| [KST2022002611][성균관대학교] |
일차원 나노 사슬 구조체 및 이의 제조 방법 |
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| [KST2017000311][성균관대학교] |
도펀트 공간 분포의 차원 효과를 갖는 다기능성 산화물 구조체 및 이를 이용한 산화물의 특성 조절 방법(MULTIFUNCTIONAL OXIDE STRUCTURES HAVING DIMENSIONAL VARIATION IN SPATIAL DISTRIRBUTION OF DOPANTS AND METHOD OF CONTROLLING PROPERTIES OF OXIDES USING THE SAME) |
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| [KST2021012817][성균관대학교] |
이종접합 소재 및 이의 제조 방법 |
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| [KST2015142913][성균관대학교] |
물리적 기상 증착법에 의해 형성된 비정질 카본을 이용한 다층 레지스트 구조의 제작 및 이를 이용한 박막 패턴 형성 방법 |
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| [KST2020016477][성균관대학교] |
수소수를 포함하는 기능성 세정액 및 이를 이용한 CMP 공정 후 웨이퍼 세정 방법 |
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| [KST2021013025][성균관대학교] |
리프트 오프 공정 장치 |
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| [KST2016015742][성균관대학교] |
산소 및/또는 수분 차단용 다층 박막(A multi-layered thin film for blocking oxygen and/or moisture) |
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| [KST2015143535][성균관대학교] |
플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법 |
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| [KST2015143282][성균관대학교] |
그라펜 층수 제어방법 |
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| [KST2015143072][성균관대학교] |
유기금속용액을 사용하는 초미세 패턴 형성 방법 |
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| [KST2015144126][성균관대학교] |
초슬림 구조의 박막 증착 방법 및 이를 위한 증착 장치 |
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| [KST2016020808][성균관대학교] |
금속산화물 박막의 증착 방법 및 이를 위한 제조 장치(DEPOSITING METHOD OF METAL OXIDE THIN FILM, AND PREPARING APPARATUS THEREFOR) |
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| [KST2023002759][성균관대학교] |
전이금속 디칼코게나이드를 포함하는 PN접합 구조체의 형성 방법, 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 반도체 소자 |
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| [KST2024000280][성균관대학교] |
집적회로 소자 제조방법 |
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| [KST2015225802][성균관대학교] |
이종 적층 구조체 및 그 제조방법, 및 상기 이종 적층 구조체를 구비하는 전기소자(Heterogeneous layered structure, method for preparing the heterogeneous layered structure, and electric device including the heterogeneous layered structure) |
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| [KST2015144557][성균관대학교] |
탄소나노튜브 소자 어레이의 제조방법 |
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| [KST2014022066][성균관대학교] |
탄소나노물질패턴 형성 방법 |
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| [KST2015143237][성균관대학교] |
그래핀 패턴 형성 방법 |
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| [KST2014022253][성균관대학교] |
미세유동채널에 위치하는 전기화학센서용 미세기준전극 제조 방법 |
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| [KST2019001997][성균관대학교] |
2―트랜지스터 및 1―커패시터 구조의 박막 트랜지스터 소자 및 롤투롤 임프린트 리소그래피를 이용한 이의 제조방법 |
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| [KST2020016668][성균관대학교] |
반도체 소자 및 이의 제조 방법 |
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| [KST2015214484][성균관대학교] |
레지스트 애싱과 리프트-오프 방식을 이용한 나노 규격구조물 형성방법 |
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| [KST2023002705][성균관대학교] |
2차원물질 분산액 제조방법 및 이를 이용한 대면적 반도체소자 제조방법 |
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| [KST2015143213][성균관대학교] |
그래핀을 포함하는 센서와 이의 제조 방법 |
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| [KST2017007957][성균관대학교] |
층 수 제어가능한 이황화몰리브덴 박막 제조방법(METHOD OF MANUFACTURING THIN LAYER OF MOLYBDENUM DISULFIDE) |
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| [KST2016014516][성균관대학교] |
금속산화물 박막의 증착 방법 및 이를 위한 제조 장치(DEPOSITING METHOD OF METAL OXIDE THIN FILM, AND PREPARING APPARATUS THEREFOR) |
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| [KST2020017305][성균관대학교] |
저온 용액 공정 기반의 하이브리드 이중층 구조를 갖는 고성능 양극성 트랜지스터의 제조 방법 |
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| [KST2015143355][성균관대학교] |
터치 패널 |
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| [KST2015144248][성균관대학교] |
박막 증착 장치 |
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| [KST2015214442][성균관대학교] |
개선된 이온빔 소오스 |
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