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반도체 소자 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020016668
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원은 기판, 상기 기판 상에 형성된 2 차원 반도체 물질, 상기 2 차원 반도체 물질 상에 형성된 고분자 물질, 및 상기 고분자 물질 상에 형성된 전극을 포함하는 반도체 소자에 있어서, 상기 고분자 물질의 산화도는 표준 수소 전극(SHE) 대비 0.3 V 이상인 것인, 반도체 소자에 관한 것이다.
Int. CL H01L 29/778 (2006.01.01) H01L 29/45 (2006.01.01) H01L 21/285 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 29/16 (2006.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01)
CPC H01L 29/778(2013.01) H01L 29/778(2013.01) H01L 29/778(2013.01) H01L 29/778(2013.01) H01L 29/778(2013.01) H01L 29/778(2013.01) H01L 29/778(2013.01) H01L 29/778(2013.01)
출원번호/일자 1020190075960 (2019.06.25)
출원인 성균관대학교산학협력단, 광주과학기술원
등록번호/일자 10-2186195-0000 (2020.11.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20201203) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.06.25)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유원종 경기도 수원시 장안구
2 김창식 경기도 수원시 장안구
3 악덕무 경기도 수원시 장안구
4 이병훈 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한선희 대한민국 서울시 강남구 논현로 *** 여산빌딩 *층 ***호(온유특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
2 광주과학기술원 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0651729-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.11.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.24 수리 (Accepted) 9-1-2019-0059711-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0509382-94
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0988371-02
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.09.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0988383-49
7 등록결정서
Decision to grant
2020.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0820607-34
8 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2020.12.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-5030914-75
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성된 2 차원 반도체 물질;상기 2 차원 반도체 물질 상에 형성된 고분자 물질; 및상기 고분자 물질 상에 형성된 전극;을 포함하는 반도체 소자에 있어서, 상기 고분자 물질의 산화도는 표준 수소 전극(SHE) 대비 0
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 오믹 접촉에 의해 상기 반도체 소자 상에 흐르는 전류는 선형으로 증가 또는 감소하는 것인, 반도체 소자
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 2 차원 반도체 물질은 상기 기판, 상기 고분자 물질, 또는 상기 전극에 의해 도핑되지 않는 것인, 반도체 소자
6 6
제 1 항에 있어서,상기 고분자 물질은 벤젠 비올리겐(Benzyl viologen), 메틸 비올리겐(methyl viologen), 에틸 비올리겐(ethyl viologen) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 고분자 물질을 포함하는 것인, 반도체 소자
7 7
제 1 항에 있어서,상기 기판은 실리콘, 실리콘 카바이드, 게르마늄, 실리콘 게르마늄, 실리콘 탄화물, InAs, AlAs, GaAs, InP, GaN, InGaAs, InAlAs, GaSb, AlSb, AlP, GaP, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 반도체 소자
8 8
제 1 항에 있어서,상기 2 차원 반도체 물질은 전이금속 칼코겐 화합물, 흑린(black phosphorus), 그래핀(graphene), 보로핀(borophene), 게르마닌(Germanene), 실리신(silicene), 포스포린(phosphorene), 스테닌(stenene), Si2BN, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 것인, 반도체 소자
9 9
제 8 항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐 화합물은 MoS2, MoSe2, MoTe2, WS2, WSe2, WTe2, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 전이금속과 칼코겐 원소의 화합물을 포함하는 것인, 반도체 소자
10 10
제 1 항에 있어서,상기 전극은 Au, Pt, Ti, Ag, Ni, Zr, Ta, Zn, Nb, Cr, Co, Mn, Fe, Al, Mg, Si, W, Cu, 란탄계 금속, 이들의 질화물, 이들의 산화물, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 반도체 소자
11 11
기판 상에 2 차원 반도체 물질을 형성하는 단계;상기 2 차원 반도체 물질 상에 고분자 물질을 형성하는 단계; 및상기 고분자 물질 상에 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 전극을 형성하는 단계를 수행하기 전, 상기 고분자 물질을 식각하는 단계를 포함하는 것인반도체 소자의 제조 방법
12 12
제 11 항에 있어서,상기 2 차원 반도체 물질을 형성하는 단계는 기계적 박리, 화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition), 에피텍시 성장, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함하는 공정에 의해 수행되는 것인, 반도체 소자의 제조 방법
13 13
제 11 항에 있어서,상기 고분자 물질을 형성하는 단계는 스핀 코팅, 바코팅, 노즐 프린팅, 스프레이 코팅, 슬롯다이코팅, 그라비아 프린팅, 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 전기수력학적 젯 프린팅(electrohydrodynamic jet printing), 전기분무(electrospray), 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 포함하는 방법에 의해 수행되는 것인, 반도체 소자의 제조 방법
14 14
삭제
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