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기판에 박막이 증착되는 증착 영역을 구획할 수 있도록, 복수의 캐비티 공간(A1)이 형성되는 캐비티 웨이퍼(10);상기 캐비티 웨이퍼(10) 상에 안착되고, 상기 복수의 캐비티 공간(A1)을 통해서 상기 기판의 상기 증착 영역에 상기 박막이 소정의 패턴으로 증착될 수 있도록, 상기 복수의 캐비티 공간(A1)과 대응되는 위치에 상기 소정의 패턴과 대응되는 형상으로 복수의 패턴 홀부(A2)가 형성되는 쉐도우 마스크(20);상기 캐비티 웨이퍼(10) 상에서 상기 복수의 캐비티 공간(A1) 이외의 영역에 적어도 하나 이상 설치되고, 상기 쉐도우 마스크(20)와 끼워맞춤 방식으로 결합되어, 상기 캐비티 웨이퍼(10) 상에 안착되는 상기 쉐도우 마스크(20)의 위치를 정렬하는 정렬 블록(30); 및상기 쉐도우 마스크(20)의 상기 복수의 패턴 홀부(A2)의 둘레의 적어도 일부분을 따라 소정의 높이로 돌출되게 형성되고, 상기 캐비티 웨이퍼(10) 상에 상기 쉐도우 마스크(20)를 안착 시, 상기 캐비티 웨이퍼(10)의 상기 복수의 캐비티 공간(A1)에 적어도 일부분이 삽입되어, 상기 캐비티 웨이퍼(10) 상에 안착되는 상기 쉐도우 마스크(20)의 위치를 정렬하고, 상기 복수의 캐비티 공간(A1)의 측벽의 적어도 일부분을 보호할 수 있는 정렬 돌기(40);를 포함하고,상기 캐비티 웨이퍼(10)는,상기 복수의 캐비티 공간(A1)의 인근에 적어도 하나가 상기 정렬 블록(30)의 적어도 일부분과 대응되는 형상으로 오목하게 형성되어, 상기 정렬 블록(30)이 삽입되어 안착되고, 상기 정렬 블록의 정확한 삽입 및 위치 정렬을 위해서 그 내측벽이 수직하게 형성되는 블록 안착홈부(11);를 포함하고,상기 쉐도우 마스크(20)는,상기 캐비티 웨이퍼(10) 상에 안착되는 과정에서 상기 정렬 블록(30)과 끼워 맞춤 방식으로 결합될 수 있도록, 상기 캐비티 웨이퍼(10)의 상기 블록 안착홈부(11)에 안착된 상기 정렬 블록(30)과 대응되는 위치에 상기 정렬 블록(30)의 형상과 대응되는 형상으로 관통되게 형성되는 블록 삽입홈부(21);를 포함하고,상기 정렬 돌기(40)는,상기 쉐도우 마스크(20)의 상기 복수의 패턴 홀부(A2)의 둘레를 따라 사각의 액자 프레임 형태로 상기 소정의 높이로 돌출되게 형성되어,상기 캐비티 웨이퍼(10)의 상기 복수의 캐비티 공간(A1)을 기준으로, 상기 복수의 캐비티 공간(A1)의 내측벽을 따라 수평 방향으로 길게 연장되는 한 쌍의 수평 프레임(41); 및상기 한 쌍의 수평 프레임(41)의 각 단부를 서로 연결할 수 있도록, 상기 캐비티 웨이퍼(10)의 상기 복수의 캐비티 공간(A1)을 기준으로, 상기 복수의 캐비티 공간(A1)의 내측벽을 따라 상기 수평 방향과 수직한 수직 방향으로 길게 연장되는 한 쌍의 수직 프레임(42);을 포함하는, 자가 정렬 3차원 쉐도우 마스크 시스템
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