의 일부가 노출되도록 상기 게이트의 일부를 식각하는 단계; 상기 게이트 절연막의 노출된 상부 표면에 바이오 분자를 결합시키는 단계; 및상기 게이트와 상기 바이오 분자 사이에 상기 게이트 및 바이오 분자를 전기적으로 절연하는 측벽을 형성하는 단계를 포함하고,상기 채널 영역은 상기 바이오 분자에 영향을 받는 바이오 영역과 상기 게이트에 전기적으로 제어되는 게이트 영역으로 구분되며, 상기 바이오 영역의 에너지 밴드와 상기 게이트 영역의 에너지 밴드는 서로 역전된 상태이며, 양전하를 갖는 바이오 분자에 의해 상기 바이오 영역의 에너지 밴드는 하강되고, 소스 영역에서 게이트 영역으로 전자의 이동이 용이해지는 것을 특징으로 하는, 피드백 전계 효과 트랜지스터 바이오센서 제조 방법
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1 과학기술정보통신부 한국과학기술연구원 개인기초연구(과기정통부)(R&D) CRISPR/Cas system 의 표적 탐지 메커니즘 규명 및 이를 이용한 최적 가이드 RNA 설계 기술 개발