| 1 |
1
음극 및 2차원물질의 결정층을 포함하는 양극을 분자침투제를 포함하는 용액에 담지하는 전극담지단계;상기 음극 및 양극에 전압을 인가하여 상기 분자침투제를 상기 2차원물질의 결정층 사이에 침투시키는 전압인가단계;상기 분자침투제가 침투된 2차원물질의 결정층에 초음파를 조사하여 2차원물질을 박리시키는 초음파조사단계; 및상기 박리된 2차원물질을 분리하는 분리단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 2차원물질 분산액 제조방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 전극담지단계의 2차원물질은, MoS2, MoSe2, MoTe2, WS2, WSe2, WTe2, TaS2, TaSe2, TiS2, TiSe2, HfS2, HfSe2, SnS2, SnSe2, GeS2, GeSe2, GaS2, GaSe2, ZrS2, ZrSe2, Bi2S3, Bi2Se3 및 Bi2Te3으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 2차원물질 분산액 제조방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 전극담지단계의 2차원물질은, HfS2, HfSe2, ZrS2, 및 ZrSe2를 포함하는 군에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 2차원물질 분산액 제조방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 전극담지단계의 분자침투제는, tetrabutylammonium bromide, tetraethylammonium bromide, etrapropylammonium bromide, tetraheptylammonium bromide, 및 tetradecylammonium bromide로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 2차원물질 분산액 제조방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 전극담지단계의 용액은 N-methyl-pyrrolidone(NMP), isopropannol(IPA), N,N-Dimethylformamide (DMF), Propylene carbonate (PC), Acetone, 에탄올/물 혼합용매, 및 에탄올로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 이상의 용매를 사용하는 것을 특징으로 하는, 2차원물질 분산액 제조방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 초음파조사단계는, 7W 이상 15 W 이하의 초음파를 조사하는 것을 특징으로 하는, 2차원물질 분산액 제조방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 초음파조사단계는, 상기 2차원물질을 플레이크형태로 박리시키는 것을 특징으로 하는, 2차원물질 분산액 제조방법
|
| 8 |
8
제1항의 제조방법에 의해 제조된 2차원물질 분산액
|
| 9 |
9
제1항의 제조방법에 의해 제조된 2차원물질 분산액을 기판 상에 코팅하여 코팅층을 형성하는 분산액코팅단계;상기 코팅층을 어닐링시켜 절연층을 형성하는 절연층형성단계; 및상기 절연층 상에 전극을 패터닝하는 전극패터닝단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 용액공정을 이용한 대면적 반도체소자 제조방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 분산액코팅단계 및 절연층형성단계는 복수회 반복하는 것을 특징으로 하는, 용액공정을 이용한 대면적 반도체소자 제조방법
|
